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射频磁控溅射 Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜表层的XPS研究

唐章东 , 杨传仁 , 廖家轩 , 张继华 , 冷文建 , 宏伟 , 符春林

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00713

用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜, 用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征. 结果表明, 常规晶化时, BST薄膜表层约3~5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST, 随着温度的升高该厚度增加; 快速晶化时, 该厚度减薄至1nm内, 随着温度的升高没有明显增加. 元素的化学态分析结果表明, 非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物, 而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关. GXRD和AFM表明, 致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散, 从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.

关键词: BST , surface layer , crystallization , perovskite structure , XPS

射频磁控溅射Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜表层的XPS研究

唐章东 , 杨传仁 , 廖家轩 , 张继华 , 冷文建 , 宏伟 , 符春林

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.032

用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征.结果表明,常规晶化时,BST薄膜表层约3~5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST,随着温度的升高该厚度增加;快速晶化时,该厚度减薄至1nm内,随着温度的升高没有明显增加.元素的化学态分析结果表明,非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物,而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关.GXRD和AFM表明,致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散,从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.

关键词: BST , 表层 , 晶化 , 钙钛矿结构 , XPS

表面处理对亲水铝箔持续亲水性的影响

刘春华 , 方治齐 , 张新云 , 宏伟

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.01.017

通过测定水洗200h后,水滴在亲水铝箔表面接触角的方法来确定脱脂和铬化对亲水铝箔持续亲水性的影响.发现只要清洗彻底,则持续亲水性与脱脂剂的种类无关.铬化对持续亲水性的影响很大,用磷酸铬酸盐法处理的铝箔,其持续亲水性比用铬酸盐法处理的要好.用磷酸铬酸盐法于30℃,将铝箔处理3min,最后涂布亲水涂层得到的亲水铝箔,其持续亲水性最佳,水冲200h后,接触角为9~11°.

关键词: 脱脂 , 铬化 , 持续亲水性 , 接触角

钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究

宏伟 , 杨传仁 , 符春林 , 赵莉 , 高志强

功能材料

采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.

关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , 膜厚 , 晶粒尺寸 , 介电性能

铁电薄膜移相器研究进展

余桉 , 杨传仁 , 张继华 , 宏伟 , 王波 , 张瑞婷

材料导报

铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.

关键词: 移相器 , 铁电薄膜 , 相控阵天线 , BST可变电容 , BST薄膜

铁电材料介电非线性研究进展

符春林 , 宏伟 , 蔡苇 , 潘复生

材料导报

铁电材料是一类重要的功能材料,介电(电压)非线性是近年来高新技术研究的前沿和热点之一.综述了关于铁电材料介电非线性的临界尺寸、晶粒尺寸效应、膜厚效应、模型和介质移相器等方面的最新研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

关键词: 介电非线性 , 铁电材料 , 尺度效应 , 模型 , 介质移相器

双酚A改性UV固化水性聚氨酯涂料的制备及性能研究

方振华 , 宏伟 , 尚建疆 , 刘志勇 , 骈继鑫 , 孙伟

功能材料

以异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)、聚乙二醇(PEG,Mw=600)和二羟甲基丙酸(DMPA)为主要原料,双酚A作扩链剂,在UV光固化水性聚氨酯大分子链中引入刚性芳环结构来改善涂膜的耐热性,产物结构经FT-IR证实.研究了DMPA含量、IPDI/PEG600摩尔比以及双酚A改性对乳液及涂膜性能的影响.结果表明,DMPA用量>5.76%后,乳液贮存稳定期可>6个月;随着DMPA用量从5.76%增加到9.04%时,乳液的平均粒径随DMPA含量的增大而变小,其值从90.16μm减小到43.30μm;IPDI/PEG600摩尔比>3.4时,涂膜外观及其涂膜性能较好;经双酚A扩链改性后的UVWPU固化膜的铅笔硬度为H、附着力1级、5%失重温度为233℃,较改性前提高了14℃,玻璃化转变温度提高了7.07℃,涂膜的附着力、铅笔硬度均得到了提高,涂膜在100℃条件下烘烤200h无变化.

关键词: UV固化 , 水性聚氨酯 , 双酚A , 改性

钛酸锶钡薄膜C-V曲线不对称现象研究

胡立业 , 杨传仁 , 符春林 , 宏伟

功能材料

采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.

关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , C-V曲线 , 不对称 , 界面

钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展

裴亚芳 , 杨传仁 , 宏伟 , 张继华 , 冷文健

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.06.008

综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol-gel)法、磁控溅射(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望.

关键词: 钛酸锶铅(PST) , 铁电薄膜 , 制备工艺 , 应用

铁电薄膜中的电畴研究进展

符春林 , 杨传仁 , 宏伟 , 王迎新 , 胡立业

材料导报

铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

关键词: 电畴 , 铁电薄膜 , 临界尺寸 , 表征方法

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