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TFT-LCD过孔接触电阻研究

白金超 , 王玉堂 , 郭总杰 , 丁向前 , 袁剑峰 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153003.0432

研究了过孔接触电阻变化规律，并进行机理分析，为优化薄膜晶体管的过孔设计提供依据。首先，运用开尔文四线检测法对不同大小、形状、数量的钼/铝/钼结构的栅极和源/漏层金属与氧化铟锡连接过孔的接触电阻进行测试。然后，通过扫描电子显徽镜、能量色散 X射线光谱仪和聚焦离子束显徽镜对过孔内部形貌进行表征。最后，对...

关键词: 薄膜晶体管阵列工艺 , 接触电阻 , 过孔设计优化

各膜层对光刻胶灰化的影响

白金超 , 张光明 , 郭总杰 , 郑云友 , 袁剑峰 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153004.0616

研究各膜层对灰化速率的影响,增强对灰化工艺的了解,为四次光刻工艺改善提供参考.采用探针台阶仪测量在相同灰化条件下不同膜层样品的灰化速率和有源层损失量,对结果进行机理分析和讨论.实验结果表明:有源层会降低灰化速率,源/漏金属层可以增大灰化速率,栅极金属层对灰化速率无影响.对于正常膜层结构的阵列基板,源...

关键词: 薄膜晶体管阵列工艺 , 四次光刻 , 光刻胶 , 灰化

垂直线不良分析与改善

张光明 , 白金超 , 曲泓铭 , 张益存 , 于凯

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173205.0352

针对栅极绝缘层和栅极引线接触处形成过孔倒角造成的一种垂直线不良进行分析和改善.研究气相沉积、干法刻蚀和磁控溅射对过孔倒角的影响,通过扫描电子显微镜对过孔形貌进行表征,并用成盒检测设备检测不良发生情况.实验结果表明:通过过孔刻蚀功率、气压、气体流量的变更可以消除倒角现象,垂直线不良由1.4%降为0.7...

关键词: 垂直线不良 , 倒角 , 过孔

阶段矿房采矿法在太白金矿的应用

李兵

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2002.10.006

针对深部矿体开采条件的变化,太白金矿进行了与矿床开采条件相适应的阶段矿房采矿法试验研究,取得了较好的技术经济效果.

关键词: 厚大矿体 , 阶段矿房采矿法 , 矿柱回采

合金元素对K白金首饰合金性能影响的探讨

申柯娅

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2011.02.007

K白金的强度高、铸造性能好,在首饰业被广泛用作铂金的替代品.但K白金的合金成分对K白金首饰的合金性能会产生很大的影...

关键词: 金属材料 , K白金 , 合金元素 , 首饰合金性能

分段凿岩阶段矿房采矿法在陕西太白金矿的应用

刘党权

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2005.02.008

介绍了分段凿岩阶段矿房采矿法在陕西太白金矿的应用现状,指出了陕西太白金矿分段凿岩阶段矿房采矿法应用特点及所存在的问题,提出了改进措施.

关键词: 陕西太白金矿 , 分段凿岩阶段矿房采矿法 , 应用特点 , 改进措施

饰用10K白金合金镍释放的研究

袁军平 , 李卫 , 王昶

稀有金属材料与工程

白色金合金饰品广泛使用镍作为漂白元素,可以获得较好的颜色和机械性能.但是镍是一个潜在的致敏元素.本文选择一种常用的所谓“无镍过敏”10K白金合金首饰材料,按照EN1811标准检测了不同加工条件和表面处理方式下的镍释放情况.结果表明,合金的...

关键词: 首饰 , 白色金合金 , 镍释放 , 镍指令

中国黄金矿山节能减排循环经济的新发展——以陕西太白金矿为例

王天野 , 杨志刚

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.08.001

节能减排是关系到中国经济可持续发展、造福子孙后代的一件大事.做好黄金矿山节能减排是中央企业加快发展的必然要求,也是矿山企业提高自身竞争力的客观需要.以陕西太白金矿为例,阐述了企业通过合理利用水资源,实现生产用水循环利用,达标排放;加强生产...

关键词: 黄金矿山 , 节能减排 , 循环经济 , 措施

铂金与K白金的区别

黄金

关键词:

纳米超分子化学

张来新 , 胡小兵

合成材料老化与应用

简要介绍了纳米超分子化学的产生、发展及应用,重点综述了:①超分子纳米材料的合成及应用;②新型超分子纳米材料制备的新...

关键词: 纳米超分子化学 , 合成 , 应用