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目的验证介电泳抛光方法的有效性,研究电极形状对介电泳抛光方法均匀性、抛光效率和去除率的影响. 方法选取直径76. 2 mm的单晶硅片为实验对象,进行传统化学机械抛光( CMP)实验和使用4种电极形状的介电泳抛光实验,每隔30 min测量硅片不同直径上的表面粗糙度以及硅片的质量,然后对测量的数据进行处理和分析. 结果与传统CMP方法比较,使用介电泳抛光方法抛光的硅片,不同直径上的表面粗糙度相差小,粗糙度下降速度快,使用直径60 mm圆电极形状介电泳抛光时相差最小,粗糙度下降最快. 介电泳抛光方法去除率最低能提高11 . 0%,最高能提高19 . 5%,最高时所用电极形状为内径70 mm、外径90 mm的圆环. 结论介电泳抛光方法抛光均匀性、效率和去除率均优于传统CMP方法.

关键词: 介电泳抛光 , 电极形状 , 单晶硅片 , 均匀性 , 表面粗糙度 , 去除率

空间目标天基光学观测模式分析

余建慧 , 苏增立 , 谭谦

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.06.004

对空间目标的监视可采用地基和天基两种方式实现.与地基观测相比,天基观测在空域覆盖性和监视时效性等方面具有较大优势,空间目标天基观测技术已成为当今空间领域的前沿性技术.目前,许多国家和组织都在大力发展空间目标天基观测技术.天基光学观测可采用光学栅栏、特定天区和地球同步带搜索方式实现空间目标的捕获;可通过恒星跟踪和天文定位方法获取空间目标的位置信息;可采用等待或跟踪方式实现对目标的成像.

关键词: 遥感 , 天基光学观测 , 光学探测 , 光学成像

高炉天轮轴承损坏原因分析与处理

李增生 , 王义 , 陈先利 , 秦国良

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2009.06.018

安钢炼铁厂7#高炉主卷扬上料系统关键设备--天轮,在安装使用不久出现轴承严重损坏,造成高炉不能正常上料.经过对天轮内部结构及轴承本身等方面进行改进后,取得了良好的使用效果.

关键词: 高炉 , 天轮 , 轴承 , 润滑

赵连城院士简介

功能材料

关键词:

印度天普乐粉矿烧结试验研究与生产实践

蒋定中 , 王富生

钢铁

介绍了印度天普乐粉矿的烧结、冶金性能试验研究情况及天普乐粉矿在马钢烧结和炼铁生产中的应用实践.

关键词: 天普乐粉矿 , 烧结试验 , 生产实践 , 降低成本

天利公司生物质能的应用实践

徐建龙 , 刘子龙 , 徐春华

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2010.08.001

辽宁天利金业有限责任公司投资300余万元,对原供热系统进行改造.通过余热回收机组充分利用生产过程中产生的生物质能,满足了公司冬季生产及生活供暖,提高了可再生能源使用效率,降低企业能源成本,改善了周边的环境质量.该回收机组环保、节能、运行可靠,年节约成本约83万元,减少CO2排放量约2300t,经济效益、环保效益和社会效益显著.

关键词: 余热 , 生物质能 , 低碳 , 天利公司