张欢
,
马宗敏
,
谢艳娜
,
唐军
,
石云波
,
薛晨阳
,
刘俊
,
李艳君
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.022
目的：制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针NaCl(001)表面,分...
关键词:
导电薄膜
,
Si探针
,
原子分辨率
,
磁交换力显微镜
李惠琴
,
陈晓勇
,
王成
,
穆继亮
,
许卓
,
杨杰
,
丑修建
,
薛晨阳
,
刘俊
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.012
原子层沉积( ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术，具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点，适用于纳米多孔和高深宽比基底材料，可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备，广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理，介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展...
关键词:
原子层沉积
,
薄膜技术
,
高深宽比结构
,
纳米多孔结构
,
微纳结构器件
杜文龙
,
梁庭
,
薛晨阳
,
唐建军
,
叶挺
材料科学与工程学报
铌酸锂晶体具有较强的热释电效应,由铌酸锂制作的红外传感器敏感头受到科研人员的广泛关注.将晶片与硅衬底在200℃和压力100N的条件下键合,利用自行设计的磨具将铌酸锂减薄到40微米,磨料由水与刚玉以1:1的比例制成.本文讨论了铌酸锂键合的过程,减薄的过程及厚度测试,通过拉曼光谱分析残余应力,通过原子力...
关键词:
铌酸锂
,
研磨
,
晶片
,
拉曼
,
原子力
薛晨阳
,
陈尚
,
张文栋
,
刘俊
,
张斌珍
,
李丽华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.019
根据介观压阻效应原理以及柱体声学理论,提出了一种基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器,期望利用量子阱薄膜材料的高灵敏度压阻效应以及水听器精巧的微结构,提高矢量水听器的灵敏度,实现水听器的低频特性及结构微小型化.首先概括地描述了介观压阻效应原理以及柱体声学理论;完成了水听器的结构设计;采用GaAs基微机械...
关键词:
矢量水听器
,
量子阱薄膜
,
纳机电
,
指向性
魏天杰
,
薛晨阳
,
李艳
,
张文栋
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.040
以共振隧穿结构为压阻器件可以得到较高的灵敏度,但是当实验选择不同的工作偏压时,这种压阻效应表现得极其不同.由于高灵敏度是依靠较高的I-V曲线斜率获得的,因此最初人们希望选择具有较高峰谷比结构作为器件.但是有些区域的斜率过大,以至于压阻效应失去线性及稳定性而变得没有实用价值.另外,在某些工作区域由于共...
关键词:
共振隧穿结构
,
压阻系数
,
I-V曲线
,
灵敏度
晋玉剑
,
薛晨阳
,
丑修建
,
刘俊
,
张文栋
材料导报
基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点.主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q...
关键词:
光波导
,
微谐振腔
,
高Q值
,
微光机电系统
仝召民
,
薛晨阳
,
张斌珍
,
刘俊
,
乔慧
,
郭慧芳
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.006
本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计.在加工工艺上,采用双空气桥技术和Au/Ge/Ni合金膜系欧姆接触技术有效降低了电容、电阻等对器件结构性能的影响;在传感器的具体加工过程中,共...
关键词:
AlAs/InGaAs/GaAs
,
拍子
,
声传感器
,
共振隧穿结构
