赵明
,
王海容
,
蔡黎
,
朱艺
,
龚茂初
,
陈耀强
稀有金属材料与工程
用浸渍法制备了Pd/γ-Al_2O_3和Pd/Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_22种甲醇分解催化剂.采用XRD,NH_3-TPD(NH_3-Temperature-Programmed Desorption),XPS及H_2-TPR(H_2-Temperature.Programmed-Re...
关键词:
γ-Al_2O_3
,
Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_2
,
Pd催化剂
,
甲醇分解
朱强
,
蒋庄德
,
赵则祥
,
王海容
,
杨树明
稀有金属材料与工程
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得...
关键词:
悬臂梁法
,
微构件
,
弹性模量
,
MEMS
,
纳米压入仪
周志涛
,
王海容
,
蒋庄德
,
刘冲
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.018
对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要.在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板.首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚焦离子束在薄膜上加工出最小线宽71nm的栅型结构,最后,使用所加工的...
关键词:
纳米压印光刻
,
热压印
,
压印模板
,
聚焦离子束
,
硬质涂层
赵则祥
,
蒋庄德
,
王海容
稀有金属材料与工程
在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量...
关键词:
纳米压入
,
MEMS
,
力学性能
,
不确定度
周向阳
,
蒋庄德
,
王海容
稀有金属材料与工程
对等离子法制备的400 nm厚Cu膜-Si(100)基底系统(退火温度为300 ℃)进行了纳米压入实验,目的是寻找一种可靠的软金属薄膜本征模量的评定方法.研究结果表明:基于等模量假设的计算方法可以有效避免材料堆积行为和最小化基底效应对薄膜弹性模量评定的显著影响.结合使用连续刚度测试(CSM)技术,O...
关键词:
纳米压入
,
软金属薄膜
,
力学性能
,
弹性模量
,
铜
洪乃丰
腐蚀与防护
"海砂屋"是使用了不合格海砂作为混凝土砂料的建筑物.在地震灾害中,"海砂屋"可能造成严重的后果.须引起重视并加强管...
关键词:
孙振
,
竹有章
,
何星
,
杨成莱
,
李磐石
材料科学与工程学报
针对目前由金属开口谐振环与金属杆构成的左手材料结构存在构造比较复杂、工艺实现较难的缺点,设计实现了一种基于金属条的改进结构一”王”字型结构.通过理论分析和电磁仿真软件Ansoft HFSS 10模拟仿真,利用散射参量法提取参数结果表明该结...
关键词:
金属条
,
左手材料
,
负折射率
,
谐振频率
,
S参数
