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基于模型复制法的金刚石微结构制备研究

袁佳晶 , 卢文壮 , 王红军 , 徐锋 , 左敦稳

人工晶体学报

CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景.金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术.本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构.Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法.

关键词: CVD金刚石 , 模型 , 微结构 , HFCVD

整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究

林欢庆 , 卢文壮 , 左敦稳 , 徐锋 , 袁佳晶 , 马乐娟

人工晶体学报

本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Raman对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试.结果表明:优化后的流场可以用于制备高质量的CVD金刚石涂层,且批量制备出的在衬底不同位置上的铣刀表面CVD金刚石涂层的质量均匀一致.

关键词: 铣刀 , CVD金刚石 , 涂层 , 三维流场

CVD金刚石膜激光打孔温度场有限元仿真

吴小军 , 左敦稳 , 徐锋 , 王珉 , 何家源 , 袁佳晶

硅酸盐通报

化学气相沉积金刚石膜是聚优异力学、电学、热学性能于一体的材料.金刚石激光打孔过程中存在特有的石墨化现象使得其温度场的分布有别于其他材料,因而,开展CVD金刚石膜激光打孔温度场研究对于理解热加工机理和进行参数优化具有重要的指导意义.本文首先建立了考虑金刚石石墨化过程的激光打孔热力学模型,根据有限元模型开展对CVD金刚石膜激光打孔有限元仿真研究,得到激光打孔温度场和金刚石石墨化的分布规律,并讨论激光能量、脉冲宽度、重复频率对单个脉冲去除量和石墨化程度的影响.仿真结果表明:单个脉冲平均去除量和石墨化程度均随着激光能量、脉冲宽度、重复频率的增加而增加,但激光能量的影响最为显著;当激光能量取0.5～1.6 J,脉冲宽度取300～800 ns,重复频率取30～60 Hz时既可以得到很高的加工效率同时又可以获得热影响区域较小的加工效果.

关键词: CVD金刚石膜 , 调Q Nd:YAG激光 , 打孔 , 温度场 , 有限元

佳化幅选寻址LCD模块响应时间的测量方法

刘忠安 , 铁斌

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.04.009

对通过佳化幅值选择寻址法驱动的常规矩阵显示和多路寻址字符型LCD显示模块, 提出了一种通过控制模块直流工作电压来测量模块响应时间的测量方法, 并说明了该方法的原理及实测效果.

关键词: 佳化幅值选择寻址法 , LCD模块 , 响应时间

袁家虎研究员简介

功能材料

关键词:

纺织纤维表面的X光电子能谱研究袁骏

袁骏

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.01.019

由于纤维聚集体不同于紧密结构材料，在用XPS测定分析纤维表面结构时，电子被电离射出的量要小得多，测定的灵敏度较低。通常纤维的聚集结构越紧密，对测定分析结果越有利，机织物是较好的测试材料形式。在对纤维表面元素含量测定时，低含量成分有变小的趋势，而高含量成分有变大的趋势。在测定分析纤维表面元素含量时，这种影响趋势对测定低含量成分可能会有较大的影响。

关键词: XPS , 纤维 , 测试灵敏度 , 表面结构

新型细晶Ni₃Al涂层的高温氧化行为

李明菲 , 彭晓 , 王福会

中国腐蚀与防护学报

采用Ni和Al颗粒复合电沉积与后续真空退火的方法，分别于600℃和 800℃退火温度下制备了两种新型细晶Ni₃Al涂层。与粗晶合金相比，经1000℃氧化20 h后，合金的氧化层发生大面积剥落，而两种涂层的氧化膜粘附性佳，其主要原因为细晶涂层内的大量晶界促进Al 向氧化前沿的扩散，从而抑制了氧化膜/基体界面处“Kirkendall”孔洞的形成与长大。同时发现，800℃退火涂层氧化膜结构由外至内分别为NiO/NiAl₂O₄/Al₂O₃，而600℃退火涂层仅生成NiAl₂O₄与Al₂O₃，对该原因进行了探讨。

关键词: 氧化 , microcrystalline , co-electrodeposition , annealing , pores

Co基非晶/纳米晶的晶化及磁性能的研究评述

王冰霞

金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2007.02.008

简要介绍了Co基非晶纳米晶的组成及应用,讨论了Co基非晶的晶化的影响因素,以及晶化产物对磁性能的影响.

关键词: Co基非晶态合金 , 非晶形成能力 , 软磁性 , 晶化产物 , 矫顽力

纳米晶镁铝尖晶石透明微晶玻璃的晶化行为研究

范仕刚 , 余明清 , 张林 , 赵春霞 , 陈广乐 , 王坤 , 刘杰 , 张联盟

稀有金属材料与工程

利用DTA、XRD和TEM研究了制备工艺对微晶玻璃晶化行为的影响,并制备出具有纳米镁铝尖晶石为晶相的微晶玻璃.

关键词: 纳米晶 , 镁铝尖晶石 , 晶化 , 微晶玻璃

非晶合金纳米晶化的研究进展

吴文飞 , 姚可夫

稀有金属材料与工程

纳米晶材料是目前材料科学与工程领域中最具吸引力的材料之一.而非晶合金晶化法是纳米晶材料的主要制备方法之一.本文综述了国内外非晶合金纳米晶化的主要方法和研究动态,包括热致晶化、电致晶化、机械晶化和高压晶化等.并对各种方法的原理、特点、存在的问题以及最新进展进行了述评.同时介绍了清华大学在大块非晶合金高强脉冲电流晶化研究中取得的进展.

关键词: 非晶合金 , 纳米晶化 , Zr41Ti14Cu12.5Ni10Be22.5