白金超
,
王玉堂
,
郭总杰
,
丁向前
,
袁剑峰
,
邵喜斌
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153003.0432
研究了过孔接触电阻变化规律，并进行机理分析，为优化薄膜晶体管的过孔设计提供依据。首先，运用开尔文四线检测法对不同大小、形状、数量的钼/铝/钼结构的栅极和源/漏层金属与氧化铟锡连接过孔的接触电阻进行测试。然后，通过扫描电子显徽镜、能量色散 X射线光谱仪和聚焦离子束显徽镜对过孔内部形貌进行表征。最后，对过孔接触电阻变化规律进行机理分析。实验结果表明：过孔面积越大，接触电阻越小；过孔面积相同时，长方形过孔的接触电阻小于正方形过孔的接触电阻，多小孔的接触电阻小于单大孔的接触电阻，栅极金属与氧化铟锡的过孔接触电阻小于源/漏层金属与氧化铟锡的过孔接触电阻。为了降低钼/铝/钼与氧化铟锡连接过孔的接触电阻，过孔面积尽可能最大化，采用长方形过孔优于正方形过孔，多小过孔优于单大孔设计，同时优化过孔刻蚀工艺，减少过孔内顶层钼的损失。
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
接触电阻
,
过孔设计优化
白金超
,
张光明
,
郭总杰
,
郑云友
,
袁剑峰
,
邵喜斌
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153004.0616
研究各膜层对灰化速率的影响,增强对灰化工艺的了解,为四次光刻工艺改善提供参考.采用探针台阶仪测量在相同灰化条件下不同膜层样品的灰化速率和有源层损失量,对结果进行机理分析和讨论.实验结果表明:有源层会降低灰化速率,源/漏金属层可以增大灰化速率,栅极金属层对灰化速率无影响.对于正常膜层结构的阵列基板,源/漏层图形密度越大,灰化速率越小,图形密度每增大1％,灰化速率下降14 nm/min.有源层和源/漏金属层对灰化等离子体产生影响,从而影响灰化速率.
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
四次光刻
,
光刻胶
,
灰化
袁军平
,
李卫
,
王昶
稀有金属材料与工程
白色金合金饰品广泛使用镍作为漂白元素,可以获得较好的颜色和机械性能.但是镍是一个潜在的致敏元素.本文选择一种常用的所谓“无镍过敏”10K白金合金首饰材料,按照EN1811标准检测了不同加工条件和表面处理方式下的镍释放情况.结果表明,合金的镍释放率与其耐腐蚀性密切相关,同种合金材料采用不同的加工工艺和表面处理方式,镍释放率不同,呈现“两相区退火态+粗糙面＞冷加工态+粗糙面＞冷加工态+抛光面＞淬火态+粗糙面＞淬火低温回火态+粗糙面”的顺序；尽管试验合金的镍释放率调整值满足镍指令“94/27/EC”的要求,但绝大部分不能通过镍指令“2004/96/EC”,尤其是在各种工艺条件下的实际镍释放率均明显超过两个镍指令中规定的阈值,说明用这种材料制作的饰品在使用过程中存在镍过敏风险,特别是对于穿刺饰品风险更大.
关键词:
首饰
,
白色金合金
,
镍释放
,
镍指令
王天野
,
杨志刚
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.08.001
节能减排是关系到中国经济可持续发展、造福子孙后代的一件大事.做好黄金矿山节能减排是中央企业加快发展的必然要求,也是矿山企业提高自身竞争力的客观需要.以陕西太白金矿为例,阐述了企业通过合理利用水资源,实现生产用水循环利用,达标排放;加强生产管理,提高资源利用率;实施节能技术改造,有效降低能耗;多措并举,全面降低生产经营成本等管理措施,达到节能减排目标,值得借鉴.
关键词:
黄金矿山
,
节能减排
,
循环经济
,
措施
张来新
,
胡小兵
合成材料老化与应用
简要介绍了纳米超分子化学的产生、发展及应用,重点综述了:①超分子纳米材料的合成及应用;②新型超分子纳米材料制备的新方法及其应用;③新型超分子纳米材料的合成及在医药学方面的应用.并对纳米超分子化学的发展进行了展望.
关键词:
纳米超分子化学
,
合成
,
应用
