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蒸发电流对CdSe薄膜的结晶性能影响研究

裴传奇 , 张敏 , 张志勇 , 杨辉 , 刘其娅 , 曾体贤

人工晶体学报

采用真空热蒸发技术,选取系列蒸发电流在光学玻璃基底上制备出CdSe薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和原子力显微镜对样品的结构和表面形貌进行了表征.结果显示:蒸发电流为75 A时,CdSe薄膜沿(002)方向择优生长,衍射峰较强,半峰宽较小,晶粒(约48 nm)分布较均匀,表面粗糙度低(5.58 nm),无裂纹.蒸发电流不改变薄膜的结晶取向,但电流过低时,薄膜的表面颗粒轮廓模糊且有间隙,结晶性差;电流高于75 A时,随电流升高,薄膜结晶性逐步降低,颗粒变小,半峰宽变大,部分样品表面晶粒生长不完整,表面出现裂纹.

关键词: CdSe薄膜 , 热蒸发 , 蒸发电流 , 结晶

基于Si衬底的CdSe薄膜蒸镀工艺研究

肖飞 , 曾体贤 , 杨辉 , 刘其娅 , 裴传奇 , 张敏

人工晶体学报

采用真空蒸发技术在Si(100)基底上制备了CdSe纳米晶薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、膜厚测试仪、原子力显微镜(AFM)方法对不同蒸发电流下制备的薄膜的结晶情况、表面形貌进行分析表征.结果表明:蒸发电流对CdSe薄膜的结晶性能和表面形貌有显著影响.当蒸发电流为75 A时,CdSe薄膜沿(002)方向的衍射峰相对较强,沿c轴取向择优生长优势明显,薄膜厚度约为160 nm,晶粒尺寸约为40 nm,颗粒均匀;薄膜表面平整光滑,表面粗糙表面粗糙度(5.63 nm)相对较低,薄膜结晶质量较好.

关键词: 真空蒸发 , CdSe薄膜 , 蒸发电流 , 结晶结构 , 表面形貌

卡地亚传奇

爱唯

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2000.02.017

关键词:

铁画传奇 (下)

李治

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2001.01.017

关键词:

铁画传奇(上)

李冶

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2000.06.020

关键词:

简讯

腐蚀学报（英文）

<正> 哈尔滨工业大学胡信国教授带领戴长松、张秋道、王殿龙、李桂芝、王金玉等在大连中兴实业总公司化学镀厂刘传奇等人的配合下研究的HERC EN-92高稳定快速化学镀镍工艺、HERC EN-92化学镀镍光亮剂和非晶态Ni-P/PTFE自润滑复合材料镀层技术,经在大连中兴实业总公司化学镀厂应

关键词:

中国腐蚀与防护学会第二次全国会员代表会在北京召开

中国腐蚀与防护学报

<正> 中国腐蚀与防护学会第二次全国会员代表大会于1983年12月1日至5日在北京召开。参加这次大会的有第一届理事会理事、第二届理事候选人,27个省市自治区(西藏、宁夏、台湾除外)和12个专业委员会以及地方学会的正式代表142人,特邀和列席代表75人。 中国科协副主席裴丽生、国家科委基础研究和新技术局局长胡兆生到会作了重要讲话。会议特邀请冶

关键词:

中国腐蚀与防护学会第二次全国会员代表大会在北京召开

中国腐蚀与防护学报

<正> 中国腐蚀与防护学会第二次全国会员代表大会于1983年12月1日至5日在北京召开。参加这次大会的有第一届理事会理事、第二届理事候选人,27个省市自治区(西藏、宁夏、台湾除外)和12个专业委员会以及地方学会的正式代表142人,特邀和列席代表75人。中国科协副主席裴丽生、国家科委基础研究和新技术局局长胡兆森到会作了重要讲话。会议特邀请冶金部、水电部、铁道部、机械部、兵器部、航空工业部、化工部、轻工业部、煤炭部、核工部等10个部委的领导同志到会介绍了各工业部门、腐蚀与防护情况。

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