王福学
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蔡小龙
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闫大为
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肖少庆
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顾晓峰
人工晶体学报
采用简单的碳热蒸发法在硅衬底上制备了四足棒球棒状ZnO纳/微米材料,结合光致发光谱(PL)、阴极射线发光谱(CL)、XRD谱、SEM以及TEM等分析了该材料的结构和发光特性.结果表明,制备的单晶ZnO纳/微米材料具有纤锌矿结构,并且沿着c轴方向择优生长;每个纳/微米结构有四个足,每个足的直径约为0....
关键词:
ZnO
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纳/微棒球棒
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阴极射线发光
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光致发光
周晶晶
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肖少庆
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姚尧
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顾晓峰
人工晶体学报
本文利用容性放电模式(E-mode)的电感耦合等离子体(ICP)化学气相沉积技术,在低温(100℃)下采用硅烷(SiH4)、氮气(N2)和氢气(H2)作为先驱反应气体制备氢化氮化硅薄膜(SiNx∶H),并通过傅里叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的键...
关键词:
SiNx
,
等离子体化学气相沉积
,
表面钝化
,
容性放电
张学成
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肖少庆
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南海燕
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张秀梅
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闫大为
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顾晓峰
人工晶体学报
薄层二硫化钼(MoS2)作为一种二维过渡金属硫属化合物(TMDC)具有较好的光学和电学特性,在目前的半导体光电功能器件领域中具有良好的应用前景.本文主要采用一种温和等离子体技术并在以氢气作为先驱气体的环境下对薄层二硫化钼进行处理,研究处理前后以及后续退火后薄层二硫化钼的光学与电学特性的变化.研究表明...
关键词:
薄层二硫化钼
,
温和等离子体
,
拉曼光谱
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荧光
,
场效应晶体管
