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基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工

, 吴亚明 , 李四华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.015

本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工.通过薄胶多次光刻在衬底上制作出氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、光刻胶(photoresist,PR)等材料的多层掩膜图形,每层掩膜可以进行一次衬底刻蚀或腐蚀,刻蚀或腐蚀完毕后去除该层掩膜.该工艺解决了MEMS工艺中的深坑涂胶和光刻问题,结合深反应离子刻蚀(Deep Reactive Ion Etching,DRIE)、湿法腐蚀等工艺可以用于多级台阶、深坑底部精细结构、微结构释放等MEMS工艺.

关键词: MEMS , 光刻 , 多掩膜 , 体硅工艺

镍离子对氧化亚铁微螺菌和温嗜酸硫杆菌活性的影响

赵雪淞 , 石倩倩 , 李彩霞 , 张孝松

硅酸盐通报

氧化亚铁微螺菌和温嗜酸硫杆菌是浸矿细菌的一种两种常见的浸矿细菌,为了测定重金属镍离子对它们活性的影响,设置了不同浓度镍离子的摇瓶实验,在温度为45℃,转速为150 r/min的条件下开展实验.结果表明:镍离子浓度在小于2g/L时,氧化亚铁微螺菌和温嗜酸硫杆菌的活性不受影响;镍离子浓度在4 g/L时,细菌的活性受到影响,活性降低,但通过自身的调节作用,还可以继续生长;镍离子浓度大于8g/L时,细菌几乎不生长.

关键词: 氧化亚铁微螺菌 , 温嗜酸硫杆菌 , 活性 , 镍离子

温嗜酸硫杆菌YN12菌株的鉴定及其镉抗性能

丁建南 , 朱若林 , 康健 , 张成桂 , 吴学玲 , 邱冠周

中国有色金属学报

自云南酸性热泉水样中分离出一株中度嗜热硫氧化菌YN12.对其形态特征和生理生化特性以及16S rDNA序列分析结果证明,该菌株归属于温嗜酸硫杆菌(Acidithiobacillus caldus).重金属抗性实验表明,YN12菌株对3CdSO4-8H2O具有超强抗性,其最高初始Cd2+耐受浓度达4.8 g/L.在此基础上,不断提升3CdSO4-8H2O浓度,其最终Cd2+耐受浓度可达31.5 g /L(相当于3CdSO4-8H2O 210 g/L).在该最终Cd2+耐受浓度下,经过连续3代的适应性生长,YN12菌株的生长速度和硫氧化活性均能得到较好的恢复.

关键词: 温嗜酸硫杆菌 , YN12菌株 , 镉抗性 , 最高耐受浓度

逆胶束介导化学发光法测定烟酸替诺

石文兵

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2008.09.027

在酸性条件下,烟酸替诺分子中氮原子被质子化后与阴离子AuCl-4形成离子缔合物,该缔合物被三氯甲烷带入鲁米诺的氯化十六烷基三甲基铵(CTAC)逆胶束中,离解出来的AuCl-4立即与鲁米诺产生化学发光. 在一定浓度范围内,发光强度与烟酸替诺的含量呈线性关系. 在优化的试验条件下,烟酸替诺的检测线性范围为0.01~15×10-6 g/mL,检出限(3σ)为0.4×10-9 g/mL,对浓度为1.0×10-6 g/mL的烟酸替诺进行11次平行测定,其RSD为1.26%. 方法简单、灵敏,已成功用于针剂中烟酸替诺的测定.

关键词: 逆胶束 , 烟酸替诺 , 化学发光

原胶及其应用

徐世艾

材料导报

原胶是一种生物高分子,广泛应用于30多个行业.综述了原胶的生物化学、发酵工艺、产品后处理及其应用等方面的进展.

关键词: 原胶 , 发酵 , 工程 , 后处理 , 应用

变型UV塑料面漆

陈顺凉 , 瑞村 , 薛永富

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2004.10.009

本文通过选用合适的低聚物和单体组合,使用非变型光引发剂,对不同类型的塑料应用进行配方设计.分别测试了涂膜的耐变性、光泽、硬度、耐刮擦性能.

关键词: 紫外光 , 固化 , 塑料涂料 , , 研究

新型DAR成色剂的合成

刘玉婷 , 尹大伟 , 吕博 , 刘聪

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2007.10.028

成色剂为母体,环状酰肼为显影促进基团,分别以6-氨基苯并咪唑和苯基巯基三氮唑为吸附基团,合成了2种新型DAR 成色剂,产率分别为60.8%和48.2%. 其结构经IR、1H NMR、MS和元素分析测试技术得到确证. 实验结果表明,合成的DAR 成色剂在提高感光度时不会增大灰雾密度.

关键词: DAR成色剂 , 吸附基团 , 显影促进基团 , 合成

透明氧化铁的制备综述

王之平 , 陈白珍 , 龚竹青

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2001.09.013

简要介绍了透明氧化铁的特点、用途以及制备工艺路线.通过在反应阶段加入表面活性剂对颜料颗粒作表面处理,可以得到粒度均匀、性能优良的超细氧化铁.

关键词: 透明氧化铁 , 表面活性剂 , 表面处理 , 超细

室内用木器涂料耐变性及其测试方法

唐瑛 , 季小沛 , 季军宏

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2006.11.015

介绍了室内用木器涂料的耐变原因,就耐变试验方法、底材选择和制板条件等进行了讨论,并对试验结果进行了分析.该耐变测试采用了国外普遍采用的紫外加速老化方法,试验表明该方法是目前较可行的方案.

关键词: 木器涂料 , 聚氨酯涂料 , 变性 , 试验方法

铜及其合金的无烟光亮酸洗工艺

储荣邦

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.08.025

介绍了不含双氧水的铜及其合金无烟N-1光亮酸洗工艺.该工艺的溶液成分简单,操作安全,成本低廉,溶液维护和调整方便,使用寿命长,无烟产生,对环境污染小,光亮酸洗性能优于传统的浓硝酸酸洗工艺.

关键词: , 铜合金 , N-1光亮酸洗 ,

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