冯宗财
,
李琳
,
郭祀远
,
王跃川
,
赵凌
,
陈毅敏
功能材料
研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.
关键词:
高支化
,
感光聚酯
,
光致抗蚀剂
,
光成像
冯宗财
,
赵凌
,
王跃川
,
杜春雷
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.07.014
由链末端含有-COOH、-OH和丙烯酰氧基的超支化聚合物、多官能丙烯酸酯和光引发剂三组分组成光致抗蚀剂. 在玻璃片上成膜后硬度可达到HB～H的铅笔硬度. 抗蚀剂膜用混合UV光源曝光和四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液显影可获得E0约为5.5×10-3 J/cm2的灵敏度和γ约为8的高反差. 其曝光的灵敏度和反差γ可由显影液和光引发剂调节. 并且显示出刻蚀深度随曝光能量呈现线性变化的关系. 此特性使得该类抗蚀剂可用于微光学元件加工,并可对其表面形状进行控制. 使用该类抗蚀剂,通过移动掩膜曝光制备了200 μm×200 μm的微透镜阵列.
关键词:
超支化聚合物
,
光致抗蚀剂
,
微透镜阵列
冯宗财
,
王跃川
,
赵凌
高分子材料科学与工程
以1,2,4-苯三甲酸酐、环氧氯丙烷和光敏剂1173合成了分子内带有光敏单元的高支化碱溶性聚酯,聚合反应转化率在1 h内可达90%以上;以甲基丙烯酸缩水甘油酯与高支化聚酯反应制得分子内带有光敏单元的高支化碱溶性光固化树脂;树脂的热转变温度在160～210 ℃,在碱水溶液中溶解性好,无需外加光敏剂在紫外光照射下便可固化、交联,光固化的反差γ可达到7.30。
关键词:
高支化树脂
,
碱溶性聚酯
,
光固化
,
光致抗蚀剂
齐鹤云
钢铁
介绍了凌钢钢渣处理生产工艺流程、主要设备性能参数及钢渣处理关键技术环节,包括高温钢渣运输、焖渣效果控制、磁选设备安装和布置等,同时介绍了钢渣处理所回收产品的种类和用途,指出钢渣处理过程中存在的问题并提出了解决措施.实践结果表明:凌钢钢渣处理生产线经多次技改后,工艺布置合理,处理效果好,运行费用低,有效解决了钢渣外排带来的经济损失以及环保问题.
关键词:
钢渣
,
焖渣
,
磁选
安武生
,
杨宗成
,
孙宏武
钢铁
凌钢喷煤工程制粉系统采用中速磨短流程工艺,喷吹系统采用浓相输送技术,试生产期间无法实现正常喷吹.针对存在的问题进行了一系列的技术改造和工艺参数调整.自1998年投入运行以来,该系统运行正常,喷煤量达到了设计水平.
关键词:
高炉
,
喷煤
,
实践
郝志强
,
郭宝志
,
闫清军
钢铁
介绍了凌源钢铁公司与连铸技术国家工程研究中心合作,对凌钢150 mm×150 mm小方坯连铸机进行高效化改造的情况.采用国内自主开发的抛物线型连续锥度结晶器、半板弹簧振动装置、连续矫直拉矫机、二冷优化等设备和技术对小方坯连铸机进行改造,实现了"高拉速、高作业率、高连浇炉数、高质量和高效益"的高效化目标.
关键词:
小方坯
,
高效
,
连铸
