李伙全
,
曾祥华
,
韩玖荣
功能材料
在室温下利用射频磁控溅射法在硅(100)基片上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其结晶性能进行分析。研究了制备条件对薄膜沉积速率的影响。分析了薄膜沉积速率对薄膜结晶状况的影响及源气体中的氧气和氩气的流量比对薄膜结晶状况的影响。研究结果表明,薄膜的生长速率强烈依赖于射频功率和工作气压,薄膜的结晶性能强烈依赖于薄膜的沉积速率和反应气体中氧气和氩气的流量比。制备高结晶质量的ZnO薄膜的最佳工艺参数为靶到衬底的距离为4cm,输入功率为250W,源气体中氩气和氧气的流量比n(Ar)∶n(O2)为5∶20,溅射工作气压为2Pa。在最佳工艺条件下所制备的薄膜表面平整致密,接近单晶,在可见光区的透射率高达90%。
关键词:
ZnO薄膜
,
工艺参数
,
择优取向
李渊
,
刘子琦
,
吕小溪
,
曹洋
,
李开萍
,
覃换勋
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.09.2016033004
通过对贵州毕节地区两个处于不同石漠化等级条件下的洞穴朝营洞(潜在)与韩家冲洞(强度)滴水的滴率与元素进行了为期1年的监测,分析了各洞穴上覆的土壤、基岩元素,探讨了滴水的元素来源及其石漠化效应.结果表明,朝营洞上覆土壤元素Ca、Mg、Sr含量高于韩家冲洞;朝营洞滴水Ca2+、Mg2+、Ba2+、Sr2+平均浓度分别为60.81、3.24、0.012、0.085 mg·L-1,韩家冲洞滴水分别为58.39、2.47、0.01、0.074 mg·L-1;地表石漠化程度越严重,洞穴滴水滴率对大气降雨的响应越敏感,季节变幅越大,滴水元素受到上覆基岩的贡献程度越高;受地表石漠化效应的差异影响,朝营洞滴水元素离子浓度呈现出雨季高旱季低的变化规律,而韩家冲洞滴水元素离子浓度呈现出雨季低,旱季高的变化规律.
关键词:
土壤
,
洞穴滴水
,
元素
,
石漠化