范平
金属学报
在F-S理论的基础上, 考虑表面和晶界的散射, 给出了超薄金属膜的电导率与厚度的关系式, 与超薄铝膜的电导率随厚度变化的实验结果对比表明, 计算曲线与实验曲线符合得较好.
关键词:
超薄膜
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范平
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易葵
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邵建达
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齐红基
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范正修
中国有色金属学报
采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜和Cu膜,利用四电极法测量了薄膜的电阻率,从而得到了Co膜和Cu膜的电导率随薄膜厚度的变化关系. 实验结果表明,Co膜和Cu膜的电学特性都具有明显的尺寸效应. 比较了同时考虑表面散射和晶界散射的电导理论得到的电导率公式与实验结果,不同薄膜厚度电导率的理论结果与实验...
关键词:
Co薄膜
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Cu薄膜
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金属材料
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电学特性
范平
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梁广兴
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张东平
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蔡兴民
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池京容
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李盛艺
功能材料
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响.结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半...
关键词:
CdS薄膜
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离子束溅射
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微结构
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光电性能