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氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响

刘明 , 魏玮 , 曲盛薇 , , 马春雨 , 张庆瑜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01096

采用反应射频磁控溅射方法, 在Si(001)基片上制备了具有高$c$轴择优取向的ZnO薄膜. 利用原子力显微镜、X射线衍射、透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术, 研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响. 研究结果显示: 0.04~0.23Pa的氧分压范围内, ZnO薄膜存在三个不同的生长模式, 薄膜生长模式转变的临界氧分压分别位于0.04~0.08Pa和0.16~0.19Pa之间; 在0.16Pa以下时, ZnO薄膜的表面岛呈+c取向的竹笋状生长; 当氧分压>0.19Pa时, 薄膜的表面岛以-c取向生长为主; ZnO薄膜的折射率、光学带隙宽度以及PL光谱强度均随着氧分压的增大而增大, 氧分压为0.19Pa时, 薄膜的发光最窄, 其半宽为88meV.

关键词: ZnO薄膜 , reactive radio-frequency magnetron sputtering , morphological analysis , optical properties

氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响

刘明 , 魏玮 , 曲盛薇 , , 马春雨 , 张庆瑜

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.002

采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射,透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术,研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响.研究结果显示:0.04~0.23Pa的氧分压范围内,ZnO薄膜存在三个不同的生长模式,薄膜生长模式转变的临界氧分压分别位于0.04~0.08Pa和0.16~0.19Pa之间;在0.16Pa以下时,ZnO薄膜的表面岛呈+c取向的竹笋状生长;当氧分压>0.19Pa时,薄膜的表面岛以-c取向生长为主;ZnO薄膜的折射率,光学带隙宽度以及PL光谱强度均随着氧分压的增大而增大,氧分压为0.19Pa时,薄膜的发光最窄,其半宽为88meV.

关键词: ZnO薄膜 , 反应磁控溅射 , 形貌分析 , 光学特性

偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响

付伟佳 , 刘志文 , , 刘明 , 张庆瑜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J1077.2009.00602

利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响. 研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小,密度逐渐变大. ZnO在基片表面成核过程中的本征缺陷成核阶段和轰击缺陷成核阶段的生长指数分别为(0.45±0.03)和(0.22±0.04),低速率成核过程基本消失;随着偏压增大,表面岛的尺寸变大,表面起伏增加. 偏压不但可以改变ZnO薄膜的成核和生长过程,而且影响薄膜的晶体取向.

关键词: ZnO薄膜 , reactive radio-frequency magnetron sputtering , bias , morphological analysis

偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响

付伟佳 , 刘志文 , , 刘明 , 张庆瑜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00602

利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响. 研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小,密度逐渐变大. ZnO在基片表面成核过程中的本征缺陷成核阶段和轰击缺陷成核阶段的生长指数分别为(0.45±0.03)和(0.22±0.04),低速率成核过程基本消失;随着偏压增大,表面岛的尺寸变大,表面起伏增加. 偏压不但可以改变ZnO薄膜的成核和生长过程,而且影响薄膜的晶体取向.

关键词: ZnO薄膜 , 反应射频磁控溅射 , 偏压 , 形貌分析

阴极电泳涂装线线方案

金荣刚

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2003.01.009

笔者根据几年来的阴极电泳涂装线线经验,介绍了新建阴极电泳涂装线的清洗、槽、试生产运行调试及日常管理的关键问题及注意事项.

关键词: 阴极电泳涂装线 , 清洗 , , 运行调度 , 日常管理

朊粉在水性建筑涂料中的应用

, 张玉林

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2004.05.017

研究了将朊粉溶解于水的方法和其在水性建筑涂料中的应用.朊粉的耐水性差,不能用作建筑涂料的主要基料,但其具有良好的粘结性、流动性和流平性,可用在合成树脂乳液内墙涂料中,作增稠剂使用,使涂料具有良好的流平性和涂膜外观,而成本与常用的增稠剂相差不大.

关键词: 朊粉 , 水性涂料 , 建筑涂料 , 涂膜外观 , 增稠剂

介孔碳负载的Pd催化剂催化β-甾醇加氢制备β-甾烷醇

陈慧 , 戴乐 , , 白志平 , 贾敏慧 , 沈俭一

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(10)60294-X

采用液相还原法制备了介孔碳(CMC)担载的Pd催化剂,用于β-甾醇加氢制备β-甾烷醇反应.与活性碳担载的Pd催化剂相比,Pd/CMC的活性更高,这归因于该催化剂具有较大的孔径,从而有利于较大分子的催化加氢反应.

关键词: , 活性碳 , 负载型催化剂 , 介孔碳 , 孔径效应 , 微量吸附量热 , β-甾醇 , 加氢 , β-甾烷醇

中高能核数据评价和库国际概况

庄友祥 , 王记民

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2002.04.013

简要介绍了中高能核数据评价和库的国际概况, 较细致地讨论了中高能核反应实验测量、理论计算、积分检验、评价和库等, 并对我国今后中高能核数据工作提出了建议.

关键词: 核反应 , 核数据 , 中高能 , 评价 , 数据库

油库埋地管道阴极保护

胡士信 , 陈向新 , 薛致远等

腐蚀学报(英文)

对已油库埋地管道有极保护,解决了埋地30多年的老管道的腐蚀控制问题。

关键词: 油库管道 , oil store , cathodic protection

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