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ZnO∶Tb透明导电薄膜的制备及其特性研究

方泽波 , 朋兴平 , 谭永胜 , 何志巍 , 王印月

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.014

用RF磁控反应共溅射法在Si(111)衬底上制备出了铽 (Tb) 掺杂的ZnO透明导电薄膜.研究了溅射中Tb掺杂量对ZnO薄膜的结构、电学和光学特性的影响.结果表明,在最佳沉积条件下我们制备出了具有良好c轴取向,电阻率降低到9.34×10-4 Ω·cm,且可见光段(400～800 nm)平均透过率大于80%的ZnO∶Tb新型透明导电材料.

关键词: ZnO , RF溅射 , 透明导电薄膜

非晶Er₂O₃高 k栅介质薄膜的制备及结构特性研究

方泽波 , 谭永胜 , 朱燕艳 , 陈圣 , 蒋最敏

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00357

采用高真空反应蒸发法在未加热的p型Si(100)衬底上实现了非晶Er₂O₃高k栅介质薄膜的生长. 俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比. X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明, 不但原位沉积的薄膜是非晶结构, 而且高真空700℃退火30min后样品仍保持了良好的非晶稳定性. 原子力显微镜检测显示高真空退火有利于改善薄膜的表面形貌. 退火后, Er₂O₃薄膜获得了平整的表面. 电容-电压测试得到薄膜的有效介电常数为12.6, EOT为1.4nm, 在1MV/cm时漏电流密度为8×10^-4A/cm². 这些特征表明非晶Er₂O₃薄膜是一种较好的高k栅介质候选材料.

关键词: 高k栅介质 , Er₂O₃ , reactive evaporation

非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究

方泽波 , 谭永胜 , 朱燕艳 , 陈圣 , 蒋最敏

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.031

采用高真空反应蒸发法在未加热的P型Si(100)衬底上实现了非晶Er2O3高k栅介质薄膜的生长.俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比. X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明,不但原位沉积的薄膜足非晶结构,而且高真空700℃退火30min后样品仍保持了良好的非晶稳定性.原子力显微镜检测显示高真空退火有利于改善薄膜的表面形貌.退火后,Er2O3薄膜获得了平整的表面.电容.电压测试得到薄膜的有效介电常数为12.6,EOT为1.4nm,在1MV/cm时漏电流密度为8×10-4A/cm2.这些特征表明非晶Er2O3薄膜是一种较好的高k栅介质候选材料.

关键词: 高k栅介质 , Er2O3薄膜 , 反应蒸发

冶金工业出版社谭学余先生在《中国冶金通史》编撰出版启动会上的讲话

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2015.01.07

关键词:

NiAl-20at%Fe合金的高温氧化与热腐蚀行为

王淑荷 , 郭建亭 , 赖万慧 , 谭明晖 , 李辉 , 孙超

中国腐蚀与防护学报

ＮｉＡｌ－２０ａｔ％Ｆｅ合金的高温氧化与热腐蚀行为王淑荷，郭建亭，赖万慧，谭明晖李辉，孙超（中国科学院金属研究所沈阳１１００１５）１引言ＮＩＡＩ金属间化合物具有熔点高、密度低、热传导性好和抗高温氧化能力优异等特点，是一种很有前途的航空航天耐热结构材料；但由于其室温塑性差，超过５００ｏＣ时的高温强度低、限制了它们的应用Ｉ‘－３ｊ．近年来发现加入Ｆｅ可提高ＮＩＡＩ的低温塑性，并提高其高温强度ｌ‘?...

关键词: null , NiAl , Ni-Al-Fe , Oxidation , Hot corrosion

内蒙古小伊诺盖沟-建设屯地区遥感地质特征及金多金属找矿方向

张秀琴 , 张春辉 , 魏海峰 , 张文强

黄金 doi:10.11792/hj20140505

小伊诺盖沟-建设屯地区位于大兴安岭北部额尔古纳成矿带内，受北东向得尔布干深大断裂控制，是一个与中生代构造-中酸性岩浆活动有关的金多金属找矿有利地区，相继在小伊诺盖沟、六卡沟、红水泉、阿多得里呀山、格鲁其堆山等地区发现了金铅锌矿体。为更好地在该区开展金多金属找矿工作，利用Landsat ETM＋影像数据进行了1∶5万遥感地质解译工作，大致厘清了该区地质构造格架及各种控矿因素的遥感解译特征。多金属成矿作用在空间上总体受北东向深大断裂带控制，矿化体处于北东向和北西向断裂构造的交汇部位及环形构造内，发育有蚀变脉带（区）及地球化学异常，六卡沟-地营子、格鲁其堆山-五卡、永胜-建设、德尔布地区是下一步金多金属找矿的重点地区。

关键词: 金 , 多金属 , 遥感地质特征 , 找矿方向 , 小伊诺盖沟-建设屯地区 , 内蒙古