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二氧化铪(HfO_2)薄膜的自组装制备

, 谈国强 , 苗鸿雁 , 刘剑 , 夏傲 , 梁东

稀有金属材料与工程

以Hf(SO_4)_2·4H_2O和HCl配制HfO_2前驱液,利用自组装单层膜技术,在OTS自组装单层膜的功能性基团表面制备晶态二氧化铪薄膜.研究了HfO_2前驱液的浓度,退火温度和有机硅烷单分子层等对HfO_2薄膜制备的影响.通过接触角测量仪,XRD和SEM等表征手段,对薄膜表面形貌、微观结构、物相组成进行分析.结果表明:基板在OTS溶液浸泡为20 min时,有机层表面接触角最大为(110±2)°.利用自组装单层法成功制备出HfO_2晶态薄膜,HfO_2呈立方型,无其他杂相.膜层表面致密均一,生长良好.

关键词: 自组装单层膜法 , HfO_2 , 薄膜

四方相BaTiO3薄膜的自组装制备与表征

谈国强 , 刘剑 , 苗鸿雁 , , 夏傲

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00749

以(NH4)2TiF6、 Ba(NO3)2 和H3BO3为主要原料, 采用自组装单层膜(SAMs)技术, 以三氯十八烷基硅烷(octadecyl-trichloro-silane, OTS)为模版, 在玻璃基片上制备了四方相钛酸钡晶态薄膜. 改性基板的亲水性测定与原子力显微镜(AFM)测试表明, 紫外光照射使基板由疏水转变为亲水, 能够对OTS-SAM起到修饰作用. 金相显微镜观察结果显示,OTS单分子膜指导沉积的薄膜样品表面均匀, 表明OTSSAM对钛酸钡薄膜的沉积具有诱导作用; X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)表征显示, 空气600℃下保温2h实现了薄膜由非晶态向四方相BaTiO3晶态薄膜的转化过程, 制备的钛酸钡薄膜在基板表面呈纳米线状生长, 线长约在500~1000nm之间, 相互连接的晶粒大小约为100nm. 文章同时对自组装单层膜和钛酸钡薄膜的形成机理进行了探讨.

关键词: 自组装单层膜 , BaTiO3 , thin film , formation mechanism

四方相BaTiO3薄膜的自组装制备与表征

谈国强 , 刘剑 , 苗鸿雁 , , 夏傲

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00749

以(NH4)2TiF6、Ba(NO3)2和H3BO3为主要原料,采用自组装单层膜(SAMs)技术,以三氯十八烷基硅烷(octadecyl-trichloro-silane,OTS)为模版,在玻璃基片上制备了四方相钛酸钡晶态薄膜.改性基板的亲水性测定与原子力显微镜(AFM)测试表明,紫外光照射使基板由疏水转变为亲水,能够对OTS-SAM起到修饰作用.金相显微镜观察结果显示,OTS单分子膜指导沉积的薄膜样品表面均匀,表明OTS-SAM对钛酸钡薄膜的沉积具有诱导作用;X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)表征显示,空气600℃下保温2h实现了薄膜由非晶态向四方相BaTiO3晶态薄膜的转化过程,制备的钛酸钡薄膜在基板表面呈纳米线状生长,线长约在500~1000hm之间,相互连接的晶粒大小约为100nm.文章同时对自组装单层膜和钛酸钡薄膜的形成机理进行了探讨.

关键词: 自组装单层膜 , 钛酸钡 , 薄膜 , 形成机理

共沉淀法制备BiFeO_3粉体

谈国强 , 博海洋 , 苗鸿雁 , 夏傲 ,

人工晶体学报

以Bi(NO_3)_3·5H_2O和Fe(NO_3)_3·9H_2O为原料,冰醋酸做溶剂,柠檬酸为络合剂,采用共沉淀法制备前驱物,对前驱物沉淀进行退火处理,制备出BiFeO_3纳米粉体.研究了煅烧温度和冰醋酸的加入量对BiFeO_3纳米粉体的晶粒尺寸及形貌的影响.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对所制备的BiFeO_3纳米粉体进行表征,用EDS确定了样品的表面成分组成.结果表明:退火温度为450 ℃时出现BiFeO_3衍射峰,但存在杂相;退火温度为600 ℃时制备出了BiFeO_3纯相粉体,粉体为立方体结构.冰醋酸加入量由1 mL增大到1.8 mL时,粉体的晶粒尺寸由14.21 nm减小到11.65 nm.通过EDS能谱分析得出BiFeO_3粉体由Bi,Fe和O 三种元素组成.

