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MEMS器件自动引线键合系统

陈立国 , 杨治亮 , 马凌宇 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.006

引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性.本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系统.通过分析变倍显微镜的成像模型提出了一种适用于变倍显微镜的自动调焦方法,以获取不同倍数下的清晰图像.利用变倍显微镜可以连续变倍的特点,在低放大倍数下进行大范围粗定位,高放大倍数下进行精定位,从而实现大范围高精度定位.最后通过实验验证了该系统的实用性.

关键词: MEMS , 引线键合 , 显微视觉

一种MEMS微流量传感器的设计与分析

刘亚欣 , 陈立国 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.001

近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测.本文设计了一种基于压差原理,通过测量液体流过精密微流量通道产生的压差实现流速快速测量的集成高速微流量传感器,并用MEMS技术进行本体结构和微流体通道的制作.通过理论计算以及传感器静态和动态建模分析,指出了结构尺寸设计原则,为结构设计提供理论依据,保证了传感器微量快速检测性能的实现.最后通过有限元分析软件对流量传感器结构尺寸进行受力和变形分析,并利用集总建模分析方法,对传感器进行动态特性分析.分析表明传感器在最大系统压力下变形和应力符合要求,响应速度可以达到1KHz以上,具有响应时间短,结构紧凑,功耗小的特点,特别适合于高通量自动化微量试剂操作系统中微流量的快速测量.

关键词: 流量传感器 , 微机械系统 , 传感器建模

《十五规划》确立国际标准转化为我国标准转化率要达到70%

物理测试

关键词:

两种国产涡轮盘材料疲劳寿命概率分布规律初探

王卫国 , 龚梦贤 , 温卫东

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.03.012

基于两种国产发动机轮盘材料GH4133和1Cr11Ni2W2MoV低循环疲劳实验数据,选择三种常用的分布函数(对数正态分布、双参数Weibull分布和三参数Weibull分布),用概率图法和柯尔莫哥洛夫-斯米尔诺夫检验方法进行拟合优度检验,以考察分布函数的总体拟合效果.通过经验失效率的变化趋势来评估分布函数是否符合疲劳失效机制.结果表明:形状参数大于1的三参数Weibull分布函数是建立国产轮盘材料GH4133和1Cr11Ni2W2MoV疲劳寿命分布的理想数学模型.对数正态分布函数在本工作所研究的轮盘材料低循环疲劳寿命范围内是合理的.双参数Weibull分布函数用作国产轮盘材料疲劳寿命分布模型时必须进行假设检验.

关键词: 疲劳寿命 , 概率分布 , 拟合优度 , 失效率 , 国产轮盘材料

我国应进一步加大对"纳米科学技术”的支持

师昌绪

材料导报

2000年2月克林顿总统宣布将以4.95亿美元优先实施新的"全美纳米科技计划”(NM),专门成立了由各部门专家组成的纳米科学工程和技术工作小组(IWGN).这是由于纳米技术将对21世纪的经济和社会产生巨大影响,可能引导下一个工业革命.我国纳米科技研究起步不晚,而且取得了很好成果,为了避免再次像半导体产业一样,起步不晚而最终又被远远抛在先进国家后面,提出国家加大经费投入、与纳米技术应用部门加强联系、加强国际学术交流、成立国家级"纳米科学技术指导协调小组”等六点建议.

关键词: 纳米 科学技术 建议Support for R&D of Nanoscience and Nanotechnology Should be Farther Strengthened in China