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ECR-CVD制备的SiOx/a-C:F/SiOx多层膜的结构与介电性质

陈军 , 辛煜 , , 宁兆元 , 陆新华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.004

使用80%Ar稀释的SiH4,O2,CHF3和CH4作为前驱气体,利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了SiOx/a-C:F/SiOx多层膜.傅里叶变换红外测试结果表明了多层膜中存在大量的C-F,C=C,Si-O键,同时由于器壁的吸附效应,膜中还存在少量的Si-C和Si-F键,这些键的存在从x射线光电子能谱的深层剖析结果得到了证实.热退火的结果表明了薄膜的红外结构没有发生太大的变化,薄膜的介电常数经过400℃的退火后仅上升了8%.实验结果表明了ECR-CVD制备的SiOx/a-C:F/SiOx多层膜可以成为超大规模集成电路中层间绝缘层的候选材料.

关键词: 多层膜 , 氟化非晶碳膜 , 介电常数 , ECR-CVD

氟化非晶碳薄膜的低频介电性质分析

叶超 , 宁兆元 , 程珊 , 辛煜 ,

功能材料

研究了电子回旋共振等离子体技术沉积的氟化非晶碳(a-C:F)薄膜的低频(102~106Hz)介电性质.发现a-C:F薄膜的低频介电色散随源气体CHF3/C6H6的比例、微波入射功率而改变.结合薄膜键结构的红外分析,发现薄膜中C=C相对含量的增大是导致低频介电色散增强的原因,而C-F相对含量的增大则使低频介电色散减弱.

关键词: 氟化非晶碳(a-C:F)薄膜 , 介电色散 , 键结构

修复剂减摩机理的研究

于洋 , 顾家琳 , 康飞宇

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.10.005

技术是一种新型的摩擦表面再生技术,其实质是通过在润滑油中添加一种"摩修复剂"以达到增强摩擦件减摩抗磨能力、对摩擦表面进行原位免拆卸修复的目的.以透射电镜、X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪分析了在添加摩修复剂的润滑油中运行过的齿轮表层,对摩修复剂的减摩机理进行了分析.结果表明:摩擦表面的修复再生层为类金刚石膜和硅氧玻璃膜.

关键词: 表面再生技术 , 修复再生层 , 类金刚石膜 , 硅氧玻璃膜

"摩"(PBC)技术及其摩擦磨损特性

王勇 , 任平弟 , 刘家浚 , 周仲荣

功能材料

采用液压高精度材料试验机考察了GCr15钢平面-球面接触摩擦副在机油和摩机油2种介质润滑下的摩擦磨损性能.用激光扫描显微镜(LSM)观察了磨痕表面形貌并测量了磨损体积.结果表明:摩具有较好的抗摩擦磨损性能,缩短了磨损过渡阶段的持续时间,减轻了表面粘着磨损、剥落损伤,减弱了磨粒磨损,降低了金属磨损体积损失;载荷与位移幅值增加,摩的抗摩擦磨损能力增强.

关键词: "摩"技术 , 摩擦磨损 , 油润滑

确定雷达罩设计用值的方法研究

周春苹 , 李兴德 , 朱杉

玻璃钢/复合材料

按照CCAR25.613条款“材料与结构用值”的要求,民用飞机雷达罩需进行用值设计.本文通过研究确定了进行雷达罩玻璃纤维复合材料设计用值试验的试验项目、试验采用的标准、试验环境、试验件数量以及试验数据的处理方法等,并将采用ASTM标准测试得到的用值试验数据与用GB标准得到的测试数据进行了比较.结果表明,按照ASTM标准进行玻璃纤维复合材料结构设计用值试验得到的数据分散性小,用值的测试数据高,避免了采用国内标准导致的性能数据低的情况.该设计用值已成功应用于新型涡扇支线飞机雷达罩的设计和静力试验.

关键词: 雷达罩 , 玻璃纤维复合材料 , 结构用值

复合材料飞机结构材料和设计用值的确定方法

冯振宇 , 邹田春 , 郝鹏 , 杜洪增 , 田秀云

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2011.05.004

分析国内外复合材料飞机结构材料用值、设计用值的确定原则和方法,研究给出了复合材料结构材料用值的表征和应用、试验以反试验数据的统计分析方法,以及静强度、疲劳强度、损伤容限和修理设计用值的确定方法.

关键词: 飞机结构 , 复合材料 , 材料用值 , 设计用值

材料对铸铁试样摩擦表面改性的影响

刘永强 , 张栋

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2006.01.012

运用改装的摩擦实验机对灰铸45#钢摩擦副做旋转对磨实验.在摩擦副中滴入摩试剂,烫在大气环境中变载荷、定转速条件下进行实验.主要探索摩材料对灰铸铁摩擦副表面改性的机理和耐磨规律.结果表明:摩擦试样表面有大量光滑的灰色块状物生成,表面微区亦增添了来自矿物粉体中的元素;显微硬度明显提高,其中灰色区尤为显著;表面粗糙度显著降低,起到了良好的耐磨减摩效果.

关键词: 摩擦 , 磨损 , , 表面改性

第四届“吴仲奖励基金”评选出获奖者

工程热物理学报

根据《吴仲奖励基金章程》(吴奖[2008]01号),经各高等院校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所认真评选和推荐,吴仲奖励基金理事会评审并确定授予青年学者戴巍、罗坤、唐桂“吴仲优秀青年学者奖”,授予程雪涛等10位同学“吴仲优秀学生奖”。

关键词: 基金 , 奖励 , 评选 , 获奖者 , 中国科学院 , 青年学者 , 物理研究所 , 高等院校

35CrMoV钢硬度概率分布与抗拉强度设计用值预测分析

马延辉 , 张天会 , 李华英 , 徐人平

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2011.03.003

采用最小二乘法和K-S检验方法进行分布拟合检验,在求得35CrMoV钢硬度和抗拉强度正态分布的基础上,对其硬度和抗拉强度关系进行相关性研究,运用线性相关系数判断硬度和抗拉强度之间具有强正线性相关关系.运用正态代数运算方法,从硬度的概率分布估计抗拉强度的概率分布,预测其设计用值,并与从抗拉强度概率分布计算得到的设计用值进行分析比较,预测的结果均值误差较小,方差误差较大,故求得的设计用值有一定的误差.

关键词: 布氏硬度 , 抗拉强度 , 35CrMoV钢 , 设计用值 , 概率分布

第五届“吴仲奖励基金”评选出获奖者

工程热物理学报

根据《吴仲奖励基金章程》(吴奖[2010]01号),经各高校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所遴选和推荐,以及吴仲奖励基金理事会评审,决定授子钟文琪、张鹏、张明明、徐纲4位青年学者“吴仲优秀青年学者奖”,授予顾超等13位同学“吴仲优秀学生奖”。

关键词: 基金 , 奖励 , 获奖者 , 中国科学院 , 评选 , 青年学者 , 物理研究所 , 物理学会

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