王亮
,
王文青
,
李鑫
,
吴成龙
,
郑云友
,
宋泳珍
,
李伟
,
李正勳
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20122702.0204
通过改变压力、O2和SF6的流量研究干法刻蚀增强型阴极等离子耦合模式下对PR胶灰化速率、均匀性、H/V比值的影响.研究结果表明:在一定范围内随着压力的不断增大,PR的刻蚀速率逐渐增大,同时刻蚀的均匀性也逐渐变好,H/V逐渐变大；增加单组分SF6流量时刻蚀率和H/V比值均先增大后减小,而刻蚀均匀度数值...
关键词:
干法刻蚀
,
增强型阴极等离子耦合
,
PR灰化速率
张光明
,
刘杰
,
徐守宇
,
郑云友
,
吴成龙
,
曲泓铭
,
李伟
,
宋泳珍
,
李正動
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132802.0224
为了减少制造工艺的流程,改进的4-Mask工艺被广泛应用.但这个工艺仍存在一些问题,如果有源层刻蚀和第二次源漏数据线刻蚀之间间隔时间较长(≥5.9h),则有源层刻蚀所用气体Cl2形成的活化分子会对沟道内Al造成腐蚀.除了缩短上述间隔时间的方法外,本文应用有源层刻蚀后处理加入SF6/O2的方法,很好地...
关键词:
有源层
,
腐蚀
张定涛
,
李文彬
,
姚立红
,
郑云友
,
李伟
,
宋泳珍
,
袁明
,
张光明
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132806.0860
为解决116.8 cm(46 in)广视角边缘场切换技术4mask面板生产中的阵列工艺中,发生的一种网点色斑缺陷,应用扫描电子显微镜、聚焦离子束、能谱仪、宏观微观观测仪和线宽测量仪等检测设备进行Mura及其结晶物成份分析,比较了TFT膜厚;进行了GI和PVX膜玻璃正反面1％HF酸腐蚀试验、下部电极温...
关键词:
色斑
,
薄膜晶体管
,
非晶硅
,
缺陷分析
王守坤
,
袁剑峰
,
郭总杰
,
郭会斌
,
刘杰
,
郑云友
,
贠向南
,
李升玄
,
邵喜斌
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0801
对 TFT 制作工艺中,TFT 有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有源层的刻蚀功率,气体比例及刻蚀压强对有源层的刻蚀均一性都有较大影响,并会影响TFT 电学特性的均一性。通过适当降低刻蚀功率及反应气体 SF6/Cl2的比例,同时,降低...
关键词:
薄膜晶体管
,
加强型阴极耦合等离子体
,
有源层
,
非晶硅膜
,
均一性
肖洋
,
周鹏
,
闫润宝
,
郑云友
,
齐勤瑞
,
魏崇喜
,
章旭
,
张然
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20173204.0269
TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura,影响液晶显示器的品质,经过图形匹配,缺陷与曝光机机台形貌匹配.通过对异常区域特性分析,发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常.对原因进行模型分析:玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲,曝光距离变短,致使BM PR受光区域变小,BM CD会偏小...
关键词:
薄膜晶体管液晶显示器
,
色斑
,
线宽
,
像素间距
张定涛
,
李文彬
,
姚立红
,
郑云友
,
李伟
,
袁明
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142901.0007
为简化大尺寸液晶面板四次光刻法的刻蚀工艺、减少有毒气体使用、降低射频功率消耗,在2 200 mm×2 500 mm大尺寸玻璃上,采用正交实验设计,验证了功率、气压、反应气体和比例等参数对各刻蚀步骤刻蚀速率、均一性和选择比的影响关系,从而得到各膜层的最佳工艺条件.在Enhance Cathode Co...
关键词:
低耗
,
钼刻蚀
,
阴极耦合离子
,
试验设计
白金超
,
张光明
,
郭总杰
,
郑云友
,
袁剑峰
,
邵喜斌
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153004.0616
研究各膜层对灰化速率的影响,增强对灰化工艺的了解,为四次光刻工艺改善提供参考.采用探针台阶仪测量在相同灰化条件下不同膜层样品的灰化速率和有源层损失量,对结果进行机理分析和讨论.实验结果表明:有源层会降低灰化速率,源/漏金属层可以增大灰化速率,栅极金属层对灰化速率无影响.对于正常膜层结构的阵列基板,源...
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
四次光刻
,
光刻胶
,
灰化
黄兴友
,
胡汉峰
,
夏俊荣
,
卜令兵
,
张雪芬
,
雷勇
,
黄建松
,
王巍巍
,
吴迪
,
蒋昌华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.01.013
为了比较几种自动化测云仪器的性能,中国气象局气象探测中心在南京信息工程大学的气象探测基地首次组织了一次为期近5个月的比对试验,试验仪器包括四台激光云高仪、两部红外测云仪、一台全天空成像仪以及一部毫米波
关键词:
大气光学
,
云底高
,
激光云高仪
,
红外测云仪
,
云雷达
韩霞
腐蚀学报（英文）
针对郑408块注气井(郑408-试1)油、套管的腐蚀特点,通过对火烧驱油注气井油、套管腐蚀产物、腐蚀介质、凝析水量的分析研究,确定火烧驱油注气井油、套管的腐蚀原因一方面是由于高...
关键词:
火烧驱油
,
注气井
,
腐蚀原因
,
防腐对策
