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湿法刻蚀FI CD均一性的影响因素及提高刻蚀均一性的研究

范学丽 , 靖瑞宽 , 翁超 , 陈启省 , 王晏酩 , 肖红玺 , 刘还平

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163101.0067

随着高分辨率产品导入,TFT-LCD阵列段各项参数范围越来越小,工艺要求更为严格,为了更好地管控湿法刻蚀各项参数,本文以湿法刻蚀FI CD(Final Inspection Critical Dimension)均一性的影响因素及如何提高FI CD均一性为目的进行研究.首先,通过对湿法刻蚀设备参数(主要包括刻蚀液温度、流量、压力、浓度、Nozzle Sliding、Oscillation Speed、刻蚀时间等)进行试验,验证各项参数对FI CD均一性的影响.其次,对沉积工序、曝光工序以及产品设计等进行试验,获悉影响因素并进行改善.通过对湿法刻蚀设备自身参数的调整,如减少设备温度、流量、压力波动,使参数保持相对稳定状态,可有效改善湿法刻蚀FI CD均一性,FI CD的均一性可从1.0降低至0.5.通过对湿法刻蚀设备参数进行试验并做相应调整,湿法刻蚀FI CD均一性改善效果显著.

关键词: TFT-LCD , 湿法刻蚀 , FI CD , 均一性

TFT-LCD高温光照漏电流改善研究

蒋会刚 , 肖红玺 , 王晏酩

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163103.0283

造成TFT不稳定的问题点一般认为有两种:一是沟道内半导体材料内部的缺陷,另一个是栅极绝缘层内的或是绝缘层与沟道层界面的电荷陷阱.TFT LCD在长期运行时由于高温及光照的影响会导致漏电流增加,进而对TFT造成破坏.分析研究表明,TFT沟道在刻蚀完成后,沟道内部存在一定的缺陷以及绝缘层与沟道层界面存在电荷陷阱,平面电场宽视角核心技术-高级超维场转换技术型产品由于设计的原因面临着如果进行氢处理会导致与其与氧化铟锡中的铟发生置换反应,导致铟的析出,所以无法采用氢处理.理论分析表明Si-O键稳定,本文主要介绍通过氯气/氧气和六氟化硫/氧气对TFT沟道进行处理改善高温光照漏电流.结果表明,通过氯气/氧气和六氟化硫/氧气处理TFT沟道后,高温光照漏电流从18.19 pA下降到5.1 pA,可见氯气/氧气和六氟化硫/氧气对沟道处理可有效改善高温光照漏电流.

关键词: 高温光照漏电流 , TFT沟道 , TFT特性 , 沟道厚度

比肖夫式高炉煤气洗涤塔的技术改造

杨子彬 , 杨殿卿

中国冶金 doi:10.3969/j.issn.1006-9356.2008.12.008

剖析了邯钢7号高炉配套的比肖夫式煤气洗涤塔的结构特点,运行状况与噪声超标、挂板脱落、橡胶补偿器易损坏、液压伺服阀堵塞、鲎口自动闭合堵塞气、液通道问题的具体原因,制定了相应的技术改造方案.实施后,取得了能够满足高炉与TRT正常生产和发电的需要,噪声也达到了国标要求,效果良好.

关键词: 比肖夫式高炉煤气洗涤塔 , 结构技术改造

红柱石的莫来石化

李柳生 , 平增福

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.01.010

综述了对红柱石莫来石化及其烧结行为的研究,探讨了优化红柱石基耐火材料制备工艺的途径.

关键词: 红柱石 , 莫来石化 , 烧结

肖纪美先生简介

王光雍

材料导报

关键词:

仿红古铜表面加工工艺

李庆恩

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2009.08.008

红古铜工艺是仿古技术之一,是用电镀、染色和机械打磨而成的.介绍了采用低氰工艺预镀底层.锌合金压铸件在预镀铜后,焦磷酸铜镀液加厚镀铜;而铁件预镀铜后,常温硫酸铜镀液加厚镀铜,打磨定型,涂漆封膜.

关键词: 红古铜 , 着黑色 , 低氰镀液镀铜 , 打磨定型

板带钢快速冷却后表层返红现象

刘相华 , 于明 , 支颖 , 谢海波 , 喻海良

钢铁研究学报

热轧板带钢轧后冷却过程中,由于骤冷后表面与中心的温差导致轧件内部的热量传向表面,出现表面返红现象.对返红过程进行实验研究,实测了轧件在水冷后表层和内部温度的变化.用有限元法对不同规格轧件经历不同冷却条件下的返红情况进行模拟,分析钢板表面返红的原因,确定了发生返红的临界条件,得到了不同条件下返红引起的温升量和返红时间.结果表明,随着厚度和冷却速度的增大,水冷后心表温差增加,返红温升量增大,返红时间也增加.

关键词: 板带钢 , 快速冷却 , 表面返红

板带钢快速冷却后表层返红现象

刘相华 , 于明 , 支颖 , 谢海波 , 喻海良

钢铁研究学报

热轧板带钢轧后冷却过程中，由于骤冷后表面与中心的温差导致轧件内部的热量传向表面，出现表面返红现象。对返红过程进行实验研究，实测了轧件在水冷后表层和内部温度的变化。用有限元法对不同规格轧件经历不同冷却条件下的返红情况进行模拟，分析钢板表面返红的原因，确定了发生返红的临界条件，得到了不同条件下返红引起的温升量和返红时间。结果表明，随着厚度和冷却速度的增大，水冷后心表温差增加，返红温升量增大，返红时间也增加。

关键词: 板带钢;快速冷却;表面返红

215铁红环氧防锈底漆的研制

张建 , 刘军

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.1999.11.020

以改性环氧树脂、聚酰胺、改性树脂、改性聚多胺、氧化铁红和三聚磷酸铝等为主要原料,开发出防锈耐候215铁红环氧防锈底漆.

关键词: 改性环氧树脂 , 聚酰胺 , 改性树脂 , 改性聚多胺

红柱石基浇注料的性能研究

石干 , 张伟 , 熊小勇

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2010.05.002

以红柱石、矾土熟料和焦宝石为主要原料,制备了红柱石、红柱石-高铝矾土、红柱石-焦宝石以及高铝矾土4种材质的浇注料,对比了4种浇注料的常温性能、加热线变化率、高温抗折强度、抗蠕变性、抗热震性和热导率.结果表明:红柱石-矾土浇注料和红柱石-焦宝石浇注料与高铝矾土浇注料相比均表现出较优的高温性能,可以作为一种新的中间包永久衬用浇注料.

关键词: 红柱石 , 浇注料 , 性能