材料期刊网，材料期刊，材料类期刊，材料期刊投稿

铜膜高去除速率CMP碱性抛光液的研究及其性能测定

李炎 , 孙鸣 , 李洪波 , 刘玉岭 , 王傲尘 , 何彦刚 , 闫辰奇 , 张金

目的：探索适合于TSV技术的最佳CMP工艺。方法在碱性条件下,利用碱性FA/O型鳌合剂极强的鳌合能力,对铜膜进行化学机械抛光,通过调节抛光工艺参数及抛光液配比,获得超高的抛光速率和较低的表面粗糙度。结果在压力27.56 kPa,流量175 mL/min,上下盘转速105/105 r/min,pH=11.0,温度40℃,氧化剂、磨料、螯合剂体积分数分别为1%,50%,10%的条件下,经过CMP平坦化,铜膜的去除速率达2067.245 nm/min,且表面粗糙度得到明显改善。结论该工艺能获得高抛光速率。

关键词: 碱性研磨液 , 铜CMP , TSV技术 , FA/O型螯合剂 , 表面粗糙度

李炎 , 孙鸣 , 牛新环 , 刘玉岭 , 何彦刚 , 李海龙 , 王傲尘 , 李洪波

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/35/4/046001

关键词:

马钢转炉炼钢尘泥的利用

朱贺民 , 金俊 , 李小静

钢铁研究 doi:10.3969/j.issn.1001-1447.2005.03.013

随着近年来对资源和环境问题的重视,加强转炉尘泥的综合利用日益迫切,通过研究和试验,马钢开发出了烧结工序直接利用转炉湿基尘泥的系统,取得了较好的生产效果.

关键词: 转炉尘泥 , 烧结 , 工业试验 , 生产实践

基于组态王的包钢耐火配料系统设计

胡万里

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2010.01.023

介绍了利用组态王作为监控,可编程控制器作为下位机,实现了耐火厂散料配料系统的自动化生产,该系统具有手动功能和自动功能,手动功能具有现场手动和上位机手动功能,自动功能具有全自动和半自动功能.该系统可实现配方和配料制度的任意更改,投资低,故障少,自动化程度高.

关键词: 组态王 , 配料 , 上位机

抑尘因子模拟试验研究

赵星光 , 谭卓英 , 刘文静

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2005.04.014

针对汽车运输路面扬尘污染问题,对广西某矿运输路面粉尘进行了生态抑尘因子(凝并因子、吸湿因子、保水因子)模拟试验研究.研究结果表明,各抑尘因子分别具有黏结凝并、吸湿、保水性能,而且无毒无害、价格合理,从而为进一步配方试验提供可靠的理论依据.

关键词: 运输路面 , 抑尘因子 , 模拟试验

厦门室内降尘的沉降通量与季节变化

韩文亮 , 陈海明 , 陈兴童

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254?6108.2016.03.2015060201

在厦门市选取家庭、办公室、机房和家具厂等采样点49个,用水平放置的玻璃板(四周用洁净铝箔围起)采集一年四季的降尘样品,对降尘的沉降通量和季节变化进行研究.厦门家庭、办公室、机房和家具厂全年室内降尘通量几何均值分别为13.1、7.2、4.9、179.9 mg·(m2·d)-1,厦门家庭和办公室室内降尘通量均是上海的约2倍,是美国新泽西州室内的近5倍.机房室内降尘通量低于普通办公环境,家具厂室内降尘通量比普通室内环境高1-2个数量级.季节对室内降尘通量有显著影响,而市区和城郊间降尘通量无显著差异.家庭和办公室冬季降尘通量最低,家庭降尘通量最高为夏季,办公室为秋季.各室内采样点降尘通量季节变化较一致,表明室内降尘主要源于室外空气中的颗粒物.机房因常年封闭,四季降尘通量间均无显著差异.家具厂降尘通量的季节变化主要受家具生产量波动的影响.

关键词: 室内 , 降尘 , 沉降通量 , 季节变化 , 厦门

钢铁厂尘泥资源化管理与利用

刘百臣 , 魏国 , 沈峰满 , 赵庆杰

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2006.03.017

传统的钢铁厂尘泥处理方法难以实现尘泥资源的有效回收利用.从可持续发展的观点来看,钢铁生产过程中产生的尘泥是一种资源,必须按照管理资源的模式来处理和利用尘泥.本文提出了应从设计、生产组织及管理等方面对尘泥进行资源化管理,并针对钢铁厂的几种主要尘泥如精轧铁鳞、轧钢铁鳞、转炉尘等提出回收利用的方法.

关键词: 可持续发展 , 尘泥 , 资源化管理 , 回收利用

“王”字型左手材料结构的设计与仿真

孙振 , 竹有章 , 何星 , 杨成莱 , 李磐石

材料科学与工程学报

针对目前由金属开口谐振环与金属杆构成的左手材料结构存在构造比较复杂、工艺实现较难的缺点,设计实现了一种基于金属条的改进结构一”王”字型结构.通过理论分析和电磁仿真软件Ansoft HFSS 10模拟仿真,利用散射参量法提取参数结果表明该结构可以在X波段实现介电常数和磁导率同时为负.讨论研究了该左手结构的金属条宽度、中间缺口宽度、中间条宽度三个结构尺寸参数变化对谐振频率和透射峰幅值的影响,结果表明三个参数的变化都会对二者产生影响,其中金属条宽度改变对透射峰值影响幅度相对较大,缺口宽度改变对谐振频率影响幅度相对较大.

关键词: 金属条 , 左手材料 , 负折射率 , 谐振频率 , S参数