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  • 论文(41)

ZnO掺杂Li+陶瓷靶及溅射膜制备工艺研究

, 张树人 , 杜善义 , 杨成韬 , 孙明霞 , 郑泽渔 , 李波 , 董加和

功能材料

利用固相反应成功地制备了直径为70mm,厚度为10~15mm的掺杂Li离子ZnO陶瓷靶材.研究了不同摩尔浓度的Li离子掺杂靶材,并对其绝缘电阻与损耗进行了分析比较,最终确定Li离子的最佳掺杂量为2.2l%(摩尔分数).同时通过在不同温度烧结试验、不同成型压力试验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并通过...

关键词: 陶瓷靶 , 氧化锌薄膜 , 射频磁控溅射 , 择优取向

ZnO陶瓷靶制备及其薄膜 RF溅射工艺研究

, 张树人 , 杜善义 , 杨成韬 , 郑泽渔 , 李波 , 孙明霞

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01011

利用固相反应制备了直径为70mm, 厚度为10~15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材, 实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响, 确定了最佳Li+掺杂量...

关键词: 陶瓷靶 , zinc oxide films , RF magnetron sputtering , preferred orientation

ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究

, 张树人 , 杜善义 , 杨成韬 , 郑泽渔 , 李波 , 孙明霞

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.04.040

利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10~15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2.2mol%,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并采用所制备的ZnO-Li2.2%陶瓷靶和...

关键词: 陶瓷靶 , 氧化锌薄膜 , 射频磁控溅射 , 择优取向

复合氧化物掺杂法制备抗还原BCTZ系陶瓷的研究

王升 , 周晓华 , 张树人 , 李波 ,

无机材料学报

提出了一种制备抗还原BCTZ系陶瓷材料的新工艺. 采用溶胶-凝胶法在500~800℃下合成复合氧化物掺杂剂, 此掺杂剂与水热法合成的超细(Ba1-xCax)(Ti1-yZr...

关键词: 多层陶瓷电容器 , BCTZ ceramics , complex oxide dopants , sol-gel , dielectric properties , annealing

Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术

, 杨邦朝 , 杨成韬 , 张树人

功能材料

采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol-gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜.研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响.

关键词: PZT , sol-gel法 , 前驱单体 , 铁电薄膜

PZT薄膜反提拉生长的PbO挥发与退火条件研究

, 杨成韬 , 王升 , 杨邦朝

功能材料

通过一新的溶胶-凝胶工艺:反提拉涂膜方法,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了PZT(Zr/Ti=52/48)铁电薄膜,并研究了退火工艺及其PbO的挥发对薄膜微结构、表面形貌、取向、及铁电性能的影响.本文首次提出并应用反提拉涂膜技术制备了PZT薄膜,此技术相对...

关键词: PZT , 溶胶-凝胶 , 反提拉涂膜 , PbO挥发 , 铁电薄膜

PZT/ZnO薄膜制备及其结构特性研究

, 聂海 , 杨成韬 , 杨邦朝

功能材料

利用固相反应制备的ZnO-Li_(2.2%)陶瓷靶和RF射频磁控溅射技术在Si(100)基片上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,XRD和电性能分析表明掺杂Li离子改善了ZnO靶材的结构和性能,同时研究了不同RF溅射温度对ZnO薄膜结构与取向的影响;然后采用sol-gel前驱单体薄膜制备方法,以Zn...

关键词: 氧化锌薄膜 , 射频磁控溅射 , 择优取向 , PZT薄膜

复合氧化物掺杂法制备抗还原BCTZ系陶瓷的研究

王升 , 周晓华 , 张树人 , 李波 ,

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.018

提出了一种制备抗还原BCTZ系陶瓷材料的新工艺.采用溶胶-凝胶法在500~800℃下合成复合氧化物掺杂剂,此掺杂剂与水热法合成的超细(Ba1-xCax)(Ti1-yZry)O3粉体混合球磨可得抗还原介质瓷料,该瓷料可在还原性气氛中烧成适用于贱金属电极的,具有高介电常数和低介质损耗的多层陶瓷电容器陶瓷...

关键词: 多层陶瓷电容器 , BCTZ系陶瓷 , 复合氧化物掺杂剂 , 溶胶-凝胶法 , 介电性能 , 退火处理

BaTiO3-Nb2O5-Ni2O3三元系统的介电性能研究

王升 , 张树人 , 周晓华 , 李波 ,

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.02.018

对三元系统BaTiO3-Nb2O5-Ni2O3的微结构和介电性能进行了研究.XRD分析表明Nb2O5/Ni2O3协同掺杂的BaTiOa陶瓷为赝立方相结构;在掺杂1.0 mol%Ni的BaTiO3中,Nb的固溶度<4.0mol%.SEM观察表明,随Nb掺杂量的增加,BaTiO3陶瓷的晶粒尺寸先增大后减...

关键词: BaTiO3 , X8R , 介电性能 , 居里温度

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