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影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究

郭钰 , 彭同华 , 刘春俊 , , 蔡振立 , 张贺 , 王波

人工晶体学报

选用二氧化硅抛光液抛光4H导电SiC晶片表面,探究影响SiC晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量.实验结果表明,SiC表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果.保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,SiC表面去除速率先增加后保持不变.在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,SiC表面的抛光去除速率进一步增加.通过优化的抛光参数,SiC表面的抛光去除速率达到142 nm/h.进一步研究结果表明,保持化学机械抛光过程中氧化作用与机械作用相匹配,是获得高抛光效率和良好的表面质量的关键.表面缺陷检测仪(Candela)和原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,SiC抛光片表面无划痕,粗糙度达到0.06 nm.外延后总缺陷密度小于1个/cm2,粗糙度达到0.16 nm.

关键词: 碳化硅 , 化学机械抛光 , pH值 , 压力 , 双氧水

YCl_3-AECl_2(AE=Mg,Ca,Sr,Ba)二元相图的研究

, 马淑兰 , 乔欣 , 庄卫东 , 邢献然 , 乔芝郁

金属学报

用差热分析法测定了YCl_3一SrCl_2体系二元相图,并用X时线衍射法验证了该二元体系中新相的生成。使用CALPHAD技术评估和优化了YCl_3一AECl_2(AE=Mg,Ca,Sr,Ba)系列四个二元相图和热力学性质,取得了热力学性质和相图自相一致的结果。

关键词: 稀土氯化物 , phase diagram , thermodynamics , molten salt

无铅锡基钎料合金设计和合金相图及其计算

乔芝郁 , 谢允安 , 曹战民 , , 孙勇 , 祁更新

中国有色金属学报

阐述了无铅钎料合金设计的原则, 讨论了合金相图及其计算在无铅锡基钎料合金设计中的作用. 利用相图计算技术筛选了可能代替Pb-Sn共晶钎料合金的Sn-Zn-In三元(x(Zn)<0.11, x(In)=0.10~0.14)和Sn-Zn-In-Ag四元(x(Sn)=0.800, x(In)=0.090, x(Zn)=0.075, x(Ag)<0.049)无铅锡基钎料合金. 初步讨论了用相图计算技术在富Sn四元Sn-Zn-In-Ag无铅钎料合金基础上, 添加Bi, Sb等低熔点金属和微量Ce, La等稀土元素以降低贵金属In和Ag的含量, 进一步提高无铅锡基多元合金钎料的综合性能和性能价格比.

关键词: 钎料合金 , 无铅钎料 , 相图 , 相图计算

微米级SiC/Pt复合物的光催化产氢性能研究

杨静静 , 何勇平 , 彭媛 ,

合成材料老化与应用

通过光照法、水热法、乙二醇还原法制备得到了SiC/Pt复合物,其中光照法制备得到的复合物Pt-SiC-P在紫外可见光下的产氢性能最好,Pt负载量为质量分数0.2%时复合物在紫外光下的产氢能力达到75μmol·h-1·g-1,是纯SiC的15倍.Pt的负载不仅有效分离了光生电子和空穴,还减小了SiC的禁带宽度.0.2%Pt-SiC-P复合物多次循环,均保持良好的产氢活性.

关键词: 碳化硅SiC , 氢气 , , 复合物

L12-Ni3 Ga和DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物的活度、热力学因子和互扩散系数

黄永章 , , 乔芝郁

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2005.02.014

基于Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物中Ga和Al的活度,利用Φ=xi·(e)lnαi/(e)xi分别计算了不同温度时Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3Al相中扩散的热力学因子Φ.计算表明,在化学计量比处附近Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3 Al相中扩散的热力学因子Φ趋于最大值.根据Darken-Manning公式D=(xBDA*+xADB*)·Φ·S,由扩散的热力学因子Φ及自扩散系数分别计算了1123,1223和1261 K下Ll2-Ni3Ga和823 K下DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物的互扩散系数D.

