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0.1-0.3μmX射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用

叶甜春 , 谢常青 , 李兵 , 陈大鹏 , 陈朝晖 , 赵玲莉 , 胥兴才 , 刘训春 , 张绵 , 赵静

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.013

对同步辐射X射线光刻及在GaAsPHEMT器件制作中的应用进行了研究,并制作出栅长0.15μm的AlGaAs/InGaAs/GaAsPHEMT晶体管.研究结果表明,X射线光刻在剥离图形及T型栅结构制作工艺中具有极好的光刻图形质量,在混合光刻工艺中,抑止GaAs合金点的形成是取得良好对准标记的关键.

关键词: X射线光刻 , PHEMT , T型栅

用PECVD制备高抗腐蚀性能SiNx薄膜的工艺研究

刘瑞文 , 焦斌斌 , 欧毅 , 陈大鹏

功能材料

研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺.通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的变化.制备出的氮化硅薄膜可在高温强碱溶液(70℃、33.3% KOH溶液)中支撑12h而无明显变化,并实现自支撑全镂空薄膜.

关键词: 等离子增强化学气相淀积(PECVD) , SiNx薄膜 , 湿法腐蚀

PLD系统中硅板加热器温度的影响因素

彭巨擘 , 张鹏翔 , 陈大鹏 , 张虞澜 , 朱绍将 , 王茺

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.028

研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.

关键词: PLD , 硅板加热器 , 衬底 , 真空度

用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究

李东辉 , 刘志凌 , 叶甜春 , 陈大鹏 , 吕反修

无机材料学报

介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度,改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响,获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制了核岛的优势生长,总结出了一套优化的形核方案,即甲烷浓度4％,衬底温度700℃,形核时间14min;这套工艺不仅改善了自支撑金刚石薄膜窗口的光学性能,还有效地降低了膜的内应力。

关键词: 成核 , diamond film , MPCVD , X-ray lithography .mask

用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究

李东辉 , 刘志凌 , 叶甜春 , 陈大鹏 , 吕反修

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.04.030

介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度、改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响, 获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制了核岛的优势生长,总结出了一套优化的形核方案,即甲烷浓度4%,衬底温度700℃,形核时间14min;这套工艺不仅改善了自支撑金刚石薄膜窗口的光学性能,还有效地降低了膜的内应力.

关键词: 成核 , 金刚石薄膜 , MPCVD , X射线光刻掩模

单漏斗放矿柔性隔离层界面形态演化规律

陈庆发 , 陈青林 , 仲建宇 , 陈大鹏 , 李诗华 , 牛文静

中国有色金属学报

采用Origin软件对隔离层界面形态演化观测数据进行拟合,并对高斯模型参数进行理论分析和统计分析,构建隔离层界面剖面整体动态函数表达式;将实测隔离层界面形态曲线与动态函数式进行比较,在力学分析基础上,推导底部类似抛物线形状的函数表达式,解出函数分界点坐标.两项函数式共同构成完整的隔离层界面形态数学模型.研究成果为柔性隔离层作用下散体介质流理论体系的系统构建打下坚实基础.

关键词: 放矿 , 单漏斗 , 柔性隔离层 , 界面形态 , 演化规律 , 高斯模型

复合二氧化钛膜的研制

陈大鹏 , 郭国霖 , 李崇嘉

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2000.03.001

用溶胶-凝胶法在多孔α-Al2O3陶瓷衬底上制备了TiO2微孔膜,经激光光散射仪、X-射线衍射仪、扫描电子显微镜、孔率计等对胶粒的大小、膜的结构、形貌和孔径分布等进行了表征,发现在孔直径为0.5 μm的多孔载体上经浸渍-干燥-焙烧过程,能制得对牛血清白蛋白(BSA)有73.5%～92.7%截留率、通量在0.2 MPa压差下约52 L/(m2.h)的超滤膜.

关键词: 溶胶-凝胶法 , TiO2膜 , 超滤 , 牛血清白蛋白(BSA)

电子束辐照浓香型白酒催陈效果的研究

张苗苗 , 陆栋 , 曹国珍 , 刘敬 , 金文杰 , 王菊芳 , 李文建

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.31.02.218

以能量为1.5 MeV/u，剂量分别为500，750，1000，1250，1500 Gy的电子束对1，2，4，6，8年等5种年份浓香型白酒进行辐照处理；扫描各酒样200～400 nm波段的紫外光谱，根据紫外光谱图的差异，计算了280～300 nm波段的光谱曲线相似度，分析光谱曲线变化规律。结果表明，对于前4种白酒，对照样与辐照样光谱曲线相似度值越小，催陈效果越好；白酒存放时间越久，酒体风格转向老熟所需剂量越小，越容易达到最佳催陈效果；对于8年白酒，辐照剂量超过750 Gy后，白酒体系动态平衡被打破，各单体物质增加，出现返生现象。因此，电子束辐照技术对低年份浓香型白酒催陈效果显著，是一种先进、高效的催陈方法。

关键词: 白酒 , 电子束 , 紫外可见光谱 , 光谱曲线相似度 , 催陈效果

内蒙古赤峰陈家杖子金矿床矿物学特征及成因

霍亮 , 李碧乐 , 黄勇 , 王力

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2007.10.002

通过光片鉴定和电子探针分析,总结了内蒙古赤峰陈家杖子金矿床的矿石矿物组成,结构构造,划分了成矿期次.研究表明:矿床中矿石成分较复杂,硫化物种类多,有少量硫盐矿物出现;富硫贫砷毒砂、贫砷富硫黄铁矿、贫锌富铁的闪锌矿(与标准分子式相比),含杂质多的银锑黝铜矿和方铅矿与金关系密切;多金属硫化物阶段是该矿床的主要成矿阶段,其中第二世代富硫贫砷毒砂是陈家杖子金矿的最主要载金矿物,其次是方铅矿.结合流体包裹体测试和研究,确定该矿床为受大型角砾岩筒构造控制的低硫化型浅成低温热液矿床,该矿床深部有很大的找矿潜力.

关键词: 矿石矿物特征 , 矿床成因 , 陈家杖子金矿床

沉痛悼念陈南平教授

机械工程材料

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