刘耀
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陈曦
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张小祥
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刘晓伟
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李梁梁
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丁向前
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郭总杰
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袁剑峰
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0784
最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析，并配合扫描电子显微镜(SEM)图片，确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析，选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参...
关键词:
最终关键尺寸
,
测试方法
,
扫描电子显微镜
,
补偿值
