陈新亮
,
王斐
,
闫聪博
,
李林娜
,
林泉
,
倪牮
,
张晓丹
,
耿新华
,
赵颖
材料导报
阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜(Transparent conductive oxides-TCO)以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果.绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如“弹坑”状和“类金字塔”状表面)的主流生长技术；高迁移率TCO薄膜(IMO、IWO、ZnO∶Ga等)以及柔性衬底TCO薄膜是研究开发的重点.
关键词:
镀膜技术
,
TCO薄膜
,
绒面结构
,
高迁移率
,
缓冲层
,
梯度掺杂
,
薄膜太阳电池
陈新亮
,
田淙升
,
赵慧旭
,
杜建
,
张德坤
,
魏长春
,
耿新华
,
赵颖
,
张晓丹
材料导报
主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductiveoxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展.主要包括溅射&湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯度杂质掺杂技术、复合特征尺寸生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等.此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(Light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望.
关键词:
太阳电池
,
绒面结构
,
ZnO-TCO薄膜
,
光管理
,
薄膜技术
王斐
,
陈新亮
,
张翅
,
张德坤
,
魏长春
,
黄茜
,
张晓丹
,
赵颖
,
耿新华
人工晶体学报
采用直流脉冲磁控溅射方法,在室温下生长氢化Ga掺杂ZnO薄膜(GZO/H),并通过湿法后腐蚀技术获得绒面结构.研究了室温下H2流量对薄膜结构、光电性能及表面形貌的影响.实验表明,氢化GZO(GZO/H)薄膜具有良好的(002)晶面择优取向生长,引入适当流量的H2可以有效提高薄膜的电学特性,GZO/H薄膜具有更低的电阻率以及较高的迁移率和载流子浓度.当通入H2流量为6 sccm时,薄膜电阻率为6.8 ×10-4 Ω·cm,Hall迁移率达34.2 cm2/Ⅴ·s,制备的GZO/H薄膜可见光区域平均透过率优于85％.此外,研究了H2流量对湿法腐蚀后绒面GZO/H薄膜表面形貌的影响,提出了一种薄膜绒面结构形成过程模型.
关键词:
脉冲磁控溅射
,
氧化锌
,
镓掺杂
,
H2流量
,
绒面结构
任世荣
,
陈新亮
,
张存善
,
孙建
,
张晓丹
,
耿新华
,
赵颖
人工晶体学报
利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO( In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究.SiO2缓冲层在室温生长.SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜.实验获得的具有SiO2阻挡层的IWO薄膜的电子迁移率μ～54.5 cm2·V-1·s-1,电阻率p ～5.86×10-4Ω,cm,电子载流子浓度n～ 1.95×1020 cm-3,400～1600nm砌光谱区域内的平均透过率～76％.
关键词:
电子束沉积技术
,
SiO2阻挡层
,
IWO薄膜
,
高迁移率
陈新亮
,
薛俊明
,
张德坤
,
蔡宁
,
张晓丹
,
赵颖
,
耿新华
人工晶体学报
本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术.研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大.适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池.
关键词:
MOCVD
,
绒面ZnO薄膜
,
湿法刻蚀
,
太阳电池
乔薇
,
陈新亮
,
张存善
,
张德坤
,
魏长春
,
张晓丹
,
赵颖
材料科学与工程学报
本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材（WTZO）,并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明：当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。
关键词:
WTZO靶材
,
烧结温度
,
烧结气氛
,
相对致密度
,
方块电阻
陈新亮
,
吴萍
,
刘兆庆
,
姜恩永
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.03.018
本文研究了机械球磨方法制备的Al-64wt.%Ti混合粉末的微观结构和热稳定性.X射线衍射谱(XRD)研究结果表明,经过140h的球磨作用,形成了hcp相的亚稳态Ti(Al)超饱和固溶体;然后对粉末压坯进行固态反应烧结,最终的平衡产物是AlTi和Ti3Al,并用Miedema模型计算并比较了各竞争相的热力学结果..
关键词:
机械球磨
,
Al/Ti粉末
,
晶格缺陷
,
金属间化合物
,
Miedema模型
陈新亮
,
薛俊明
,
赵颖
,
耿新华
材料导报
概括阐述了薄膜太阳电池用绒面结构ZnO透明导电薄膜(ZnO-TCO)方面的最新研究进展.绒面结构ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和MOCVD(Lp-MOCVD/LPCVD)技术是制备绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如"弹坑"状和"类金字塔"状表面)的主流生长技术,而喷雾热分解技术则是正在开发的非真空法低成本工艺路线.论述了2种主流技术生长ZnO-TCO薄膜的发展历程,并重点讨论了近期关于绒面ZnO-TCO薄膜微观结构、电学以及光学等特性与工艺关系的研究结果.进一步降低成本和实现大面积产业化是绒面ZnO-TCD薄膜拓展应用的发展趋势.
关键词:
ZnO薄膜
,
透明导电氧化物-TCO
,
绒面结构
,
薄膜太阳电池
陈新亮
,
薛俊明
,
赵颖
,
耿新华
材料导报
概括地阐述了ZnO透明导电薄膜(ZnO-TCO)的特性及其在薄膜太阳电池中的应用,介绍了ZnO薄膜在薄膜太阳电池中的应用背景,阐明了它在其中的作用及ZnO-TCO薄膜的主流生长方法,并给出了近年来ZnO-TCO薄膜的主要研究结果,最后展望了其应用和发展趋势.
关键词:
ZnO薄膜
,
透明导电氧化物
,
陷光作用
,
太阳电池
陈新亮
,
吴萍
,
赵慈
,
李志青
,
姜恩永
稀有金属材料与工程
研究了机械球磨方法制备的Al-10%Ti混合粉末的组织和热稳定性.结果表明:在球磨作用下,Al, Ti粉末的颗粒尺寸得到有效细化,并且球磨时间越长,Al/Ti粉末储备能量越大,生成Al-Ti金属间化合物所需的反应激活能越低,内能的增加和扩散能力的提高是由于机械球磨导致了大量的晶格缺陷;Al-10%Ti混合粉末反应烧结后相互扩散形成的最终产物是DO22-Al3Ti.
关键词:
机械球磨
,
Al/Ti粉末
,
晶格缺陷
,
金属间化合物
,
扩散
