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根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬底表面流场均匀性的影响.结果表明:衬底低速摆动情况下摆动周期的变化对衬底表面流场的分布没有影响,衬底温度,热丝参数,进气口参数对衬底表面流场都有一定的影响,其中,热丝的排列方...

关键词: EACVD , 金刚石膜 , 流场 , 有限元模拟

工件旋转式磨削大直径硅片技术的研究进展

孙玉利 , 左敦稳 , 朱永伟 , 布光斌 , 王鸿翔

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2006.05.005

在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法在工件旋转式磨削硅片研究中的应用,最后提出了工件旋转式磨削大直径硅片技术目前存在的问题和今后的发展趋势.

关键词: 大直径硅片 , 超精密加工 , 工件旋转式磨削 , 平整度

硅衬底上高增透金刚石膜的制备研究

王鸿翔 , 左敦稳 , 卢文壮 , 徐峰

功能材料

采用甲烷和氢气作为工作气体,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备上采用五段式沉积法制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及傅立叶红外光谱仪研究了金刚石膜的结构和性质.结果表明,采用五段式沉积法可以得到晶粒大小达到纳米级的、表面粗...

关键词: HFCVD , 金刚石膜 , 增透

工艺条件对金刚石膜红外透射率影响的研究

王鸿翔 , 左敦稳 , 卢文壮 , 徐峰

材料科学与工艺

为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透射率与工艺条件密切相关,当衬底温度为750℃,碳源体积分数为2%,压强为...

关键词: CVD , 金刚石膜 , 红外透射率 , 工艺条件

小型化CVD金刚石膜沉积设备控制系统研究

钟磊 , 卢文壮 , 王鸿翔 , 徐锋 , 左敦稳

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2007.06.003

以新型的小型化CVD金刚石膜沉积设备为对象,设计了基于微控制器的集成控制系统,实现了对小型化设备无人看守状态下CVD金刚石膜的制备.阐述了采用混合信号SOC单片机C8051F020的系统硬件结构,实现了制备过程中各种物理量的实时采集.建立了基于模糊PID控制器混合算法的控制策略并对其进行优化.系统运...

关键词: CVD金刚石 , 控制系统 , 小型化 , C8051F020 , 模糊PID

含铅GaSb基半导体的热电输运特性

王鸿翔 , 应鹏展 , 张钦祥 , 颜艳明 , 崔教林

人工晶体学报

GaSb是Ⅲ-Ⅴ族系列直接带隙半导体材料,其内部的缺陷性质对调控材料的热电性能具有重要作用.研究发现,在GaSb中掺杂Pb后材料内部产生了大量的反结构受主缺陷Pbsb-及施主缺陷PbCa+,但本征缺陷VGa3-和SbGa2+浓度减少.这些缺陷浓度的变化直接调控了材料的热电输运性能.例如,掺杂0.25...

关键词: 热电材料 , GaSb基半导体 , 结构缺陷 , 声电输运特性