冯军
,
童洪辉
,
金凡亚
,
但敏
,
沈丽如
,
陈美艳
,
赖新春
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.020
在316L不锈钢基体上,采用磁控溅射镀铝、热处理、氧离子注入复合工艺制备 FeAl/Al2 O3防氚层,并利用 XRD、SEM、EDS 分别对膜层进行了相结构、表面形貌、化学成分等分析.结果表明,磁控溅射制备了质量良好的铝膜,最佳工艺参数为温度170℃,溅射功率1400 W；热处理生成了含 FeAl 相的过渡层,并提高了膜基结合力,在700℃,120 min 时,膜基结合力达到最大值62．5 N；最终由离子注入生成的Al2 O3膜层由α、γ相组成,涂层厚度约360 nm,抗热震性能较好,在600℃下该涂层使316L不锈钢的氘渗透率降低3个数量级.
关键词:
316L 不锈钢
,
磁控溅射
,
热处理
,
氧离子注入
,
防氚
冯军
,
但敏
,
金凡亚
,
陈美艳
,
沈丽如
,
童洪辉
,
张桂凯
稀有金属材料与工程
采用微弧氧化技术在316L不锈钢基体上制备了氧化铝阻氚涂层,利用XRD、SEM、涡流法对涂层进行了相结构、表面形貌、膜厚的分析,并进行了划痕实验、抗热震性能及阻氚性能测试.结果表明:相结构、表面形貌、膜厚受到微弧氧化电流密度、电压、反应时间的影响.其中,电流密度、电压都能改变涂层相结构,较高电流密度将促进Al→Al2O3的形成,而较高电压将促进γ-Al2O3→α-Al2O3的相变.提高电压、反应时间,涂层表面放电孔洞将变大从而影响表面质量;最佳电流密度为9 A/dm2,此时表面质量较好.通过性能测试及综合分析,最佳工艺参数为6 A/dm2、300V、30 min,膜基结合力、抗热震较好,能使316L不锈钢的氚渗透率降低3个数量级.
关键词:
氧化铝涂层
,
阻氚
,
微弧氧化
陈美艳
,
童洪辉
,
沈丽如
,
金凡亚
,
赵燕
功能材料
多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢材料表面制备结合力、硬度和致密性高的TiN涂层，提高材料表面硬度和抗高温氧化性能。分析结果显示过渡层成分、预热温度、工作气压及负偏压等主要参数对膜层性能影响明显。得到Ti为过渡层时，预热250℃，气压3．0Pa，600V偏压镀膜工艺参数最佳，制备的膜基结合力高于60N，表面硬度〉1200HV0.05，膜层表面大液滴密度尺寸最低。膜层表面显微硬度、膜层沉积速率和膜基结合力随工作气压升高不同程度地先升高后降低。
关键词:
多弧
,
TiN
,
过渡层
,
结合力
