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基于 FIB-SID 技术的三维金属无源电感制备与测试

, 王志强 , 赵路睿 , 吴文刚 , 徐军

中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.05

重点研究了聚焦离子束的相关原理和应用。利用聚焦离子束应力引入致形变( Focused Ion Beam Stress-Introduced De-formation, FIB-SID)技术与常规微加工工艺相结合,制备微型金属无源螺旋电感的设计方法和工艺流程,并对其电学性能进行初步高频测试。首先在SOI( Silicon-on-Insulator)基片上通过光刻、溅射以及各项同性刻蚀等常规工艺制得悬浮的金属悬臂梁,再利用FIB刻蚀原理进行应力引入,通过控制注入离子剂量、 FIB应力引入的次数、 FIB扫描的间距等试验参数制得不同尺寸结构的三维螺旋金属无源电感。最后,采用安捷伦网络分析仪与微波探针台,使用GSG结构及相应的去嵌方法,对微型金属螺线管电感进行了高频测试。得出了三维螺旋微纳电感的电感值、品质因子、电压驻波比、回波损耗随频率变化关系。

关键词: FIB-SID , 微型金属无源螺旋电感 , 高频测试

轧辊光纤激光化工艺试验

赵子强 , 张岩 , 裴悦凯 , 王潇 , 张瑞华 , 赵琳

钢铁研究学报 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0963.20130308

利用光纤激光化系统对轧辊进行了化试验,研究了激光化参数对化点阵和粗糙度的影响,并尝试开发了激光无序化工艺.研究结果表明,激光有序化工艺条件下,化点尺寸、形态一致,呈现火山口形貌.激光功率、脉冲频率和脉冲占空比对化点尺寸有较大的影响,而激光功率、脉冲占空比和侧吹气体流量对化粗糙度具有明显的作用.采用脉冲频率调制的方式实现了光纤激光无序化工艺.无序化后,冷轧线工作辊表面粗糙度约为2.2μm,化峰值密度在75 cm-1以上;镀锌线光整机工作辊粗糙度约为3.2μm,化峰值密度在85cm-1以上,平均峰值密度达到了95cm-1.所开发的激光无序化工艺已应用于实际生产.

关键词: 光纤激光 , 有序 , 无序 , 脉冲调制 , 粗糙度 , 峰值密度

熔敷金属扩散氢出特性研究

魏金山 , 张京海 , 张田宏

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2003.01.006

采用酒精法测量扩散氢,研究了焊条熔敷金属扩散氢含量以及在测氢过程中扩散氢出量与出时间的关系(出特性).研究结果表明,熔敷金属扩散氢出特性受扩散氢含量、焊道数、熔敷金属化学成分和表面状态等多种因素的影响.熔敷金属扩散氢(HDo)可以分为快速出扩散氢(HDq)和慢速出扩散氢(HDs)两部分.

关键词: 焊条 , 扩散氢 , 出特性

铝划伤表面外电子发射及其初始氧化

马圣驷

中国腐蚀与防护学报

新鲜裸露金属表面外电子发射与金属初始氧化,是同一个过程。外电子发射状况直接与氧化层单层的形成相联系。由此,通过在常温低压下铝划伤表面外电子发射衰减,讨论了划伤铝初始氧化的动力学过程。新鲜裸露铝的氧化,起先服从抛物线生长律,随后为倒对数生长律。

关键词:

涂装絮状缺陷的分析及解决

王戈 , 李杰

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2004.02.009

油漆或粉末涂装涂层表面的杂质缺陷是常见的涂装质量问题,其中絮状物质的影响往往容易被忽视,因为絮状物质的来源多样解决起来也难于对症,而其自身的特点决定了治理的投入较大.除对絮来源进行了分析外,还给出了相应的解决方案,对钢板工件毛刺挂带的絮提出一种解决的新思路.

关键词: 涂装 , 絮类缺陷 , 涂层

不锈钢光纤激光化及其摩擦性能

符永宏 , 王浩 , 杨烨刚 , 符昊 , 华希俊

表面技术

目的:研究光纤激光化应用于模具表面,改善其摩擦特性的可行性。方法采用单因素变化法,研究激光功率、脉宽、频率、离焦量对化形貌的影响规律,分析化区域的显微硬度,并对不同形貌的化试样和光滑试样的摩擦性能进行对比。结果匹配特定的参数,可获得火山口形貌或球冠状形貌。化区域的硬度相对基材提高显著,最大提高了近4倍。同时,在模拟冷冲压拉深模具低速重载工况的摩擦实验中,化试样的摩擦系数比光滑试样大,同时随着化点直径、间距的增大,摩擦系数相应减小。结论激光化技术可对材料表面进行改形改性,能够用于优化模具表面摩擦特性。

关键词: 光纤激光 , 化形貌 , 显微硬度 , 摩擦特性

相界面出惰性气泡时相间传质

李新海 , 陈新民 , 莫鼎成 , 刘今

金属学报

本文针对液-液两相接触时的传质过程,以流体动力学理论及相间传质的渗透理论为基础,根据界面上惰性气泡出界面时流体流动及传质过程的特征,导出了气泡促进的相间传质系数的数学关系式。该关系式表明,流体中传质速率不仅与出气泡的体积速度的平方根成正比,同时与气泡大小、界面上气泡分布密度等参数有关。该关系式能较好地描述文献中的实验数据。

关键词: 相间传质 , gas bubble , liquid--liquid reaction

模式剪的APC系统

葛延津

钢铁

介绍了不同于回转剪的模式剪.给出了模式剪APC系统的结构,推导出模式剪APC系统的控制算法及位置,给定信号产生原理及算法.绘出了模式剪与带钢行进中的路径波形.给出了APC系统实际的定尺精度等运行结果.带钢被剪端口光滑、整齐.该APC位置控制系统在本钢带钢剪切生产线中得到了很好的应用.

关键词: 模式剪 位置自动控制系统 APC APC算法 定尺剪切

机械压缩蒸发工艺处理洗废水实验研究

武江津 , 安同艳 , 孙长虹

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2011.03.043

利用机械压缩蒸发工艺对洗废水进行浓缩实验研究,对出水水质、蒸发量、耗电量等参数进行了考察,并进行了能耗和运行费用分析.实验结果表明,采用机械压缩蒸发工艺将洗废水TS由29.2 g/L浓缩至342.6 g/L过程中,CODcr由42.8 g/L浓缩到463.3 g/L,出水CODcr在100~311 mg/L,吨水耗电量为43.3~75.7 kW.h/t,与四效蒸发相比,节能显著,运行费用低.机械压缩蒸发是一种很有前景的高浓度工业废水处理技术.

关键词: 机械压缩蒸发 , 废水 , 热泵

散系数及接受系数在求解辐射直接交换面积中的应用

李国军 , 陈海耿

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2009.03.016

基于散系数定义,给出了直角坐标系下散系数积分表达式.采用积分简化公式推导了散系数及接受系数的降重积分表达式,并应用高斯数值积分进行求解.应用散系数及接受系数对气体段对自身及气体段对相邻表面段的直接交换面积进行求解验证.结果表明,采用降重积分求解散系数及接受系数计算结果更精确,用于求辐射直接交换面积时精度更高,并可以节省一定的机时.

关键词: 散系数 , 接受系数 , 直接交换面积 , 段法

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