田彦宝
,
吉元
,
赵跃
,
吴迪
,
郭霞
,
沈光地
,
索红莉
,
周美玲
人工晶体学报
采用扫描电镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)技术,观察和分析了GaAs和GaN晶片热压键合的界面热应力和晶片键合质量.利用EBSD测量了GaAs-GaN键合界面的菊池花样质量、晶格转动、晶格错配和位错密度等应力敏感参数.结果表明,晶片键合质量良好,键合界面中心区域的热应力小于边缘区域的热应力.GaN层和GaAs层中的应力影响范围,在中心区域分别约为100 nm和300 nm,在边缘区域分别约为100 nm和500nm.EBSD显示的应力分布图与模拟应力场相似.模拟和计算表明,最大剥离应力和剪切应力分布在键合界面的边缘.剥离应力是导致晶片解键合的主要原因.
关键词:
GaAs-GaN
,
热应力
,
晶片键合
,
电子背散射衍射(EBSD)
田彦宝
,
吉元
,
王俊忠
,
张隐奇
,
关宝璐
,
郭霞
,
沈光地
功能材料
采用电子背散射衍射(EBSD)技术,以30~40nm的空间分辨率,显示GaAs-AlGaAs外延结构中的应力分布.将菊池花样质量IQ和Hough峰,以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数,分析GaAs-AlGaAs周期外延层中的应变状态.通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域.
关键词:
电子背散射衍射(EBSD)
,
微区应力
,
GaAs-AlGaAs
刘丽玲
,
袁国翠
,
牛耀玉
,
田超
腐蚀与防护
对宝浪油田污水处理系统污水水质、腐蚀挂片等数据分析,结果表明,该污水处理系统腐蚀严重.为了确定腐蚀影响因素,进行了污水流速、温度、pH等因素对腐蚀速率影响的试验研究.初步确定了这些因素对宝浪油田污水腐蚀影响规律,为日后制定防腐蚀措施可以提供参考.
关键词:
污水
,
腐蚀
,
影响因素
钛工业进展
回顾了2004年宝钛股份的生产经营情况,并介绍了近期中国钛行业所面临的问题,简述了宝钛股份的"十一五"发展战略及相应的策略.
关键词:
宝钛股份
,
2004年
,
经营
,
展望