张卫平
,
陈文元
,
赵小林
,
吴校生
,
崔峰
,
刘武
,
黄晓刚
,
肖奇军
,
马高印
,
张忠榕
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.030
分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展.
关键词:
悬浮转子微陀螺
,
技术关键
,
方案
,
最新进展
禹金强
,
周勇
,
蔡炳初
,
赵小林
功能材料
研究了封闭式和开放式FeSiB/Cu/FeSiB多层膜以及Cu/FeSiB/Cu多层膜中的巨磁阻抗效应.实验结果表明:多层膜的不同结构对巨磁阻抗效应影响很大.改变外加磁场,封闭式FeSiB/Cu/FeSiB多层膜中阻抗变化最大,开放式FeSiB/Cu/FeSiB多层膜次之,而Cu/FeSiB/Cu多...
关键词:
多层膜
,
巨磁阻抗效应
,
研究
余晋岳
,
朱军
,
周狄
,
钱建国
,
蔡炳初
,
赵小林
功能材料
详细观察了长条形NiFe薄膜元件(宽120μm,厚40nm)沿难轴方向(长方向)磁化和反磁化过程中磁畴结构变迁的全过程.观察表明,在磁化过程中,磁化转动和不可逆畴壁位移同时存在;在反磁化过程中,畴壁合并、封闭畴转变和畴壁极性转变是最主要的不可逆因素,也是造成元件输出讯号中Barkhausen噪声的主...
关键词:
磁性簿膜元件
,
磁化
,
反磁化
,
磁畴结构
崔峰
,
肖奇军
,
吴校生
,
张卫平
,
陈文元
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.053
为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H3O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验.实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,P...
关键词:
Pyrex
,
湿法腐蚀
,
掩膜
,
凹坑
,
电镀
汪红
,
姚锦元
,
戴旭涵
,
王志民
,
朱军
,
赵小林
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2007.08.002
采用UV-LIGA技术和Ni-W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni-W沉积层.研究了热处理条件对低应力Ni-W电沉积层硬度的影响.考察了沉积态及热处理态的Ni-W层、Ni层的耐磨性.结果发现,热处理后Ni-W/Ni叠层微模具界面结合良好,在干摩擦条件下,经过热处理的Ni-W层的耐磨性...
关键词:
微模具
,
喷嘴
,
电沉积
,
Ni-W合金
,
UV-LIGA(紫外-光刻、电铸、复写技术)
,
低应力
,
耐磨性
王佩红
,
章文
,
田中克彦
,
戴旭涵
,
赵小林
功能材料
提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应.用自制的sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm.当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形一电场曲线呈现典型的"蝴蝶"形状.在...
关键词:
压电陶瓷
,
PZT7
,
形状记忆效应
,
悬臂梁
,
极化电压
张振杰
,
汪红
,
杨卓青
,
丁桂甫
,
赵小林
功能材料
选择聚氨酯改性环氧树脂作为基体,利用微加工工艺制备了一种以电镀镍丝作为增强体的微尺寸有序增强聚合物基体复合材料。ANSYS有限元仿真结果表明基体完全包裹增强体能够很好地缓解应力集中,当增强体的排布角度为45°,体积含量为62.5%时,复合材料变形过程中应力集中程度相对最弱。对制备的微尺寸复合材料进行...
关键词:
MEMS
,
复合材料
,
ANSYS
,
有序增强
,
微尺度
王佩红
,
鲁李乐
,
戴旭涵
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.038
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能.整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成.采用Uv-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3.Ansys有限元...
关键词:
振动能量采集器
,
微机电系统
,
电磁式
,
铜平面弹簧
,
双层线圈
杨卓青
,
丁桂甫
,
蔡豪刚
,
付世
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.013
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触...
关键词:
微型惯性开关
,
非硅表面微加工
,
设计
,
动力学仿真
刘瑞
,
汪红
,
姚锦元
,
李雪萍
,
丁桂甫
,
赵小林
功能材料
研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响.结果表明,电镀工艺条件对硬度提高有限,热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高.同时研究对比了沉积态及550℃热处理后Ni和Ni-W硬度、干摩擦条件下耐磨性以及微观结构...
关键词:
Ni-W合金
,
电沉积
,
热稳定性
,
薄膜结构
,
热处理
