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直流溅射工艺参数对Mo薄膜结构及电性能的影响

, 闫勇 , , 张艳霞 , 晏传鹏 , 刘连 , 张勇 , 赵勇 , 余洲

功能材料

采用直流磁控溅射法在SLG衬底上沉积Mo薄膜,对不同溅射功率和溅射工作气压下沉积的薄膜进行X射线衍射、SEM(扫描电子显微镜)、电阻率测试,讨论了工艺参数对沉积Mo薄膜相结构、表面微观形貌、薄膜沉积速率和电学性能的影响。结果表明,随着溅射功率的增加,薄膜的结晶性能变好,沉积速率提高,在沉积功率范围内薄膜均匀致密,表面无空隙,电阻率较低;随着溅射工作气压增加,薄膜结晶性能变差,沉积速率先增加后降低,在沉积工作气压范围内,薄膜致密;随气压降低,电阻率急剧减小。因此,较高的溅射功率和较低的工作气压沉积的Mo薄膜更适合作CIGS薄膜太阳电池的BC层(背接触层)。

关键词: Mo薄膜 , 直流磁控溅射 , 电阻率

射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响

, 余洲 , 刘连 , 张勇 , , 闫勇 , 赵勇

功能材料

采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,研究了衬底温度及溅射工作压强对沉积薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响.结果显示,随衬底温度增加,薄膜的结晶结构发生显著变化,而溅射工作气压增加主要影响沉积薄膜(103)面与(002)面的相对强度.薄膜的表面形貌受温度影响严重,而气压对形貌的影响相对较小.衬底温度增加,薄膜的电阻率急剧降低,迁移率和载流子浓度都显著增加,而工作气压增加则导致电阻率先减小后增大.

关键词: AZO薄膜 , 晶体结构 , 电学性能

AZO薄膜制备工艺及其性能研究

, 余洲 , 张勇 , 刘连 , , 闫勇 , 赵勇

材料导报

综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展望了未来的研究方向.

关键词: AZO , 结构特性 , 光电特性

原胶及其应用

徐世艾

材料导报

原胶是一种生物高分子,广泛应用于30多个行业.综述了原胶的生物化学、发酵工艺、产品后处理及其应用等方面的进展.

关键词: 原胶 , 发酵 , 工程 , 后处理 , 应用

变型UV塑料面漆

陈顺凉 , 瑞村 , 薛永富

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2004.10.009

本文通过选用合适的低聚物和单体组合,使用非变型光引发剂,对不同类型的塑料应用进行配方设计.分别测试了涂膜的耐变性、光泽、硬度、耐刮擦性能.

关键词: 紫外光 , 固化 , 塑料涂料 , , 研究

腔-腔混合腔失调特性理论研究

魏晓羽 , 吴念乐 , 李师群

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.01.006

腔-腔混合腔的失调特性得到了理论上的研究.当调节混合腔的输出耦合镜几何参数改变时,通过Fox-Li数值迭代法计算其基横模的损耗来研究腔的失调特性.发现混合腔在腔方向上不易失调;混合腔的不稳定主要来自于非腔方向,且主要来自于输出耦合镜在非腔平面内的转动,或者垂直于光轴的平移;偏轴非腔要比对称非腔稳定.利用混合腔中非腔方向易失调的特性,可以设计调Q方案.在正支共焦偏轴非腔-腔混合腔中应用声光调制器在非腔平面内实现声光调Q的可行性,得到了理论的证明.

关键词: 激光物理 , 混合腔 , 调Q , Fox-Li数值迭代

β-Ti合金设计方法

李群 , 王清 , 董闯 , 王英敏 , 羌建兵

钛工业进展

获得具有优异性能的亚β-Ti合金需要添加多种元素进行合金化,而如何有效进行合金的成分设计是亚β-Ti合金合金化的关键。系统总结了多组元亚β-Ti合金的设计方法,包括Mo当量法、电子理论法、计算机模拟计算法以及基于“团簇+连接原子”结构模型的设计方法,其中基于团簇结构模型的设计方法是从局域微观原子结构出发进行合金成分设计,为合金设计开辟了新的设计思想。

关键词: β-Ti合金 , 成分设计方法 , 团簇结构模型

机械合金化制备亚材料

胡壮麒 , 张海峰 , 刘智光 , 叶荔蕾 , 范国江 , 生红卫

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.05.001

最近十几年来,机械合金化技术被广泛应用于制备和合成亚材料。这是一种通过固态反应生成具有亚结构和组织的新材料。在球磨过程中,原始粉末经受反复的破裂和冷焊,积聚大量的内部缺陷和储能,促使组织细化。实验中观察到突然的温升,非晶化,局部的熔化和亚稳相的形成。机械合金化也对力学性能产生很大影响,比较机械合金化技术和快淬技术制备同一种亚材料,发现在熔点降低,硬度和热稳定性等方面有差异。

关键词: 机械合金化 , 快淬法 , 材料 , 制备技术

新型DAR成色剂的合成

刘玉婷 , 尹大伟 , 吕博 , 刘聪

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2007.10.028

成色剂为母体,环状酰肼为显影促进基团,分别以6-氨基苯并咪唑和苯基巯基三氮唑为吸附基团,合成了2种新型DAR 成色剂,产率分别为60.8%和48.2%. 其结构经IR、1H NMR、MS和元素分析测试技术得到确证. 实验结果表明,合成的DAR 成色剂在提高感光度时不会增大灰雾密度.

关键词: DAR成色剂 , 吸附基团 , 显影促进基团 , 合成

β-钨的亚性质

慧民 , 陈新民

金属学报

本文研究了β-W所含氧的性质。研究表明,非自燃β-W所含的氧可分为两部分:可逆化学吸附的氧和可能与β-W组成填隙式固溶体的填隙氧。β-W是金属W的一种亚稳相,而填隙氧的存在使β-W的亚晶格较为稳定。

关键词: , beta-tungsten , metastable phase , interstitial solid solution

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