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LPCVD生长结构层多晶硅和掺P多晶硅的工艺

王立峰 , , 陆乐 , 姜理利

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.020

对LPCVD生长结构层多晶硅和掺P多晶硅的原理进行了阐述,分析了薄膜质量与各项工艺参数的关系.实验时,对各项工艺参数进行调节,在保证薄膜质量和片内一致性的同时取得最大的生长速率.生长出来的多晶硅结构层厚度达到2μm;掺P多晶硅的厚度达到1OOOhA.

关键词: LPCVD , 多晶硅 , 掺P多晶硅

基于中间硅片厚度可控的三层阳极键合技术

吴 , 巩全成 , , 王敏杰 , 张勇 , 朱健

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.021

三层键合Glass-Silicon-Glass(GSG)结构在光MEMS、微惯性器件、微流体芯片、射频MEMS以及低成本圆片级封装技术领域里是一项重要技术.基于MEMS精密研磨抛光工艺和阳极键合,结合新型玻璃通孔的腐蚀工艺,开展了中间硅片厚度可控的三层阳极键合工艺研究,成功制备了带有通孔的GSG微流体器件.总厚度1360μm,中间硅片厚度60μm,通孔直径100μm,孔间距(圆孔的中心距离)200μm,孔内边缘圆滑无侧蚀.三层结构的键合几率为90%,为探索多层键合技术打下坚实基础.

关键词: GSG键合 , 研磨抛光工艺 , 微流体器件

纳米氧化镧对电铸电极材料抗电蚀性的影响

明平美 , 朱荻 , 曾永彬 , 朱健 ,

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2006.03.005

增强工具电极材料的耐电蚀能力,降低电极损耗是微细电火花加工技术可靠、稳定且高效制造高深宽比微结构和器件的研究关键之一.选用纳米量级稀土氧化物-氧化镧为电铸基液添加剂制备了微工具铜电极材料,探讨了它的作用机理,分析了电铸铸层的微观形貌,并实验研究了纳米氧化镧添加剂对电铸电极材料抗电蚀性能的影响,优选了电沉积工艺参数.结果表明:添加适量纳米氧化镧添加剂并在适当电沉积条件下,电铸铜电极材料表现出较强的抗电蚀能力,且综合机械性能优异.

关键词: 电铸 , 抗电蚀性 , 纳米氧化镧 , 稀土

铜-石墨复合电极材料耐电蚀性试验研究

明平美 , 朱荻 , 朱健 ,

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2005.11.017

通过复合电铸技术在耐电蚀性强的铜主体中引入抗电蚀性能优异的微粉石墨成功制备了铜-石墨复合电极材料,试验研究了复合电极材料的抗电蚀能力.结果表明:在微粉石墨添加量36~48 g/L,阴极电流密度2~3 A/dm2以及适当温度和搅拌强度等条件下制备的复合电极材料表现出优异的耐电蚀性能.

关键词: 复合电铸 , 石墨 , 微细电火花加工 , 耐电蚀性

减缓低渗透储层敏效应的方法研究

张小琴 , 王宇池 , 王永青 , 韩力挥

合成材料老化与应用

目前,低渗透油藏在各大油田分布广泛,其石油储量占未开发石油总量的比重较大.敏效应是导致低渗透油藏难以开采、采收率低的一个重要影响因素.采用敏指数来评价敏损害程度,制取了三种非离子表面活性剂JN-1、JN-2和JN-3,通过筛选得知JN-3降低油水界面张力的能力最强.根据敏效应产生的机理以及水井转抽机理,开展了减缓敏效应的室内试验研究,结果表明,针对性地向注入水中加入非离子表面活性剂JN-3,可以降低油水界面张力,同时适时地采用水井转抽逆向驱油来增大驱动压差,有效地抑制和减缓了敏效应,提高原油采收率.

关键词: 低渗透油藏 , 敏效应 , 非离子表面活性剂 , 水井转抽

中子制动机制的研究

熊雪宇 , 高春媛 , 徐仁新

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.30.01.017

中子的制动机制是中子研究中的基本问题.磁偶极辐射模型给出中子的制动指数为3,而所有观测到的中子的制动指数都小于3,这表明中子除磁偶极辐射之外还存在其他的转动能量损失方式.考虑中子的转动动能损失来自:磁偶极辐射、由于单极感应引起的粒子流逃逸以及中子和量子真空摩引起的能量损失.基于这3种辐射机制,给出了改进后的中子能量损失功率的计算公式和周期对时间一阶导数与周期的依赖关系.考察了6颗中子(Jl119-6127,B1509-58,J1846-0258,B0531 +21,B0540-69和B0833-45)的周期-周期一阶导数关系,制动指数、表面磁场强度以及磁倾角之间的关系.研究表明,风效应中,真空间隙电势差为常数时磁倾角只能在有限范围内取值,而其他情况下磁倾角在0~900之间连续取值.

关键词: 中子 , 制动指数 , 量子真空摩擦 , 单极感应

21纪工业涂装展望

材料保护

涂装的质量提高和生产成本的降低,可为机电产品制造领域创造附加值,还可以增加市场竞争力,所以人们对21纪新型涂料开发、涂装作业方式改变、劳动条件改善、涂装工艺技术装备改进、开发等等都抱有很大的期望.全世界对公害和地球暖化等问题更加关心,环保问题是涂装行业最大的问题.涂料、涂装设备、涂装应用三位一体共同合作,是21纪达到无公害涂装要取得成效的重要一步.我国机械制造大型企业在加强科研开发力量的同时不要忽视涂装技术这一重要领域.

关键词: 涂料 , 涂装 , 装备 , 开发 , 展望

中国的毫秒脉冲计时观与建议

倪广仁 , 翟造成

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.04.001

回顾了国际上脉冲计时观测研究的进展与成果,评述了中国的毫秒脉冲计时的学术观和进展,给出了应用小波分析方法在研究时间尺度方面的创新性成果.深思了进行高精度计时需进一步研究的一些问题,并对国际间合作进行脉冲计时与应用研究的工程问题等提出建议.

关键词: 毫秒脉冲计时 , 时间尺度 , 小波分析

2002年界钛材市场最新动态

汪小明 , 郝斌

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2003.04.020

结合2002年界钛材市场的四大特点,从世界钛加工材的产量、主要生产企业的经营状况及应用领域等方面回顾了2002年的世界钛加工材市场,对2003年界钛材市场做了分析.

关键词: 钛材 , 市场 , 动态

AGB演化过程中的元素核合成

张妙静 , 张波 , 厉光烈

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2002.03.004

简述AGB元素核合成理论的发展历程. 特别是, 对慢中子俘获过程(s-过程)的机制及相关的AGB演化图像作了简单介绍.

关键词: AGB , 恒星演化 , 慢中子俘获过程

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