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中频磁控反应溅射制备c轴择优取向AlN薄膜

, 褚夫同 , 刘兴钊

功能材料

通过中频磁控反应溅射,在Si(100)衬底上沉积AlN薄膜,并用X射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱表征AlN薄膜的微观特征.实验,研究了氮分压、靶基距、溅射功率对AlN薄膜质量的影响,并优化参数制备高质量的c轴取向的AlN薄膜.结果表明,提高溅射功率、降低靶基距以及降低氮分压,有利于c轴择优取向AlN的生长.在优化条件下制备的AlN薄膜具有高度c轴取向,(002)摇摆曲线的半高宽为5.7°,Raman光谱E2(high)声子峰的FWHM为13.8cm-1.

关键词: AlN , 中频反应溅射 , Raman光谱

钼/聚酰亚胺异质结上体声波用氮化铝薄膜生长

褚夫同 , 李川 , , 刘兴钊

稀有金属材料与工程

采用中频反应磁控溅射方法,在钼/聚酰亚胺/硅(Mo/PI/Si)基片上室温下制备出c轴取向柱状结晶氮化铝(AlN)薄膜,X射线衍射摇摆曲线和拉曼谱E2(高)峰半高宽分别是2.2°和18.6 cm-1.制作了基于Mo/AlN/Mo/PI/Si结构的薄膜体声波谐振器(FBARs),PI/Mo异质结用作声绝缘层.用矢量网络分析仪分析了FBARs的谐振特性,器件等效耦合系数达到5.4%.

关键词: AlN , 薄膜 , 聚酰亚胺 , FBARs

压电陶瓷的损耗及其对子特性的影响

叶会英 , 浦昭邦 , 王海燕

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.003

压电子的等效电路形式当考虑损耗时可用两种方法表示:一种方法是不改变相应无损子的等效电路形式,而将电路参数取为复数;另一种方法是在电路中加入耗能元件.文中分析了压电材料中的损耗现象,并用复数表示有损耗压电子的各种参数.从压电子的阻抗(或导纳)方程出发,详细分析了纵效应振动及横效应振动模式子的谐振(或反谐振)频率、频率偏移量与损耗大小、机电耦合系数大小的关系.

关键词: 压电 , 损耗现象 , 频率特性

Josephson结混沌孤子的超辐射

张细利 , 海文华 , 方见树

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2001.02.008

考虑两个耦合的长Josephson结,运用直接微扰法,讨论周期微扰下混沌孤子的超辐射功率.结果表明:周期微扰下的孤子作混沌运动,当孤子逐渐与周期微扰同步时,辐射功率不断增大,其上限虽受解的有界性条件制约, 但通常比孤子对的辐射功率更大.理论分析和数值模拟均很好地说明了这一点.这为混沌孤子的实际应用提供了理论依据.

关键词:

黎开管热声拍现象及其主动控制

翁方龙 , 朱民 , 李东海

工程热物理学报

黎开管燃烧振荡现象的实验研究发现,在不稳定发生的极限工况附近可能存在幅值周期性变化的振荡现象,也即拍,其拍频可低于1 Hz.本文比较了铁丝网和穿孔陶瓷两种稳焰体对拍发生的影响;通过时频分析揭示了拍的声压脉动的主频随时间周期性变化的特征.采用基于数字信号处理器的控制系统,研究了对极限环和拍的主动控制效果,实验结果表明,黎开管系统中导致拍的非线性可能使得采用常规主动控制方法难以取得满意的控制效果.

关键词: 热声振荡 , , 时频分析 , 主动控制

原子干涉仪的超低频隔系统的设计及仿真

王文超 , 汤彪 , 周林 , 王谨 , 詹明生

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.020

针对原子干涉仪拉曼光反射镜对振动隔离的特殊要求,设计了一套低频隔系统,采用两级被动隔和一级主动隔的方案,同时对系统的机械结构和主动隔反馈环路分别进行了详细的设计,最后用Matlab 的Simulink模块进行了仿真,通过仿真结果显示该系统对0.1~10 Hz的振动隔离度可以达到99%以上,表明该系统可以达到预期的隔效果.

