马春雨
,
李智
,
李勇
,
张庆瑜
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.002
采用反应射频(RF)磁控溅射法在n型(100)单晶Si基片上沉积了ZrO2薄膜,研究了氧分压与ZrO2薄膜的表面粗糙度和沉积速率、SiO2中间界层的厚度以及ZrO2薄膜的折射率之间关系.结果表明:随着氧分压增高,薄膜的沉积速率降低,表面粗糙度线性地增加;在低的氧分压情况下,Si基片表面的本征SiO2...
关键词:
反应射频磁控溅射
,
ZrO2薄膜
,
沉积速率
,
表面粗糙度
李洪婧
,
马春雨
,
李帅
,
董武军
,
张庆瑜
功能材料
利用反应射频磁控溅射技术,首次利用氧化铜作为溅射靶,在氮气和氩气的混合气氛下,制备出N掺杂的Cu2O薄膜。通过改变沉积温度,研究了氮掺杂Cu2O薄膜的结构特征和生长模式以及光学特性。研究结果表明低温沉积时,薄膜表现为比较强的（100）织构;随着沉积温度增加到500℃,薄膜逐渐转变为（111）织构,沉...
关键词:
Cu2O
,
氮掺杂
,
生长机制
,
光学特性
马春雨
,
苗春雨
,
李树林
,
王文娟
,
张庆瑜
功能材料
采用反应射频磁控溅射技术制备HfTaO薄膜,利用X射线衍射（XRD）分析了薄膜的微结构,通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计算了薄膜的折射率和禁带宽度,利用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。结果表明,随着Ta掺入量（10%,26%,50%）的增加,HfTaO薄膜的结晶化温度分别为800、...
关键词:
HfTaO薄膜
,
磁控溅射
,
光学性能
,
热稳定性
李智
,
苗春雨
,
马春雨
,
张庆瑜
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2011.01281
采用射频磁控溅射技术制备HfLaO薄膜, 利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的微结构, 通过紫外?可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱, 计算了薄膜的折射率和禁带宽度, 利用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌. 结果表明: 沉积态HfLaO(La: 25%~37%)薄膜均为非晶态, 随着La掺入量的增加...
关键词:
HfLaO薄膜
,
magnetron sputtering
,
thermal stability
,
optical properties
张欢欢
,
李智
,
苗春雨
,
马春雨
,
张庆瑜
功能材料
采用反应射频磁控溅射方法制备Zn1-xMnxO薄膜(0≤x≤0.25),并在不同温度下进行退火处理.通过原子力显微镜、薄膜X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱对薄膜的成分、表面形貌、微结构和光学性质进行了研究.结果表明,薄膜结晶质量明显地依赖于掺杂Mn元素的浓度,所有薄膜都表现了沿(002)晶面方向...
关键词:
Mn掺杂ZnO薄膜
,
射频磁控溅射
,
微结构
,
光学特性
刘明
,
魏玮
,
曲盛薇
,
谷建峰
,
马春雨
,
张庆瑜
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01096
采用反应射频磁控溅射方法, 在Si(001)基片上制备了具有高$c$轴择优取向的ZnO薄膜. 利用原子力显微镜、X射线衍射、透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术, 研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响. 研究结果显示: 0.04～0.23Pa的氧分压范围内, ZnO薄膜存在三个不同的生长模式...
关键词:
ZnO薄膜
,
reactive radio-frequency magnetron sputtering
,
morphological analysis
,
optical properties
刘明
,
魏玮
,
曲盛薇
,
谷建峰
,
马春雨
,
张庆瑜
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.002
采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射,透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术,研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响.研究结果显示:0.04～0.23Pa的氧分压范围内,ZnO薄膜存在三个不同的生长模式,薄膜生长模式转...
关键词:
ZnO薄膜
,
反应磁控溅射
,
形貌分析
,
光学特性
李智
,
苗春雨
,
马春雨
,
张庆瑜
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2011.01281
采用射频磁控溅射技术制备HfLaO薄膜,利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的微结构,通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计算了薄膜的折射率和禁带宽度,利用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌.结果表明:沉积态HfLaO(La:25％～37％)薄膜均为非晶态,随着La掺入量的增加,HfLaO薄膜...
关键词:
HfLaO薄膜
,
磁控溅射
,
热学稳定性
,
光学性能
刘雪珍
,
鲍善永
,
张欢欢
,
马春雨
,
徐晓明
,
张庆瑜
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00369
采用脉冲激光沉积的方法,利用Zn0.95Co0.05O陶瓷靶,在不同氧气压力下制备Zn1-xCoxO薄膜.利用X射线衍射(XRD)、电子探针、吸收光谱对薄膜中Co含量、Co2+离子比例以及相组成进行了定量分析,研究了沉积过程中氧气压力对薄膜中Co含量的影响,定量讨论了薄膜中Co含量、Co2+离子比例...
关键词:
Co掺杂ZnO
,
稀磁半导体
,
磁学性能
,
磁化机制
,
定量分析
