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光刻胶用底部抗反射涂层研究进展

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123

随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望.

关键词: 光刻胶 , 光刻技术 , 底部抗反射涂层

钛钢复合板界面特征研究述评

王宽 , 朱海平 , 宋振莉 , 陶勃然 , 王莹 , 何维均 , 栾佰峰

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.04.005

钛及钛合金具有良好的耐腐蚀性,被广泛应用于各种化学反应容器制造、热交换器材料等防腐蚀领域,但其应用范围因成本过高而受到限制.钛钢复合板同时兼具钛的耐蚀性和钢的强韧性,又具有良好的性价比,拥有广泛的工程应用前景,成为近年来的研究热点.对国内外近十几年来关于钛钢复合板的研究情况进行综合评述,概括了钛钢复合板的典型制备方法,重点讨论了界面组织特征和界面结合机理,以及热处理温度对界面特征和结舍强度的影响规律.最后结合相关文献的分析以及实际工程的需求,指出了钛钢复合板未来的研究方向和发展前景.

关键词: 钛钢复合板 , 界面特征 , 结合机理

惰气熔融-红外／热导法同时测定锆合金中氧和氮

王宽 , 周恺 , 李波 , 孙宝莲 , 郑伟 , 梁清华

冶金分析 doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.009911

测定锆合金中氧和氮的方法多为单独测定，操作繁琐，故实验提出了锆合金中氧和氮同时测定的方法。称取0.06g锆合金样品，放入镍篮，投入脱气后的石墨套坩埚中，控制分析功率为5.0kW，氧和氮积分时间分别为40s和60s，以锆合金标样AR640建立校准曲线，实现了惰气熔融-红外／热导法对锆合金中氧和氮含量的同时测定。氧和氮的方法测定下限分别为0.0007％和0.0002％。采用实验方法对2个锆合金实际样品中氧和氮进行测定，氧和氮测定结果的相对标准偏差（RSD，n＝11）分别为1.5％～4.4％和7.6％～8.6％。按照实验方法测定锆合金标样BCR-276中氧和氮，测定结果与认定值基本一致。

关键词: 惰气熔融 , 红外/热导法 , 锆合金 , 氧 , 氮

基于组态王的包钢耐火配料系统设计

胡万里

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2010.01.023

介绍了利用组态王作为监控,可编程控制器作为下位机,实现了耐火厂散料配料系统的自动化生产,该系统具有手动功能和自动功能,手动功能具有现场手动和上位机手动功能,自动功能具有全自动和半自动功能.该系统可实现配方和配料制度的任意更改,投资低,故障少,自动化程度高.

关键词: 组态王 , 配料 , 上位机

“王”字型左手材料结构的设计与仿真

孙振 , 竹有章 , 何星 , 杨成莱 , 李磐石

材料科学与工程学报

针对目前由金属开口谐振环与金属杆构成的左手材料结构存在构造比较复杂、工艺实现较难的缺点,设计实现了一种基于金属条的改进结构一”王”字型结构.通过理论分析和电磁仿真软件Ansoft HFSS 10模拟仿真,利用散射参量法提取参数结果表明该结构可以在X波段实现介电常数和磁导率同时为负.讨论研究了该左手结构的金属条宽度、中间缺口宽度、中间条宽度三个结构尺寸参数变化对谐振频率和透射峰幅值的影响,结果表明三个参数的变化都会对二者产生影响,其中金属条宽度改变对透射峰值影响幅度相对较大,缺口宽度改变对谐振频率影响幅度相对较大.

关键词: 金属条 , 左手材料 , 负折射率 , 谐振频率 , S参数

寿山千寻碧，桃李几度红——热烈祝贺王启东先生九十华诞

无

材料科学与工程学报

2011年9月27日，正值《材料科学与工程学报》第四届编辑委员会荣誉主任王启东先生九十华诞暨从教68周年。在此，我们向王启东先生表示最热烈的祝贺。

关键词: 材料科学与工程 , 编辑委员会 , 桃

王窑矿区恒利铁矿0-15线矿体安全开采技术研究

余斌 , 龚宇同 , 谢源 , 褚志勇

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2006.03.006

恒利铁矿是王窑矿区的一部分,该矿0-15线矿体一期开采深度在-40m以上,一期开采储量为705万t,矿石品位平均为TFe48.07%.文章针对恒利铁矿矿产资源特点,研究制定了综合开采工程技术方案,并详细进行了技术论证和经济分析,以确保该部分矿产资源能安全高效地获得回收.

关键词: 恒利铁矿开采 , 方案研究 , 投资估算 , 财务评价

宽温酸性镀锌工艺

郭崇武

电镀与涂饰

制定了宽温酸性镀酸锌工艺.滚镀的最佳工艺为:氯化锌45～55 g/L,氯化钾200 ～ 230 g/L,硼酸30～35 g/L,402主光剂1 mL/L,402辅光剂30 mL/L,温度15～45℃,pH=4.5～5.5,电压5.5～6.5 V.挂镀时只需改氯化锌含量为55～65 g/L,电流密度1～3 A/dm2.该工艺允许的温度范围宽,镀液稳定,出光快,均镀能力和深镀能力好.所用主光剂和辅光剂都具有较好的抗氧化能力.

关键词: 酸性镀锌 , 温度范围 , 光亮剂 , 抗氧化性

海南省东方市踏王山金矿床流体包裹体特征及矿床成因

熊瑛 , 朱自强 , 胡祥昭 , 鲁光银

中国有色金属学报

踏王山金矿位于海南省戈枕金矿带东南部,矿体主要产于东西向构造蚀变带中,矿石类型为蚀变岩型和石英脉型.在详细的野外地质调查基础上,对踏王山金矿床流体包裹体特征进行研究,并结合矿体产出形态特征,对流体来源以及矿床成因进行探讨.结果表明:矿区流体包裹体主要为气液两相包裹体和纯CO2包裹体,成矿流体具有中低温(均一温度为192～362℃)、中盐度(平均值为7.52％)及低密度(0.46～0.87g/cm3)的特征,成矿深度为中深环境.从包裹体成分上看,流体包裹体既有岩浆水特征(高H2O、H2含量,w(F-)/w(Cl-)≥1),又具有地下热卤水的特征(w(Na+)/w(K+)＞1),明显富集Ca2+或者Ca2+含量较高的成分,显示可能为混合流体.矿床成因为岩浆热液与地下热卤水叠加的复合型中低温热液矿床.

关键词: 流体包裹体 , 矿床成因 , 金矿 , 海南