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外吸除用硅片背面加工技术的研究

闵靖 , 邹子英 , 李积和 , 周子美 , 陈青松 , 陈一

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.05.006

用 SEM、TEM 和光学显微镜研究了硅片背面的机械损伤(包括软损伤)和多晶硅的晶格结构,以及热处理过程中晶格结构和缺陷的演化,探索了吸杂的机理.实验结果表明,用本技术能减少S坑密度,提高硅片产生寿命,对金、铜等金属杂质有吸杂的效果.

关键词: 机械损伤 , 软损伤 , 氧化诱生层错 , S坑缺陷 , 外吸除 , 内吸除

高温氢气退火提高硅片质量的研究

邹子英 , 闵靖

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.025

研究了硅片高温氢气退火的工艺技术,实验显示,在高温1150℃,在高纯氢气氛中退火处理至少60min,在硅片表面产生约50μm以上的洁净层.测试了退火后硅片中氧的深度分布,发现硅片表面有一层低氧区,能提高硅片的质量,使氧化层错的密度降低一个数量级,测试数据还表明高温氢退火对降低COP缺陷的密度和提高氧化层的质量也有一定的效果.

关键词: 高温氢退火 , 氧沉淀 , 晶体原生颗粒(COP) , 氧化层错 , 与时间有关的介质击穿(TDDB)

淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究

闵靖 , 邹子英 , 李积和 , 陈青松 , 周子美 , 陈一

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.016

在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用.本文提出了多晶硅持续吸杂的机理.

关键词: 多晶硅吸杂 , 内吸杂 , 增强吸杂 , 氧沉淀 , 氧化层错 , 洁净层

二垩英与资源回收-Ⅲ燃烧过程二垩英生成热力学计算

钢铁

进行相关热力学计算以研究高温燃烧过程二垩英生成的条件.计算得到:①在体系存在过剩氧即完全燃烧时不会产生二垩英;②当有固体碳沉积时也不会生成二垩英,因固体碳在热力学上比含二垩英的含碳物更稳定.另一方面,实际上即使在1 073 K完全燃烧条件下(即体系显著过剩氧)也有二垩英生成,原因是在实际燃烧炉中含碳微粒不可能完全烧尽.从热力学角度假设不发生碳沉积,计算得出二垩英在1 073 K高温和高CO/CO2比范围内会生成.实际考虑的条件放在燃烧炉内含碳微粒的周围.在有含碳微粒存在条件下,即使反应2CO→C+CO2(碳沉积)发生,C+CO2→2CO反应(CO生成;含碳微粒被CO2氧化)也会同时发生,导致在含碳微粒周围保持一个高的CO/CO2比,由此产生二垩英.假设在含碳微粒周围存在高CO/CO2比的异质位置,则认为二垩英会形成.

关键词: 燃烧过程 , 二垩英生成 , 含碳微粒 , 热力学

中国锆英砂中长期需求分析

蒋东民

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2011.04.002

介绍了中国锆英砂原料、生产和供应现状以及2005-2009年间锆英砂需求状况.分析了硅酸锆、氧氯化锆、核级锆,和钢铁、玻璃面板等行业对锆英砂的中长期需求.指出,在相当长时期内中国锆英砂依赖进口的格局不会变,国内经济持续平稳发展以及国际市场对锆制品的恢复性需求,使得中国对锆英砂需求仍将持续增加.

关键词: 锆英砂 , 硅酸锆 , 氧氯化锆 , 资源储量 , 需求分析

二垩英与资源回收-Ⅱ燃烧过程二垩英抑制和生成基础研究

钢铁

氯来源、种类和燃烧物中氯浓度对燃烧过程中二垩英生成有重要影响.在实验燃烧炉中研究1 073K温度下上述三种因素对燃烧过程二垩英生成的影响.二垩英生成浓度在相同氯源和种类条件下与燃烧物中氯含量几乎成正比,且受氯源明显影响.如有机氯化合物或无机氯化物.即使对无机氯化物,在有活性氯存在时也会生成高浓度二垩英,如由盐和面粉形成的水化物中的活性氯.

关键词: 氯源 , 氯种类 , 燃烧过程 , 二垩英/呋喃 , 水化物 , PVC

英标460钢筋弯曲断裂分析与改进

仝丽珍 , 刘靖 , 蒋海涛

物理测试

对棒材厂微钒合金英标460钢筋40弯曲断裂试样进行金相观察、断口扫描及能谱分析，发现钢中成分不均、非金属夹杂及连铸坯内裂纹等是造成钢筋弯曲性能不合格的主要原因，并据此提出冶炼、连铸过程中的改进措施，从而使英标钢筋冷弯试验达到100%合格。

关键词: 钢筋 , microalloying , microstructure

英标460钢筋弯曲断裂分析与改进

仝丽珍 , 刘靖 , 蒋海涛

物理测试

对棒材厂微钒合金英标460钢筋φ40弯曲断裂试样进行金相观察、断口扫描及能谱分析,发现钢中成分不均、非金属夹杂及连铸坯内裂纹等是造成钢筋弯曲性能不合格的主要原因,并据此提出冶炼、连铸过程中的改进措施,从而使英标钢筋冷弯试验达到100%合格.

关键词: 钢筋 , 微合金化 , 组织

坡密子和胶子球

马维兴 , 姜焕清 , L C Liu , L S Kisslinger , L S Kisslinger

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2000.01.011

讨论了高能强子-强子散射过程中的坡密子以及坡密子的QCD内容．认为坡密子有可能就是具有量子数IG＝0+，JPC＝2++的张量胶子球ξ(2 230)．用雷其化胶子球模型计算了高能质子-质子散射截面和坡密子-核子的耦合参数β．理论结果与实验的要求一致．

关键词: 坡密子 , 张量胶子球 , 雷其理论

原料铜和氯元素对二(噁)英排放的影响及抑制技术

张玉才 , 龙红明 , 春铁军 , 吴雪健 , 王平 , 孟庆民

钢铁 doi:10.13228/j.boyuan.issn0449-749x.20150383

对烧结原料中铜、氯元素对二(噁)英排放浓度的影响进行了研究.结果表明,烧结原料中铜、氯元素质量分数明显影响烟气中二(噁)英排放浓度.和基准试验相比,原料中铜质量分数由0.02%提高到0.04%,二(噁)英排放浓度(TEQ)由0.55提高到0.69 ng/m3;原料中氯质量分数由0.04%提高到0.06%,二(噁)英排放浓度(TEQ)由0.55提高到0.82 ng/m3.在烧结原料中添加少量的尿素可以显著降低二(噁)英排放浓度,尿素添加量为0.035%,在上述条件下,二(口恶)英排放浓度均可降低65%以上.

关键词: 铁矿烧结 , 二(噁)英 , 铜/氯元素 , 减排