靳聪慧
,
史振亮
,
于威
,
丛日东
,
张瑜
,
宋登元
,
傅广生
人工晶体学报
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63％.该结果可解释为:气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的SiOyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶体硅的过量刻蚀导致微结构只剩锥体底部的脊型凸起.CH4掺入导致CHx聚合物的掩模和粒子轰击效应均有增强,更有利于高纵横比锥型微结构的形成.
关键词:
反应离子刻蚀
,
锥型绒面结构
,
晶体硅
,
太阳能电池
张弗天
,
车成卫
,
靳达申
材料导报
概要介绍了金属材料学科1996年立项的面上项目的总结情况,在详细分析基金成果各种指标的基础上,对能体现基础研究特点的成果进行了排序和初步分析,并从管理角度评速了一些有特色的总结.还指出在结题报告中应该注意的一些问题.论述了定期评述结题项目的意义,以及建立成果评价规范的重要性.希望通过制度化、规范化的结题管理,奖优惩劣,促进基金事业的健康发展.
关键词:
基金项目
,
结题
,
评述
靳九成
,
朱正华
,
吴述尧
,
赵传国
,
陈焕中
金属学报
<正> GCr15钢制精密轴承三种典型产品,刚玉砂轮和石墨砂轮加工的B2007112(以下简称B2007112刚、B2007112石)及B3-707,在疲劳寿命、显微硬度、形貌质量等性能测试对比中,依次较优.赵传国及靳九成等曾发现性能较优
关键词:
金威贤
,
靳裕康
,
谢荫寒
,
朱洪兴
腐蚀学报（英文）
铜合金在泥沙海水中腐蚀行为的研究(摘要)金威贤,靳裕康,谢荫寒,朱洪兴(冶金部钢铁研究总院舟山海洋腐蚀研究所,舟山316003)流动海水中泥沙的存在加速了铜及铜合金的腐蚀,泥沙的含量对腐蚀的影响规律不一致.鉴于我国东海沿海海域具有低盐度、混浊、泥沙含量高和海生物附着少等自然特点,4年腐蚀数据表明,国产铜合金在舟山全浸区的腐蚀率明显高于黄海的青岛和南海的榆林.从盐度看,舟山站是3个站中最低的,从温度看至少低于榆林站,?...
关键词:
