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微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜

丰杰 , 祁尧 , 盛景恺 , 李周 , 马莉 , 吴先哲 , 胡东平 , 梅军 , 余志明

采用微波CVD系统研究了Ar-CO2-CH-4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响.结果表明:以Ar-CO2-CH4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-Ct4组分中添加CO2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄.其原因和控制方式有待深入研究.

关键词: 超纳米金刚石 , 微波化学气相沉积 , Raman分析 , 原子力显微镜 , 沉积速率

热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

李建国 , 刘实 , 李依依 , 胡东平 , 季锡林 , 梅军 , 周德惠

金属学报

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大, 其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大。从热丝阵列的最低温度出发, 优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数。

关键词: 热丝化学气相沉积 , coupled model , spacial field

基于Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶/纳米晶粉的压磁复合材料研究

黄渝鸿 , 吴菊英 , 朱正吼 , 付强 , 梅军 , 郭静 , 马广斌

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2008.02.008

研究了基于Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶/纳米晶粉的柔性压磁复合材料制备技术及其性能, 讨论了橡胶种类, 磁粉粒径、含量及工艺因素等对Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9/橡胶复合材料压磁性能的影响. 结果表明: 采用粒径为45 μm, 用量约15%的Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶/纳米晶粉与高温硫化有规共聚硅氧烷在171 ℃, 15 Mpa条件下, 硫化45 min制备的、厚度约150 μm的压磁复合材料薄膜具有较好的应力敏感特性和压磁稳定性能, 有望作为新一代柔性、薄型接触应力传感器的敏感元件材料.

关键词: Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9 , 橡胶 , 压磁复合材料 , 应力-阻抗性能

锻造变形量对FeNi基奥氏体合金力学性能的影响

张建 , 李秀艳 , 戎利建 , 廖彬 , 范瑛 , 谭云 , 梅军

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2007.05.003

研究了最后一火锻造变形量对FeNi基合金微观组织和性能的影响.结果表明,变形量为10%时合金中出现孪晶,其数量随着变形量的增大而增多.随着最后一火锻造变形量的增大,室温拉伸强度因晶粒细化而提高;但是,变形量大于15%后,室温塑性因孪晶对晶内滑移的阻碍作用和晶界碳化物对晶界结合力的削弱而降低;变形量大于10%时高温强度和塑性下降,其原因是孪晶与晶界相交阻碍了晶界滑动,相交部分在外力作用下易产生应力集中导致裂纹萌生并沿晶界扩展.

关键词: 金属材料 , 锻造 , 奥氏体合金 , 微观组织 , 力学性能 , 孪晶

热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

李建国 , 刘实 , 李依依 , 胡东平 , 季锡林 , 梅军 , 周德惠

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数.

关键词: 热丝化学气相沉积 , 耦合模型 , 空间场 , 模拟计算

镀锌层军绿色钝化

奚兵

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.09.016

介绍由常规五酸草绿色钝化工艺改良的,以重铬酸钾为体系的镀锌军绿色钝化工艺.

关键词: 镀锌层 , 军绿色钝化 , 工艺配方

军绿色隔热降温涂料的研究

杨万国 , 董秀彩 , 李少香 , 张波

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2010.04.008

研究了空心玻璃微珠和纳米陶瓷材料等材料用量对军绿色隔热降温涂料热性能的影响,通过对多种着色颜料及其复配体系反射率的研究,优选出反射率较好的几种颜料,用它们调制出的军绿色降温涂料作为深色降温涂料具有较高的反射率,并且其他各项物理机械性能良好.

关键词: 隔热 , 降温 , 军绿色 , 反射率 , 发射率

应变率对V-5Cr-5Ti合金拉伸性能的影响

张方举 , 胡文军 , 谢若泽 , 陈勇梅 , 何鹏 , 梅军

材料科学与工程学报

应用旋转圆盘冲击拉伸Hopkinson试验装置和MTS材料试验机,测定了V-5Cr-5Ti合金在不同应变率下的拉伸性能,用SEM观察了断口形貌,获得了10-5 s-1～103 s-1应变率范围内V-5Cr-5Ti合金的拉伸应力应变关系.结果表明V-5Cr-5Ti合金为应变率敏感材料,流动应力随应变率的增加而增加,且发生韧脆转变现象,其韧脆转变临界应变率在101 s-1～102 s-1量级.

关键词: V-5Cr-5Ti合金 , 应变率 , 韧脆转变 , 动态拉伸

CVD金刚石膜产业化制备技术研究

王兵 , 梅军 , 李力 , 季锡林 , 冉均国 , 苟立

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.01.007

为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100 mm以上,生长速率达到约10 μm/h的水平,并制备出100 mm×1.5 mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.

关键词: 热灯丝 , CVD金刚石 , 大尺寸 , 高速生长