熊次远
,
李庆忠
,
钱善华
,
闫俊霞
人工晶体学报
本文通过硅片旋转磨损试验模拟线切割过程,以评价切割液的切割性能.首先,通过对比试验选出线切割液的主要组份;接着,通过正交试验优化各组份的含量并得到最优配方;最后,在相同条件下将最优配方与某市场切割液进行比较.结果表明:自制最优配方切割液MRR为7820 nm/min,Ra为9.12 nm.与市场切割液相比MRR稍低,但表面粗糙度要好.分析原因是由于新配方切割液在分散性和润滑性方面有所提高,而且碱性变强,加大了化学作用,有效的提高了晶片表面质量.
关键词:
硅片
,
多线切割
,
线切割液
,
材料去除率(MRR)
材料研究学报
金属材抖zr对DZ38LC合金凝固行为和持久性能的影响~................……、............……~.·..·..········……~…李英敖唐亚俊张静华张济山朱耀霄胡壮麒(l)金属材料低温疲劳性能的预测方法·······‘···‘····,···1·····,,·············……,’···················..-……吕宝桐郑修麟(8)N嘛BZ,5111三维金属玻璃的热稳定性···············?...
关键词:
腐蚀学报(英文)
<正> 该会议在日本理工学振兴会等赞助下,由东京工业大学斋藤安俊教授组织于1990年12月3—7日在东京召开,会议由分开举行的两个专题讨论会组成、即(A)非化学计量化合物和(B)现代材料与涂层的高温腐蚀。(A)专题会始于1980年,为每两年一度的小型讨论会。此次会涉及高Tc超导体、燃料电池、电池与核材料等的
关键词:
张作梅
,
黎俊结
金属学报
<正> 张作梅、黎俊结(作者):阅读了张顺天同志在“‘横锻及横轧时金属的变形与破裂的研究’一文的讨论”中的意见,感到其中提出的问题,有些是比较重要的,也是目前在横锻及横轧过程中没有完全解决的,这是值得进一步讨论或继续进行研究的。下面提出一些看法: 1.关于横锻及横轧的变形与破裂,前人的工作虽然不少,但结论尚不一致。
关键词: