张宏森
,
丁明惠
,
张丽丽
,
蒋保江
材料科学与工程学报
用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si(100)衬底和Cu膜间制备了30nm 的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射方式对NbN薄膜扩散阻挡性能的影响响退火前XRD结果表明,直流溅射制备的NbN...
关键词:
NbN薄膜
,
扩散阻挡层
,
Cu互连
,
磁控溅射
丁明惠
,
张宏森
,
张丽丽
,
王颖
功能材料
在不同的沉积温度下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了Zr-N阻挡层.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、XRD、AES研究了沉积温度对Zr-N薄膜扩散阻挡性能的影响.沉积态的XRD、AFM结果表明,随着沉积温度的升高,Zr-N薄膜的结构由非晶态向晶态转变,晶粒的尺寸增大...
关键词:
Zr-N薄膜
,
扩散阻挡层
,
Cu互连
,
射频反应磁控溅射
丁明惠
,
张丽丽
,
盖登宇
,
王颖
功能材料
用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了25nm的纳米晶Zr-N阻挡层,Cu/Zr-N/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射参数对Zr-N薄膜电阻率和扩散阻挡性能的影响.实验结果表明,N2分压从20%增加到...
关键词:
Zr-N纳米晶
,
扩散阻挡层
,
Cu互连
,
射频反应磁控溅射
丁明惠
,
李莉
,
郑玉峰
材料导报
支架内再狭窄多年来一直是制约冠心病介入治疗远期疗效的瓶颈,药物洗脱支架的出现为解决这一问题提供了有效手段,而药物洗脱支架制备的关键在于载药层的制备.针对载药层制备技术,包括支架的预处理、载药材料的选择、载药层的制备工艺以及载药层药物的释放机制进行了回顾与综合评述,并指出了药物洗脱支架栽药层材料及其制...
关键词:
药物洗脱支架
,
释药机制
,
载药材料
,
载药层
