李田生
,
谢振宇
,
张文余
,
阎长江
,
徐少颖
,
陈旭
,
闵泰烨
,
苏顺康
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20122704.0493
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔 (VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20％～30％的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质.
关键词:
钝化层
,
刻蚀
,
过孔
姜晓辉
,
张家祥
,
王亮
,
郭建
,
沈奇雨
,
曲连杰
,
张文余
,
田宗民
,
阎长江
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132802.0194
树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低(e≈3.5),在薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率.文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡(ITO)刻蚀相关问题:金属Mo腐蚀,ITO缺失等.通过优化刻蚀工艺,感光树脂与非感光树脂和ITO刻蚀液的搭配,以及改变树脂涂胶工艺,成功地将树脂引入TFT-LCD中.
关键词:
树脂材料
,
ITO刻蚀
,
ITO刻蚀液
,
涂胶工艺
张家祥
,
卢凯
,
郭建
,
姜晓辉
,
崔玉琳
,
王亮
,
阎长江
,
曲连杰
,
陈旭
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142901.0055
对TFT-LCD器件氧化铟锡(ITO)层无退火新工艺进行了深入研究,通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行,简化了工艺过程,节约了生产成本.采用无退火工艺氧化铟锡膜层的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火工艺下基本相同,可以实现低的电阻值和高的透过率.无退火工艺下PI膜表面平整均匀,氧化铟锡膜与PI膜界面结合良好,无鼓包、麻点等,也没有反应产物生成;经过TFT特性测试发现,无退火工艺比高温退火工艺条件下,无论暗态还是光照状态,开电流没有明显区别,漏电流可降低44％;通过无退火工艺和传统高温退火工艺制备的液晶显示屏的V-T特性相同.
关键词:
无退火工艺
,
透过率
,
氧化铟锡层
,
TFT特性
李田生
,
谢振宇
,
李婧
,
阎长江
,
徐少颖
,
陈旭
,
闵泰烨
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132805.0720
TFT-LCD产品为现代显示的主流,如何提高其显示品质成为大家普遍关注的问题,尤其近期发现的过孔发黑(黑点)问题尤为突出,严重影响了产品的良率,降低了产品的品质,文章通过研究发现产生黑点不良的罪魁祸首不是过孔刻蚀的问题,而是有源层刻蚀工艺所导致的,并有针对性地进行了试验设计,分别考察了有源层刻蚀条件、附加一步刻蚀方式对黑点不良的解决效果,根据实验效果附加一步刻蚀方式完美地解决了黑点不良问题,从而将产品的良率提升了3％～4％,而电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、迁移率)和正常条件相比没有异常,从而获得了最终完美的解决该不良的方案,提高了产品品质.
关键词:
有源层
,
刻蚀
,
黑点
李婧
,
张金中
,
谢振宇
,
阎长江
,
陈旭
,
闵泰烨
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132804.0547
利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx∶H和a-Si∶H薄膜.通过电学、光学、力学测试研究了SiNx∶H薄膜沉积条件对其界面性能的影响.研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界面态,严重影响器件的TFT特性.当SiH4和NH3气体流量比值为7∶15时,开关比(Ion/Ioff)可达3.24×10 7.适当增加功率同样可以提高Ion,但高于31.5 W/cm2后,只会严重地增大薄膜的应力.优化SiNx∶H的沉积参数,开关比可以提高5.5倍.
关键词:
SiNx∶H界面态
,
Si/N
,
开关比
,
TFT特性
董秉直
,
李伟英
,
秦祖群
,
赵冀平
,
尚亚波
,
谭章荣
,
范瑾初
膜科学与技术
doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2005.01.009
采用混凝-砂滤-超滤膜的联用工艺对长江原水进行了中试研究,结果表明,混凝-砂滤作为预处理能有效地去除大分子的有机物.5个月的试验中,膜压差增长缓慢,实现了长期稳定运行.出水的浊度、CODMn和DOC的平均值分别为0.068 NTU,1.23 mg/L和1.3 mg/L.
关键词:
长江原水
,
超滤膜
,
混凝
,
膜压差
黄桂桥
,
杨朝晖
,
周学杰
,
韩冰
腐蚀与防护
通过现场暴露试验,获得了7种典型钢铁材料、碳钢/不锈钢、碳钢/铜偶对在武汉长江中的腐蚀结果,总结了它们的腐蚀行为.HT200、QT500-7、Q235、16Mn在武汉长江中有较高的腐蚀速率和较重的点蚀.QT500-7的耐蚀性好于HT200.在武汉长江中暴露4年,304、316L没有明显的腐蚀,430有较轻的点蚀.在长江水中Q235与304或T2偶合,电偶腐蚀较重.
关键词:
钢铁材料
,
淡水
,
腐蚀
,
长江
商汉章
,
师华
,
马震
,
杨振波
,
白华栋
,
徐永祥
涂料工业
doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2012.11.017
分析了宜昌长江公路大桥所处的环境特点,确定了该桥主缆的维修材料和涂装方案.介绍了涂装方案的可行性以及涂装工艺关键点,并跟踪了柔性氟碳涂料的实际应用效果.
关键词:
宜昌长江公路大桥主缆
,
柔性氟碳
,
桥梁维修
,
涂装方案
潘应君
,
张恒
,
黄宁
,
高松超
,
徐峰
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2003.04.011
研究了Zn、Al及Zn-Al合金在不同温度条件下的长江水和自来水中的腐蚀性能及电极电位变化规律;同时对锌、铝、锌铝合金在长江水和自来水中的平均腐蚀率进行了测定.结果表明:不论是在长江水、自来水中,Al很容易产生孔蚀,防腐性能较差.Zn的腐蚀率太高,而Zn-Al合金电极电位和腐蚀率都较低,耐蚀性能最好.
关键词:
锌铝合金
,
耐蚀性
,
长江水
王超
,
谭丽
,
吕怡兵
,
滕恩江
,
滕曼
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2015.01.2014032003
采集了长江重庆段干流以及重要支流共7个断面的表层水样，采用液相色谱法分析15种优先控制的多环芳烃（PAHs）．结果表明，水体中总PAHs浓度范围为6．44—109．39 ng·L－1，平均值为41．83 ng·L－1．在5个断面水体中检出苯并（a）芘，浓度为0．05—1．32 ng·L－1，低于我国地表水标准限值（2．8 ng·L－1）．长江重庆段的PAHs浓度水平低于大部分国内其他河流，与国外一些河流的浓度水平相当． PAHs组成以中低环PAHs （3环和4环）为主，平均比例分别为55．7％和38．8％，高环PAHs（5环和6环）含量较低，分别占3．6％和1．9％．示踪PAHs比值法结果显示长江重庆段表层水体PAHs主要来源于石化产品的泄漏污染．
关键词:
多环芳烃
,
长江重庆段
,
表层水
,
分布
,
来源
