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磁控溅射制备 YBCO 超导薄膜的AFM研究

王小平 , 刘援 , 王霈文 , 冯稷 , 李季 , 林晨光 , 华志强 , 吴柏枚

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.06.004

采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形...

关键词: 磁控溅射 , YBCO , 薄膜 , 表面形貌

不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究

王小平 , 刘援 , 王霈文 , 李季 , 林晨光 , 华志强 , 冯稷 , 吴柏枚 , 杜英磊

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2002.02.001

采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附...

关键词:

磁控溅射法制备 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜

王小平 , 刘援 , 王霈文 , 冯稷 , 林晨光 , 华志强 , 张朝兴

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.06.017

采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10...

关键词: 磁控溅射 , 双面超导薄膜 , 性能 , 微结构

Φ3英寸双面超导薄膜Jc均匀性测量

王小平 , 王霈文 , 李季 , 李弢 , 齐善学 , 华志强 , 古宏伟

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.051

临界电流密度Jc是评价超导薄膜质量的重要参数之一.采用Jc测量装置可以准确、快速、无损检测Φ2～3英寸双面膜的Jc均匀性.该装置是利用高温超导薄膜的超导转变对线圈内感应电压产生的变化这一原理,测量线圈由初级和次级组成.所用信号频率为20kHz.次级信号在同样频率下由锁相放大器检测.测量过程全部由计算...

关键词:

反应溅射法在蓝宝石衬底上制备CeO2缓冲层

雷跃刚 , 王霈文 , 李弢 , 古宏伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.06.006

用金属铈作为靶材, 采用射频反应磁控溅射法在(1102)蓝宝石衬底上制备C轴取向CeO2外延薄膜缓冲层. 结果表明在温度低于450 ℃或溅射功率低于50 W的条件下CeO2 薄膜呈(111)取向生长; 升高温度和功率CeO2薄膜的(111)取向减弱, (002)取向增强; 在温度高于750 ℃或溅射...

关键词: 反应溅射 , CeO2缓冲层 , 蓝宝石 , 外延生长