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柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展

郝晓涛 , 张德恒 , 马瑾 , 杨莺歌 , 王卿璞 , 程传福 , 田茂华 , 马洪磊

回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.

关键词: 柔性衬底 , 氧化物半导体 , 透明导电膜

柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究

郝晓涛 , 马瑾 , 田茂华 , 王卿璞 , 马洪磊 , 叶丽娜 , 陈峰

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.003

室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.

关键词: 透明导电膜 , AZO薄膜 , 柔性衬底

射频磁控溅射有机衬底SnO2∶Sb透明导电膜性能的研究

张士勇 , 马瑾 , 刘晓梅 , 马洪磊 , 郝晓涛

功能材料

采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropylene adipate, PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜.研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最低电阻率为 2×10-3Ω*cm.

关键词: 有机衬底 , SnO2∶Sb透明导电膜 , 光电性质

薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响

郝晓涛 , 马瑾 , 马洪磊 , 杨莺歌 , 王卿璞 , 黄树来

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.003

铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.

关键词: ZnO∶Al透明导电膜 , 薄膜厚度 , 柔性衬底

GPS 监测系统在西郝庄矿采空区治理中的应用

董华兴 , 李淑霞 , 孙帅

黄金 doi:10.11792/hj20130711

采空区是引起地表塌陷、恶化矿山开采条件的严重安全隐患，对不明采空区的精细探测技术、治理技术及安全监测装备与预警技术的开发研究，是复杂条件下矿山安全高效开采迫切需要解决的重大课题。以西郝庄矿为工程背景，介绍了采空区地表GPS监测系统及沉降监测方案；通过在地表合理设置若干个监测点，利用所安装的监测系统来监视裂缝区域和地表沉降区域的动态演变过程，并将监测信息发送到监控室；通过布点监测，及时预测地压来临时间，为预警决策和矿山及时撤出处于危险区人员提供依据，实现矿山安全生产，具有一定的推广意义。

关键词: 采空区 , 地表塌陷 , GPS监测 , 观测点 , 基准点 , 预警