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溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.03.014

采用改进的溶胶-凝胶法,以乙二醇为溶剂,硝酸锆为锆源,制备了纳米Pb(Zr0.52Ti0.48)O3粉体.通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理.通过IR,TG-DTA,XRD,SEM,TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征.实验证明:在650℃热处理2h,获得较完整钙钛矿型PZT,粒径约为50～100nm.

关键词: 溶胶-凝胶 , 乙二醇 , 锆钛酸铅 , 纳米粉体

溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

邱成军 , 刘红梅 , 张辉军 , 赵全亮 , 孟丽娜 , 曹茂盛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.08.006

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求.

关键词: PZT薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 各向异性刻蚀 , 微驱动器 , MEMS

磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究

邱成军 , 曹茂盛 , 张辉军 , 刘红梅 , 田风军 , 刘鑫

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2005.10.009

利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用.

关键词: 薄膜 , 锐钛矿相 , 射频磁控溅射 , 光催化活性

以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制

邱成军 , 曲伟 , 刘红梅 , 赵全亮 , 卜丹 , 曹茂盛

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.009

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求.

关键词: PZT薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 各向异性刻蚀 , 微泵 , MEMS

纳米薄膜材料的研究进展

邱成军 , 曹茂盛 , 朱静 , 杨慧静

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.04.027

纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景.本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展,包括对该类材料的制备方法、微结构、电、磁、光特性以及力学性能的最新研究成果.

关键词: 纳米薄膜 , 薄膜制备 , 微结构 , 性能

结构型吸波材料的动载断裂韧性

曹茂盛 , 张铁夫 , 邱成军 , 朱静

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.04.005

用改进的Hopkinson测试系统和适合于动载断裂的夹具,测量了结构型吸波复合材料的断裂韧性给出了系统参数(包括载荷-时间特性、应力强度因子响应特性和起裂时间特性)的确定方法.在纯树脂、普通玻璃钢和结构型吸波复合材料的性能测试中发现,纯树脂、普通玻璃钢和结构型吸波复合材料等结构型吸波材料的起裂点的选择具有较大的特殊性,其起裂时间和动态断裂韧性明显高于普通玻璃钢复合材料.这种比较高的裂纹扩展阻力或止裂作用来源于吸波粒子的引入.

关键词: 复合材料 , 吸波村料 , 冲击 , SHPB

PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展

刘红梅 , 邱成军 , 曹茂盛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2004.06.009

主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景.

关键词: PZT , 薄膜 , MEMS

碳纳米管表面修饰的研究进展

曹茂盛 , 邱成军 , 朱静

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2003.04.013

回顾了碳纳米管表面修饰的理论与实验方法,详细介绍了碳纳米管表面修饰的新方法和最新研究进展,并对碳纳米管表面修饰技术给出了简要评价.

关键词: 碳纳米管 , 表面修饰 , 化学镀 , 电镀

镀锌层军绿色钝化

奚兵

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.09.016

介绍由常规五酸草绿色钝化工艺改良的,以重铬酸钾为体系的镀锌军绿色钝化工艺.

关键词: 镀锌层 , 军绿色钝化 , 工艺配方

荆邱油田油井缓蚀阻垢剂的筛选

付亚荣 , 付丽霞 , 付立欣 , 吴泽美 , 付茜 , 张凤英

腐蚀与防护

荆邱油田油井腐蚀严重部位多发生在1000～1600 m之间.平均检泵周期为190.4天.根据现场腐蚀、结垢特点,用正交试验法进行药剂筛选,通过交叉配伍性试验,找到了有针对性的缓蚀阻垢剂.现场应用取得了很好的效果:铁离子下降率最高达99.8%,腐蚀速率也明显下降,缓蚀率平均达87.0%,钙离子较加药前上升了89.3%.

关键词: 荆邱油田 , 油井 , 防腐蚀 , 防结垢

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