关键词: BiFeO_3粉体 , 铁磁电材料 , 共沉淀法

钛酸锶薄膜的液相自组装制备与表征

刘剑 , 苗鸿雁 , 谈国强 ,

材料科学与工程学报

采用自组装单层膜技术在玻璃基板上成功制备了钛酸锶薄膜,利用接触角仪对前期处理后的基片润湿角进行表征,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)等手段表征了薄膜的物相和微观结构.实验结果表明:采用自组装单层膜技术制备的钛酸锶薄膜结晶良好,样品表面均匀,颗粒尺寸大约在300nm~500nm之间.

关键词: 自组装单层膜 , 钛酸锶 , 薄膜

二氧化铪晶态薄膜的自组装制备

, 谈国强 , 苗鸿雁 , 刘剑

材料导报

利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.

关键词: 薄膜 , 自组装单层膜 , HfO2

二氧化铪(HfO2)晶态薄膜的液相自组装制备与表征

谈国强 , , 苗鸿雁 , 刘剑 , 夏傲

稀有金属材料与工程

以硫酸铪和盐酸为原料,采用液相自组装技术,以十八烷基三氯硅烷(OTS)为模板制各了二氧化铪晶态薄膜.通过表面接触角测试仪观察有机层表面接触角变化,探讨了前驱液pH值.薄膜沉积温度和煅烧温度对HfO2薄膜的影响.通过XRD、SEM等测试手段对HfO2薄膜的物相组成、显微结构和表面形貌进行了表征,结果表明:利用自组装技术在500℃热处理后成功制备出了立方相HfO2晶态薄膜,当沉积温度为70~80℃,HCl浓度为0.3 mol/L时,HfO2薄膜表面均匀致密,生长良好.

关键词: OTS-SAMs , HfO2 , 薄膜

BiFeO3薄膜的液相自组装制备与表征

谈国强 , 博海洋 , 苗鸿雁 , 夏傲 ,

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00083

利用自组装单层膜技术, 以三氯十八烷基硅烷(OTS)为模板, 以硝酸铋和硝酸铁为原料, 柠檬酸为络合剂, 在玻璃基片上制备了铁酸铋晶态薄膜. 探讨了薄膜的煅烧温度和沉积温度对BiFeO3薄膜的影响. 通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)测试手段对BiFeO3薄膜的物相组成、显微结构和表面形貌进行了表征, EDS能谱测试为铁酸铋薄膜的化学组成提供了有力的证据. 结果表明:利用自组装技术在600℃热处理后成功制备出了纯净的BiFeO3晶态薄膜, 当沉积温度为70~80℃时铁酸铋薄膜结晶良好, 样品表面均匀、致密.

关键词: OTS-SAMs , BiFeO3 , thin film

硅基图案化HfO2表面微结构的制备和表征

谈国强 , 博海洋 , 苗鸿雁 , 夏傲 ,

功能材料

结合光刻印技术和HfO2液相自组装沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的HfO2薄膜,该硅基图案化HfO2微结构近来在工业界特别是微电子领域引起极度的关注.X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)显示,在图案区域成功制备了HfO2薄膜,EDS能谱测试显示了图案区域的HfO2薄膜的化学组成.

关键词: 微图案 , 光刻印 , HfO2微结构

二氧化铪(HfO2)功能陶瓷薄膜的自组装制备

, 苗鸿雁 , 谈国强 , 刘剑 , 夏傲 , 娄晶晶

功能材料

利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长十八烷基三氯硅烷(OTS)单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.研究了紫外光照射对OTS单分子层的影响,通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,呈立方型的HfO2,无其它杂相,薄膜表面均一.

关键词: 薄膜 , 自组装单层膜 , HfO2

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