关键词: 非化学计量金属间化合物 , 活度 , 扩散的热力学因子 , 互扩散系数

Ni-Sb二元合金的相关系与热力学性质的研究

黄永章 , , 乔芝郁

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.04.024

利用非等温等蒸气压法研究了Ni-Sb二元合金的相关系,确定了Ni5Sb2和γ-NiSb的相边界.当温度高于715℃时Ni-Sb体系中不存在Ni3Sb相,只有Ni5Sb2相存在,Ni5Sb2的相边界是(原子分数)29.42%~31.6%Sb,γ-NiSb的相边界为(原子分数)50.2%~52.58%Sb.测定了非化学计量金属间化合物Ni5Sb2和γ-NiSb非化学计量范围内Sb的活度,并计算了Sb的偏摩尔焓和偏摩尔熵等热力学性质.

关键词: 非等温等蒸气压法 , Ni-Sb二元合金 , 活度 , 相图

湖北随州硬玉质变霓正长岩的岩石矿物特征及应用研究

, 王勤燕 , , 叶先贤

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2000.02.014

随州硬玉质变霓正长岩的岩石组织结构、矿物赋存状态、矿石可选性和玻璃陶瓷原料应用试验研究表明:该资源具有易采易选两大优点,矿石经单一磁选的精矿可作玻璃和陶瓷的原料;同时已反复试验证实该资源可烧成原矿用量达90%的釉面墙地砖.

关键词: 湖北随州 , 硬玉质变霓正长岩 , 玻璃陶瓷原料

中原油田23气田气井腐蚀原因分析

郑家燊 , 傅朝阳 , 刘小武 , 彭芳明 , 黄先球 , 赵景茂 , 吴灿奇 , 徐卫东 , 王选奎

中国腐蚀与防护学报

采用XRD、XPS和EPMA对中原油田23-1、23-8气井油管腐蚀产物和管材进行分析,并试验了碳钢在CO_2介质中的腐蚀。研究结果表明,天然气中的CO_2及凝析水是气井腐蚀的主要原因。管材的非金属夹杂物(MnS、Al_2O_3)含量超标,是加速油管在CO_2环境中局部腐蚀穿孔破坏的另一原因。还探索了应用缓蚀剂防止气井CO_2腐蚀的可能性。

关键词: 气井 , Oil pipe corrosion , Failure analysis , Inhibitor

O-去甲基拉法辛合成的新方法

史兰香 , 张宝华

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2013.20351

拉法辛为原料,分别以新的脱甲基试剂半胱氨酸钠盐和青霉胺钠盐制备了O-去甲基拉法辛,收率为86%和82%.一锅中分别完成了半胱氨酸钠盐、青霉胺钠盐的制备与拉法辛脱甲基反应,简化了操作步骤.最优反应条件为溶剂N-甲基吡咯烷酮,反应温度175℃,产物析晶pH值9.5.

关键词: O-去甲基拉法辛 , 拉法辛 , 脱甲基化 , 半胱氨酸钠盐 , 青霉胺钠盐

哈贝壳螺旋微结构研究

陈斌 , 彭向和 , 孙士涛 , 季金苟 , 陈松

稀有金属材料与工程

对丽哈贝壳的微结构进行了扫描电镜(SEM)观察,观察显示它是由无机霰石层和有机胶原蛋白组成的一种生物陶瓷复合材料,其中无机霰石层平行于贝壳表面整齐排列.观察也显示这些霰石层是由长而薄的霰石片所组成,不同霰石层中的霰石片具有不同的方向,构成螺旋等铺层形式.更仔细的观察显示每一霰石片又是由长而细的霰石纤维所组成,最细的霰石纤维具有纳米的尺度.根据在贝壳中观察到的螺旋结构,进行了螺旋结构和平行结构最大拔出力的比较实验研究,结果显示螺旋结构的最大拔出力大于平行结构的最大拔出力,它使贝壳具有高的强韧性.研究结果对高性能仿生陶瓷复合材料设计提供了有益指导.

关键词: 哈贝壳 , 生物陶瓷复合材料 , 螺旋微结构 , 最大拔出力

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