关键词: 激光技术 , , 仿真 , 原子干涉仪

筛富集法在滑石粉石棉检测确证分析的应用

赵景红 , 陈新 , 任玉伟 , 张建华 , 宋承钢

冶金分析

提供了一种用于滑石粉石棉检测和确证分析的筛富集样品预处理方法.对经X射线衍射法检测含有疑似石棉的滑石粉样品,比较了325目和400目标准筛的筛法富集倍数;通过电子显微镜法和偏光显微镜法比较了富集前后石棉纤维的定性观察结果.结果表明,在低放大倍数下(30~200倍)直接观察滑石粉原样,很难在视野范围内找到纤维状物质,而400目筛上残留物的石棉纤维在最低的放大倍数30倍时即清晰可辨;在放大倍数400倍以上,滑石粉原样通过调节观察位置在视野范围内能搜寻到几个纤维状石棉物质,而同放大倍数的400目筛上残留物的石棉纤维满视野,因此筛富集技术可以显著提高滑石粉石棉显微镜观察的准确性和可靠性.比较了未经研磨和研磨后富集前后样品(原样、筛上及筛下样品)石棉类矿物的X射线衍射谱图,结果表明,富集前后样品石棉类矿物的相对衍射强度即石棉类矿物的含量无明显变化.因此,筛富集法仅可用于滑石粉石棉的定性确证分析,不能用于定量或半定量分析.

关键词: 筛富集法 , 滑石粉 , 石棉

声子晶体在车身顶棚减的应用研究

左曙光 , 魏欢 , 何宇漾 , 文歧华

材料导报

从车身板件振动入手,结合几何参数、材料参数对带隙的影响,设计出具有中低频带隙的垂向子声子晶体结构,并据此制备声子晶体样件,测定材料参数,进行振动传递特性试验,验证理论的正确性.将声子晶体结构粘贴于顶棚表面,得到其仿真带隙,使顶棚中低频的振动衰减了30dB以上,为声子晶体在车身板件减的实际应用提供了依据.

关键词: 声子晶体 , 带隙 , 样件试验 , 顶棚减

CSP轧机纹振动致机理研究

王永涛 , 臧勇 , 吴迪平 , 秦勤

钢铁

对轧机振动性质、致机理进行了研究,通过对连轧机组中发生振动的F2、F3轧机进行的现场测试和分析发现,轧机振动以水平方向为主,轧辊和轧件上的纹频率和振动频率相同,并且将最终纹折算到轧制界面上后其长度与接触弧长相等.这说明纹与接触弧有直接的联系.提出了CSP轧机的辊面纹扩展致机理,即轧机纹是工作辊初始纹在轧制过程逐渐在辊面扩展形成,轧辊表面纹引起并加剧了轧机的非正常振动.该理论对同类轧机振动抑制具有重要理论和应用价值.

关键词: CSP轧机 , 振动 , , 轧制界面

CSP轧机纹振动致机理研究

王永涛 , 臧勇 , 吴迪平 , 秦勤

钢铁

对轧机振动性质、致机理进行了研究,通过对连轧机组中发生振动的F2、F3轧机进行的现场测试和分析发现,轧机振动以水平方向为主;轧辊和轧件上的纹频率和振动频率相同,并且将最终纹折算到轧制界面上后其长度与接触弧长相等。这说明纹与接触弧有直接的联系。提出了CSP轧机的辊面纹扩展致机理,即轧机纹是工作辊初始纹在轧制过程逐渐在辊面扩展形成,轧辊表面纹引起并加剧了轧机的非正常振动。该理论对同类轧机振动抑制具有重要理论和应用价值。

关键词: CSP轧机;振动;纹;轧制界面

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