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离子束微探针及其扫描断层分析应用研究

王铁山 , 王贤义 , 肖国青 , Dieter Grambole , Folker Herrmann

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2003.04.012

以欧共体离子束物理及材料科学研究所的装置为例介绍了离子束微探针实验装置, 给出了利用这一装置开展重离子弹性反冲核分析、研究氢在钛合金中的微观分布及其动力学行为的实验结果. 该离子束微探针装置可以用来开展带电离子荧光分析、核反应分析、弹性反冲核分析、卢瑟福背散射分析及沟道效应和高离子束密度、大剂量离子注入等分析和研究工作. 同时利用微束扫描分析可获得样品中元素的点、线、面分布信息. 利用能量为16 MeV、直径为3 μm的Si5+离子束对钛合金中氢进行断层面扫描分析, 观测到了氢在钛合金中的非均匀分布, 揭示了氢在钛合金中的不同物理、化学状态与空间分布的相关性, 为进一步研究钛的氢化和金属钛的表面腐蚀行为提供了科学依据.

关键词: 离子束微探针 , 重离子弹性反冲核分析 , 氢在钛中的分布 , 离子注入

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