苏晶
,
刘玉荣
,
莫昌文
,
简平
,
李晓明
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132803.0315
氧化锌基薄膜晶体管(ZnO-TFT)器件的性能受到多种因素的影响,如半导体有源层、栅介质层的质量、栅介质与有源层的界面质量,其中有源层的质量起到至关重要的作用,而在影响器件有源层方面,制备方法是其中一个重要的因素.目前,已有多种ZnO半导体有源层制备技术应用于ZnO-TFT的制备(如原子层沉积、脉冲...
关键词:
氧化锌
,
薄膜晶体管
,
有源层
,
制备方法
袁都奇
低温物理学报
在定义特征长度的基础上,应用Euler-MacLaurin公式,研究了三维简谐势阱中有限理想Fermi气体的热力学性质.给出了具有有限尺度效应修正的化学势、内能、压强张量与状态方程和热容量的解析表达式,分另就强简并和弱简并的情况进行了讨论...
关键词:
有限尺度效应
,
理想Fermi气体
,
热力学性质
,
简谐势阱