杨银堂
,
贾护军
,
李跃进
,
柴常春
,
王平
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.06.007
采用Ti/Ni/Au多层金属在高掺杂n型4H-SiC外延层上制作了欧姆接触测试图形,通过传输线法(Transmission Line Method,TLM)测量得到的最小比接触电阻为1.4×10-5Ω·cm2,经500℃N2老化后接触电阻大约有一个数量级的增加并保持稳定.
关键词:
碳化硅
,
欧姆接触
,
离子注入
,
传输线法
柴常春
,
杨银堂
,
李跃进
,
贾护军
功能材料
用等离子体刻蚀(PE)工艺,以四氟化碳(CF4)和六氟化硫(SF6)以及它们与氧气(O2)的混合气体作为刻蚀气体分别对Si基外延生长的β-SiC单晶薄膜进行了刻蚀工艺研究.结果表明在同样刻蚀工艺条件下,以SF6+O2作为刻蚀气体要比以CF4+O2作为刻蚀气体具有更高的刻蚀速率;在任何气体混合比条件下经SF6+O2刻蚀后的样品表面都不会产生富碳(C)表面的残余SiC层;而经CF4+O2刻蚀后的样品表面是否产生富C表面残余SiC层则与气体混合比条件有关,但刻蚀后的样品表面更为细腻.文中还对不同刻蚀气体下的刻蚀产物进行了讨论比较.
关键词:
SiC薄膜
,
等离子体刻蚀(PE)
,
刻蚀气体
贾护军
,
杨银堂
,
柴常春
,
李跃进
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.018
采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系在SiO2/Si复合衬底上进行了SiC薄膜的APCVD生长.实验结果表明,H2表面预处理温度过高或时间过长会导致衬底表面SiO2层熔化再结晶或被腐蚀掉.通过"先硅化再碳化"的工艺方法可以较好地解决SiO2/Si复合衬底上SiC成核困难以及粘附性差的问题,同时还可以有效抑制SiO2中的O原子向SiC生长膜扩散.选择预处理温度和薄膜生长温度为1180℃、H2预处理、SiH4硅化和C3H8碳化时间均为30s的最佳生长条件时,可以得到〈111〉晶向择优生长的多晶3C-SiC外延薄膜,薄膜生长速率约为2.0～2.5nm/min.
关键词:
碳化硅薄膜
,
常压化学气相淀积
,
表面预处理
,
硅化
,
碳化
贾护军
,
杨银堂
,
李跃进
,
柴常春
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.029
目前,宽带隙半导体材料SiC在功率MOS器件与电路方面的巨大优势一直没有很好地体现出来,这主要是受到SiC衬底上栅介质绝缘层的质量及界面特性方面的限制.本文在总结比较国际该领域研究现状的基础上,分析了碳元素的存在对介质层质量和界面态密度的影响,指出通过低温沉积氧化层以获得良好的界面质量,并通过高k介质的引入以提高介质层可靠性是今后SiC功率器件与电路研制中比较理想的栅介质制备技术.
关键词:
碳化硅
,
功率器件
,
界面态
,
复合栅介质
唐重林
,
柴常春
,
娄利飞
,
楼晓强
材料导报
大量研究结果和实验数据显示,铁电材料与器件具有极强的抗辐射能力,在军事和空间领域具有广阔的应用前景,因此铁电材料及其器件的抗辐射能力与机理研究日益受到关注.首先综述了国内外关于铁电材料的核辐射效应研究最新进展,在此基础上对其核辐射效应微观机理进行了分析和讨论,指出了铁电材料在抗辐射领域的发展趋势和研究方向.
关键词:
铁电材料
,
核辐射
,
位移效应
,
电离效应
贾护军
,
杨银堂
,
柴常春
,
李跃进
功能材料
采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过常压化学气相淀积(APCVD)工艺在P型Si(100)衬底上进行了β-SiC薄膜异质外延生长.利用俄歇电子能谱、SEM及X射线衍射能谱进行了生长薄膜微结构分析.提出并讨论了外延生长β-SiC薄膜的最佳工艺条件及其生长机理.
关键词:
β-SiC薄膜
,
外延生长
,
化学组分
,
工艺
杨礼敬
,
胡晓隆
,
许亚玲
,
罗学红
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2004.08.002
柴家庄金矿位于西秦岭褶皱系北秦岭加里东褶皱带李子园-吊把子金矿带上,赋存于柴家庄二长花岗岩体外接触带的丹凤群地层中,严格受北东向及北北西向断裂控制.矿区已发现金矿带4条,金矿体11个,具中型矿床规模.矿石类型以含金石英脉为主,次为构造蚀变岩型.品位较高,矿床平均品位达20.70×10-6.矿床形成经历了火山沉积期、区域变质期、构造热液成矿期及岩浆热液成矿期4个阶段,属沉积变质-岩浆期后热液叠加改造的变质热液金矿床.
关键词:
地质特征
,
成矿机制
,
柴家庄金矿床
何忠义
,
高新瑶
,
雷娟红
,
熊丽萍
,
仇建伟
稀土
研究了纳米La2O3和邻苯二胺修饰过的纳米La2O3添加剂在CC级柴机油中的摩擦学性能.以XRD和元素分析对修饰前后的纳米颗粒进行结构表征,用四球极压抗磨损试验机考察纳米添加剂的抗磨减摩性能,并与空白CD级柴机油作对比.结果表明,纳米La2O3和表面修饰纳米La2O3均能提高CC级柴机油的极压性能,并能优化其抗磨减摩效果.根据SEM和EDS对磨损表面的分析,可以推断纳米颗粒在摩擦过程中可能会与摩擦副反应生成合金,以此提高摩擦表面的抗磨减摩性能.
关键词:
表面修饰的纳米La2O3
,
润滑油添加剂
,
CC级柴机油
,
摩擦学性能
刘军恒
,
姚春德
,
魏立江
,
耿鹏
,
王全刚
,
余海涛
工程热物理学报
在六缸电控单体泵增压中冷重型柴油机进气管上面布置电控甲醇喷嘴,采用柴油引燃甲醇均质混合气的二元燃料燃烧模式,开展了高甲醇柴油比的二元燃料燃烧特性与排放特性试验研究.研究结果表明:随着醇柴比的增加,二元燃料的滞燃期增加,放热率峰值、最大缸内压力和压力升高率峰值都变大;未燃HC和CO排放上升,NOx排放则先下降后上升;烟度与颗粒物浓度排放都下降,低负荷下醇柴比为4.0时效果尤其显著;大负荷时二元燃料燃烧时热效率明显提高.
关键词:
柴油机
,
甲醇
,
二元燃料
,
燃烧
,
排放
