Zhang Xu
,
Rao Feng
,
Liu Bo
,
Peng Cheng
,
Zhou Xilin
,
Yao Dongning
,
Guo Xiaohui
,
Song Sannian
,
Wang Liangyong
,
Cheng Yan
,
Wu Liangcai
,
Song Zhitang
,
Feng Songlin
半导体学报(英文版)
doi:10.1088/1674-4926/33/10/102003
关键词:
白宣羽
,
汪渊
,
徐可为
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射方法在Si(111)基片上沉积Cu-Zr/ZrN薄膜体系作为扩散阻挡层.通过比较Cu-Zr/ZrN薄膜体系和三元非晶(Mo,Ta,W)-Si-N的电阻率,同时比较Cu-Zr/ZrN薄膜体系和Ta,YaN的硬度,说明作为扩散阻挡...
关键词:
非晶
,
电阻率
,
纳米压入
,
硬度
王姗姗
,
祝要民
,
任凤章
,
赵士阳
,
田保红
材料科学与工程学报
直流电沉积法在Fe基体上制备Ni膜和在Cu基体上制备Ag膜,利用悬臂梁法在线测量了膜中的平均应力,并计算了膜内分布应力,且对膜内平均应力的实验结果与Thomas-Feimi-Dirac-Cheng(TFDC)电子模型理论估算结果进行了对比...
关键词:
薄膜
,
内应力
,
悬臂梁法
,
电子理论