储开慧
,
狄国庆
材料导报
通过屏蔽传统磁控溅射设备阴极内的磁场和在基片下放置永磁铁,使来自基片下的磁场发挥作用,研究了此外加磁场在溅射过程中对薄膜沉积所产生的影响.用这种方法沉积出的Cu、Al的薄膜的宏观形貌为:膜的中央有一圆斑,在圆斑的外围有环.Al薄膜的中央圆斑处没有物质,为空白圆斑;而Cu薄膜的中央圆斑处有物质.对这一实验现象的产生机理,初步认为是成膜粒子在磁场中表现出的波动性.
关键词:
磁控溅射
,
膜厚
,
梯度磁场
朱炎
,
赵登涛
,
狄国庆
,
方亮
功能材料
研究了反应射频磁控溅射制备的非晶氧化铝薄膜中电荷输运过程,发现交流和直流电导导电机制是明显不同的.对直流输运,以Poole-Frenkel发射模式为主,而新样品的直流电导则常常是带陷阱的空间电荷限制电流模式.交流电导则是由所谓的声子辅助的定域载流子的跳跃引起的.电导的温度特性表明,交流电导有两种不同的导电机制,即低温区的浅陷阱发射和高温区的因氧缺陷导致的深陷阱的发射过程,直流电导与交流电导在高温区趋于一致.
关键词:
非晶氧化铝薄膜
,
Schottky发射
,
Poole-Frenkel发射
,
空间电荷限制电流
,
电导
,
激活能
邵新勋
,
狄国庆
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.009
采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数( Q值)在 100MHz- 10GHz范围的频谱特性.在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其 数值分别为 130 nH, 155nH;电阻在 6GHz以下也保持平稳,分别为 31Ω, 51Ω, 在这个频率以上,由 于高频趋肤效应而有一定的增大; Q值在 1- 6GHz之间在 20 以上, 并且在 6GHz附近分别达到最 大值 160和 110.在 100MHz- 10GHz范围内 ,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要.
关键词:
薄膜电感
,
栅极型
,
磁控溅射
,
品质因数
赵登涛
,
朱炎
,
狄国庆
功能材料
用反应溅射方法制备了非晶氧化铝薄膜;以Al/a-Al2O3/Al电容器为载体,研究了此种电容器的电容量,随样品放置时间的衰减过程及其影响因素,结论如下:(1)同一样品,高频下测得的电容随样品放置时间而变小的趋势相对于低频值要缓慢.(2)其它条件相同时,低的工作气压下形成的样品,其电容量不易随时间而改变.(3)真空中的低温热处理有助于改善时效过程.(4)时效的机制可能是样品中亚稳态的缺陷逐渐消失.这些缺陷跟缺氧和吸水没有必然联系,也不太可能是A12O3/Al的界面缺陷;它们的消失跟电老化也无必然联系.机制之一可能是氧过量引起的铝离子过配位的逐渐消失.
关键词:
非晶
,
氧化铝薄膜
,
电容
,
时效过程
,
反应溅射
朱炎
,
狄国庆
,
赵登涛
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.012
通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场 , 使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜 .与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化.这种变化还出现于非磁性靶的情况中.本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了比较,包括自偏压值,薄膜结晶状况,薄膜磁性能的变化等等.通过比较认为,带电粒子在放电空间中的特殊磁场位形中的运动是变化的根本原因 .
关键词:
梯度
,
磁场
,
磁控溅射
,
薄膜
傅瑜
,
何俊宝
,
宋海珍
,
任波
,
张萍
,
吴燕燕
人工晶体学报
在真空密封的石英管中运用高温助溶剂方法制备出各向异性狄拉克材料SrMnBi2的高品质单晶样品.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜-能量色散X射线光谱仪系统(SEM-EDX)、磁性测量系统(MPMS)和综合物性测量系统(PPMS)等多种测试技术手段综合研究了高品质SrMnBi2单晶样品的晶体结构、化学组成、电学和磁性等性质.结果表明:狄拉克材料SrMnBi2在晶体结构上是一个典型的层状结构化合物,物理性质上是一个反铁磁(TN=290K)金属,具有狄拉克材料的典型特征.
关键词:
单晶制备
,
晶体结构
,
物理性质
,
狄拉克材料
霍金仙
,
郭永
,
王志
功能材料
采用悬浮聚合法,将功能体三油酸甘油酯包埋到醋酸纤维/氰已基纤维素中,制备了一种新型复合吸附剂,并研究了对狄氏剂吸附容量及吸附过程的影响.实验结果表明,复合吸附剂对狄氏剂的吸附容量为16600μg/g,其中三油酸甘油酯的吸附量为54200μg/g.吸附剂添加量、初始狄氏剂浓度、温度和搅拌速度影响吸附动力学过程.Elovich模型很好的拟合了实验数据,拟合结果表明,吸附过程为非均相吸附.但温度和搅拌速度不影响平衡吸附量.共存离子Na+、Ca2+、Mg2+对吸附过程影响不大,但Fe3+、Cu2+、Ag+促进了狄氏剂的吸附,主要是由于醋酸纤维对这些过渡元素的络合作用所致.
关键词:
吸附剂
,
狄氏剂
,
持久性有机污染物
,
吸附
