李晖云
,
赵辉
,
丁易
,
吴隽
,
张永俐
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2000.02.003
研究了Co/Pt多层膜中,Co层厚度,Co、Pt含量比,溅射温度对多层膜磁光性能的影响.研究发现Co层厚度及Co、Pt含量比对Co/Pt多层膜的磁光性能起决定性影响,当tCo＜0.4nm,tCo/tPt=1/2时,可获得较好的综合磁光性能;适当提高溅射时基体的温度,可改善多层膜的结晶性并获得较好的调制周期结构,最终改善其磁光性能.
关键词:
Co/Pt多层膜
,
调制结构
,
磁光性能
